物品输送设备制造技术

物品输送设备具备多台沿轨道行进来输送物品的物品输送车，各物品输送车具备至少一个障碍物检测传感器，前述障碍物检测传感器检测在各物品输送车的周边至少设定一个的检测区域中存在的障碍物。各个物品输送车的输送车控制部通过无线通信从输送设备控制装置接收检测区域信息，将接收的检测区域信息向障碍物检测传感器传递。各个障碍物检测传感器使被传递的检测区域信息存储于区域信息存储部。

Article handling equipment

Goods conveying device with multiple stations in orbit delivery goods goods transport vehicles, transport vehicles have the goods at least one obstacle detection sensor, the obstacle detection sensor to detect the surrounding transport vehicle in each item at least set obstacles in a detection region. The conveying vehicle control section of each article conveying vehicle receives the detection area information through the wireless communication device from the conveying device control device, and transmits the received detection area information to the obstacle detection sensor. Each obstacle detection sensor stores the detected region information to be stored in the region information storage section.

【技术实现步骤摘要】
物品输送设备
本专利技术涉及物品输送设备，前述物品输送设备具备多台物品输送车，前述物品输送车沿轨道行进来输送物品。
技术介绍
如特开2000－214928号公报（专利文献1）中所记载，在半导体工厂、FA自动化工厂等中，借助在轨道上自动行进（自主行进）的物品输送车来输送物品的物品输送设备被实用化。在这样的设备中，一般运用多台物品输送车，有物品输送车彼此接触的可能。此外，在物品输送车行进的轨道的附近，也有人或物体接近的可能。因此，在专利文献1中，在物品输送车上，装备有检测其他物品输送车、人、其他物体等障碍物的障碍物检测传感器。在专利文献1中，在物品输送车上搭载有检测物体的物体检测传感器、检测人的人检测传感器。并且，在由物体检测传感器进行的检测过于灵敏的部位，物品输送车使物体检测传感器不工作，仅使人检测传感器工作，在确保对于人的安全性的基础上，使障碍物的误检测降低。通过如上所述地设定适当的检测条件，能够以适当的灵敏度检测在物品输送车的周边存在的障碍物。但是，由于物品输送设备的运转状况，例如，工厂等的布局改变、轨道的周边的设置物的移动等，也有检测条件变得不合适的情况。因此，检测条件优选为能够灵活地进行设定更改。一般这样的传感器构成为能够经由电缆与调整装置、计算机等连接。检测条件的设定更改为，例如能够在各传感器上连接那样的电缆来实施。但是，若检测障碍物的传感器被搭载于各物品输送车，物品输送设备具有多个物品输送车，则调整对象的传感器的总数也变多，所以全部传感器的检测条件的设定需要较多的时间。
技术实现思路
鉴于上述
技术介绍
，希望高效率地进行被搭载于多个物品输送车的每一个上的障碍物检测传感器的检测条件的设定。作为一个技术方案，鉴于上述说明的物品输送设备具备多台物品输送车，前述物品输送车沿轨道行进，进行输送物品的物品输送工作，输送前述物品，前述物品输送设备具备输送设备控制装置，前述输送设备控制装置通过无线通信，对前述物品输送车的每一个施加输送指令，使前述物品输送车进行前述物品输送工作，前述物品输送车的每一个具备输送车控制部和至少一个障碍物检测传感器，前述障碍物检测传感器检测在前述物品输送车的周边至少设定一个的检测区域中存在的障碍物，前述输送车控制部基于前述输送指令，对前述物品输送工作进行自主控制，前述障碍物检测传感器具备区域信息存储部，前述区域信息存储部存储表示前述检测区域的检测区域信息，前述输送车控制部通过无线通信从前述输送设备控制装置接收前述检测区域信息，将接收的前述检测区域信息传递至前述障碍物检测传感器，前述障碍物检测传感器使被传递的前述检测区域信息存储于前述区域信息存储部。根据该方案，输送设备控制装置能相对于多个物品输送车总括地发送新的检测区域信息。各个物品输送车具备的障碍物检测传感器被从各个物品输送车的输送车控制部传递新的检测区域信息，使其存储于区域信息存储部。各物品输送车的检测区域信息的更新能够并行地实施，所以即使物品输送设备具有多个物品输送车，检测条件的设定也不需要那么多的时间。