The utility model discloses a MEMS device integrated microphone and environmental sensors, on the substrate is provided with a microphone, diaphragm, the first electrode on the first electrode on the substrate is provided with second electrodes, second in support of the lower electrode and the second electrode is sensitive to the environment by insulating parts. Second, the lower electrode and the second electrode constitute environmental sensor capacitor structure. Integrated device of the utility model, the structure of capacitor capacitor structure, environmental sensor MEMS microphone integrated on the same substrate, which will be the microphone and environmental sensors integrated on the same chip, improved MEMS microphone and environmental sensor integration, can greatly reduce the package size; and at the same time on the substrate to produce MEMS microphone and environmental sensors, improve production efficiency.
【技术实现步骤摘要】
MEMS麦克风与环境传感器的集成装置
本技术涉及传感器领域,更具体地,涉及一种MEMS麦克风及环境传感器的集成装置。
技术介绍
近年来,随着科学技术的发展,手机、笔记本电脑等电子产品的体积在不断减小,而且人们对这些便携电子产品的性能要求也越来越高,这就要求与之配套的电子零部件的体积也必须随之减小。传感器作为测量器件,已经普遍应用在手机、笔记本电脑或者可穿戴等电子产品上。在现有的工艺结构中,压力传感器和MEMS麦克风分别以两个独立的单体形式被封装在PCB板上,然后进行DB、WB等一系列工艺,这种封装形式的尺寸较大,不利于在消费类电子产品应用。目前的问题是,各传感器的封装工艺已经比较成熟,工艺能力已经接近极限,很难再根据系统厂商的要求进一步缩减芯片的尺寸。
技术实现思路
本技术的一个目的是提供一种MEMS麦克风与环境传感器的集成装置的新技术方案。根据本技术的第一方面,提供了一种MEMS麦克风与环境传感器的集成装置,包括衬底,在所述衬底上依次设置有麦克风的第一下电极、振膜、第一上电极,所述第一下电极、振膜、第一上电极之间通过绝缘部支撑;所述第一下电极、振膜、第一上电极构成了差分式的麦克风电容器结构,所述衬底上设置有与第一下电极对应设置的背腔;在所述衬底上还设置有第二下电极以及通过绝缘部支撑在第二下电极上方且对环境敏感的第二上电极,所述第二上电极与第二下电极之间形成的腔体为密封腔体,所述第二下电极与第二上电极构成了环境传感器电容器结构;其中,所述第一上电极、第二上电极采用相同的材质一体成型,所述第一下电极、第二下电极采用相同的材质一体成型。可选地,在所述第一上电极上设置有 ...
【技术保护点】
一种MEMS麦克风与环境传感器的集成装置,其特征在于:包括衬底(1),在所述衬底(1)上依次设置有麦克风的第一下电极(3a)、振膜(5a)、第一上电极(7a),所述第一下电极(3a)、振膜(5a)、第一上电极(7a)之间通过绝缘部支撑;所述第一下电极(3a)、振膜(5a)、第一上电极(7a)构成了差分式的麦克风电容器结构,所述衬底(1)上设置有与第一下电极(3a)对应设置的背腔(1a);在所述衬底(1)上还设置有第二下电极(3b)以及通过绝缘部支撑在第二下电极(3b)上方且对环境敏感的第二上电极(7b),所述第二上电极(7b)与第二下电极(3b)之间形成的腔体(9b)为密封腔体,所述第二下电极(3b)与第二上电极(7b)构成了环境传感器电容器结构;其中,所述第一上电极(7a)、第二上电极(7b)采用相同的材质一体成型,所述第一下电极(3a)、第二下电极(3b)采用相同的材质一体成型。
【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风与环境传感器的集成装置,其特征在于:包括衬底(1),在所述衬底(1)上依次设置有麦克风的第一下电极(3a)、振膜(5a)、第一上电极(7a),所述第一下电极(3a)、振膜(5a)、第一上电极(7a)之间通过绝缘部支撑;所述第一下电极(3a)、振膜(5a)、第一上电极(7a)构成了差分式的麦克风电容器结构,所述衬底(1)上设置有与第一下电极(3a)对应设置的背腔(1a);在所述衬底(1)上还设置有第二下电极(3b)以及通过绝缘部支撑在第二下电极(3b)上方且对环境敏感的第二上电极(7b),所述第二上电极(7b)与第二下电极(3b)之间形成的腔体(9b)为密封腔体,所述第二下电极(3b)与第二上电极(7b)构成了环境传感器电容器结构;其中,所述第一上电极(7a)、第二上电极(7b)采用相同的材质一体成型,所述第一下电极(3a)、第二下电极(3b)采用相同的材质一体成型。2.根据权利要求1所述的集成装置,其特征在于:在所述第一上电极(7a)上设置有第一导通孔(70a),或/和在第一下电极(3a)上设置有第二导通孔(30a)。3.根据权利要求2所述的集成装置,其特征在于:在所述振膜(5a)上设置有第三导通孔(50...
【专利技术属性】
技术研发人员:周宗燐,蔡孟锦,
申请(专利权)人:歌尔股份有限公司,
类型:新型
国别省市:山东,37
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。