即，根据本方案，能够将被搭载于多个物品输送车的每一个的障碍物检测传感器的检测条件的设定高效率地进行。从以下参照附图进行说明的有关实施方式的记载中可以明确物品输送设备的进一步的特征和优点。附图说明图1是示意性地表示物品输送设备的结构的图。图2是顶棚输送车的侧视图。图3是顶棚输送车的立体图。图4是分岔部的放大图。图5是表示物品输送设备及顶棚输送车的系统结构的示意性的框图。图6是说明由顶棚输送车进行的物品的移载的图。图7是表示顶棚输送车的主体基板和障碍物检测传感器的关系的示意性的框图。图8是表示检测区域（第1检测区域）的一例的图。图9是表示检测区域（第2检测区域）的一例的图。图10是表示检测区域（第3检测区域）的一例的图。图11是表示检测区域（第4检测区域）的一例的图。图12是表示检测区域（第5检测区域）的一例的图。图13是表示检测区域（第6检测区域）的一例的图。图14是表示检测区域（第7检测区域）的一例的图。图15是表示避让处理的一例的流程图。图16是表示显示部的显示状态的一例的图。图17是表示验证处理的一例的图。具体实施方式以下，基于附图对物品输送设备的实施方式进行说明。这里，以物品输送设备100为例进行说明，如图1及图2所示，前述物品输送设备100具备顶棚输送车V（物品输送车），前述顶棚输送车V（物品输送车）悬挂支承于设置于顶棚的行进轨道101（轨道），沿着由该行进轨道101形成的行进路径L行进，从输送源向输送目的地输送物品。如图1所示，行进路径L不是仅由一根连续的路径形成，而是由多个路径被并列地连接来形成。因此，行进路径L具有路径分岔的分岔部J1及路径合流的合流部J2。行进路径L是单向的，顶棚输送车V在行进方向Y上行进。图2表示顶棚输送车V的侧视图（从与行进方向Y正交的方向（后述的横向X）观察的图）。如图2所示，顶棚输送车V具备行进部11和主体部12，前述行进部11具备行进车轮W1，前述行进车轮W1在被从顶棚悬挂的行进轨道101上行进，前述主体部12被从行进部11悬挂支承。图3表示顶棚输送车V的立体图。后文进行详细说明，但如图3所示，顶棚输送车V具备障碍物检测传感器3，前述障碍物检测传感器3检测在顶棚输送车V的周边至少被设定一个的检测区域R（参照图8～图14等）中存在的障碍物。图4表示行进路径L分岔的分岔部J1的放大图。以下，将顶棚输送车V行进的方向称作行进方向Y，将相对于该行进方向Y在俯视时正交的方向（在水平面上与行进方向Y正交的方向）称作横向X进行说明。在本实施方式中，以物品输送设备为例进行说明，前述物品输送设备在相对于半导体基板进行薄膜形成、光刻、刻蚀等各种处理的多个半导体处理装置（以下称作处理装置102）之间，沿行进路径L输送物品。此外，在本实施方式中，作为借助顶棚输送车V被输送的物品，例示被称作前端开启式晶圆传送盒（FOUP，FrontOpeningUnifiedPod）的收纳半导体基板的容器90（参照图2）。为了将容器90在各处理装置102之间输送，相对于各处理装置102，以与各个处理装置102相邻的状态，在地板面上设置有支承台103（载置台）。这些支承台103是由顶棚输送车V进行运输的容器90的输送对象部位（输送源及输送目的地）。行进路径L包括主路径Lp和副路径Ls，前述主路径Lp在图1中被表示在中央部，相对较大，呈环状，前述副路径Ls被表示在主路径Lp的外侧，相对较小，呈环状。在作为从主路径Lp向副路径Ls的分岔部分的分岔部J1处，如图4所示，设置有引导轨道G。此外，省略图示及详细说明，但作为从副路径Ls向主路径Lp的合流部分的合流部J2也设置有同样的引导轨道G。关于其他的分岔部分及合流部分（例如，在图1的上部被相对于主路径Lp连接的外部连接路径（入厂路径Lin及退厂路径Lout）和主路径Lp的分岔部分及合流部分）也是同样的。如图2所示，顶棚输送车V具备行进部11和主体部12，前述行进部11沿行进路径L行进，前述主体部12具备支承机构24，前述支承机构24以位于行进轨道101的下方的方式被悬挂支承于行进部11，且将容器90支承。在行进部11上，具备行进车轮W1和行进用马达22m，前述行进车轮W1在被沿行进本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物品输送设备，前述物品输送设备具备多台物品输送车，前述物品输送车沿轨道行进，进行输送物品的物品输送工作，输送前述物品，前述物品输送设备具备输送设备控制装置，前述输送设备控制装置通过无线通信，对前述物品输送车的每一个施加输送指令，使前述物品输送车进行前述物品输送工作，其特征在于，前述物品输送车的每一个具备输送车控制部和至少一个障碍物检测传感器，前述障碍物检测传感器检测在前述物品输送车的周边至少设定一个的检测区域中存在的障碍物，前述输送车控制部基于前述输送指令，对前述物品输送工作进行自主控制，前述障碍物检测传感器具备区域信息存储部，前述区域信息存储部存储表示前述检测区域的检测区域信息，前述输送车控制部通过无线通信从前述输送设备控制装置接收前述检测区域信息，将接收的前述检测区域信息传递至前述障碍物检测传感器，前述障碍物检测传感器使被传递的前述检测区域信息存储于前述区域信息存储部。

【技术特征摘要】
2015.12.28 JP 2015-2565321.一种物品输送设备，前述物品输送设备具备多台物品输送车，前述物品输送车沿轨道行进，进行输送物品的物品输送工作，输送前述物品，前述物品输送设备具备输送设备控制装置，前述输送设备控制装置通过无线通信，对前述物品输送车的每一个施加输送指令，使前述物品输送车进行前述物品输送工作，其特征在于，前述物品输送车的每一个具备输送车控制部和至少一个障碍物检测传感器，前述障碍物检测传感器检测在前述物品输送车的周边至少设定一个的检测区域中存在的障碍物，前述输送车控制部基于前述输送指令，对前述物品输送工作进行自主控制，前述障碍物检测传感器具备区域信息存储部，前述区域信息存储部存储表示前述检测区域的检测区域信息，前述输送车控制部通过无线通信从前述输送设备控制装置接收前述检测区域信息，将接收的前述检测区域信息传递至前述障碍物检测传感器，前述障碍物检测传感器使被传递的前述检测区域信息存储于前述区域信息存储部。2.如权利要求1所述的物品输送设备，其特征在于，对一个前述障碍物检测传感器设定多个前述检测区域，前述多个前述检测区域是分别不同的区域，前述障碍物检测传感器将对应于前述物品输送工作的状态选择的前述检测区域作为检测对象的区域来检测障碍物。3.如权利要求2所述的物品输送设备，其特征在于，前述障碍物检测传感器在检测到障碍物的情况下，输出障碍物检测信息，前述输送车控制部基于前述障碍物检测信息，执行至少包括使前述物品输送车的行进速度下降的减速处理的避让处理，前述物品输送车具备显示部，前述显示部能够将表示由前述输送车控制部进行控制的前述物品输送车的控制状态的工作信息可见地通知，前述输送车控制部在...

【专利技术属性】
技术研发人员：衣川知孝，西川直，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：日本,JP