炉管碎片清理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及晶体硅太阳能电池制作设备技术领域，尤其是涉及一种炉管碎片清理装置，包括支撑座及转动设置在支撑座一端的拨片，所述支撑座下底面设有基座，所述基座沿所述支撑座长度方向开设有通道，所述通道内设有与用于控制拨片转动的滑杆，所述滑杆的一端与所述拨片铰接，所述滑杆远离拨片的一端设有限位销，所述基座上设有与所述限位销相匹配的导向槽，所述基座上有卡槽，所述卡槽与所述导向槽连通，本实用新型专利技术结构简单，操作方便，能够随支撑座拿出同时将炉管内的碎片进行清理，避免了清洗石英炉管内碎片的办法只有停产降温，用普通吸尘器清理石英炉管内碎片，该办法既耽误生产进程和产量，又存在污染石英炉管的风险的问题。

Furnace tube debris cleaning device

The utility model relates to the technical field of equipment for making crystal silicon solar cells, especially relates to a furnace tube debris cleaning device, which comprises a supporting seat and the supporting seat is arranged in the rotating paddles, the supporting seat is arranged at the bottom surface of the base, the base along the length direction of the supporting seat is provided with a sliding rod channel. The channel is used to control the rotation and paddles, the sliding rod and the paddles hinged, and one end of the sliding rod away from the paddles with a limit pin, the base is provided with a limit groove pin, the base has a card slot, the card groove communicated with the guide groove, the utility model has the advantages of simple structure, convenient operation, can support out while the debris inside the tube furnace for cleaning, avoid cleaning quartz furnace tube fragments only stop cooling, with P The method of cleaning the debris in the quartz furnace tube by the vacuum cleaner not only delays the production process and production, but also has the risk of polluting the quartz tube.

【技术实现步骤摘要】
炉管碎片清理装置
本技术涉及晶体硅太阳能电池制作设备
，尤其是涉及一种炉管碎片清理装置。
技术介绍
太阳能晶片在PECVD工序为晶体硅太阳能生产线中等离子体增强化学气相沉积工序，是以石墨舟为载体将去磷硅玻璃后的硅片放入石英炉管中，在400℃～450℃下进行沉积一层氮化硅的过程。目前，生产线一般使用管式设备，管式PECVD设备中的石英管为卧式炉管，长度约1.8m～2.2m，内有长约20mm的热电偶探测仪。太阳能晶片在石英炉管中易产生碎片，若不及时清理，碎片易压在石英炉管内热电偶探头上导致热电偶测温不准确，碎片还容易与石英管中的石墨舟接触，导致石墨舟短路。目前清洗石英炉管内碎片的办法只有停产降温，用普通吸尘器清理石英炉管内碎片，该办法既耽误生产进程和产量，又存在污染石英炉管的风险。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：为了解决清洗石英炉管内碎片的办法只有停产降温，用普通吸尘器清理石英炉管内碎片，该办法既耽误生产进程和产量，又存在污染石英炉管的风险的问题，现提供了一种炉管碎片清理装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种炉管碎片清理装置，包括支撑座及转动设置在支撑座一端的拨片，所述支撑座下底面设有基座，所述基座沿所述拨片转动方向开设有通道，所述通道内设有与用于控制拨片转动的滑杆，所述滑杆的一端与所述拨片铰接，所述滑杆远离拨片的一端设有限位销，所述基座远离拨片的一端设有导向槽，所述导向槽由基座向拨片的方向设置，所述基座上位于导向槽靠近拨片的一端设有卡槽，所述卡槽与所述导向槽连通，所述通道底部设有定位块，所述滑杆上设有与定位块相匹配的定位槽，所述导向槽位于所述定位块的上方，当滑杆位于通道底部时，所述定位块设置在定位槽内，此时支撑座与拨片相互保持垂直状态，当所述限位销通过导向槽卡设在卡槽内时，此时支撑座与拨片相互保持水平状态。在将支撑座放置在炉管内时，滑杆上的限位销是卡设在卡槽内的，此时支撑座是与拨片水平设置的；当需要将支撑座从炉管内拿出来时，将滑杆上的限位销从卡槽内滑出，并将定位槽卡设在定位块上，此时支撑座是与拨片相互垂直设置的，将支撑座拿出的同时，拨片对炉管内的碎片同时进行清理。进一步地，所述定位块为锥形凸台。为了能够方便快速的定位，锥形本身具有定位的导向作用，在定位时能够更加方便快速的对滑杆进行定位。进一步地，所述导向槽与所述卡槽之间设有用于对限位销导向的斜倒角。为了能够方便限位销拔出卡槽或卡入卡槽，对限位销起到导向作用。进一步地，所述拨片上设有用于限位拨片的限位块，所述限位块位于所述拨片靠近滑杆的一端，当限位块与所述支撑座接触时，此时支撑座与拨片相互保持垂直状态。在清理炉管内的碎片时，通过限位块能够快速定位支撑座与拨片。本技术的有益效果是：本技术炉管碎片清理装置在使用时，在将支撑座放置在炉管内时，滑杆上的限位销是卡设在卡槽内的，此时支撑座是与拨片水平设置的；当需要将支撑座从炉管内拿出来时，将滑杆上的限位销从卡槽内滑出，并将定位槽卡设在定位块上，此时支撑座是与拨片相互垂直设置的，将支撑座拿出的同时，拨片对炉管内的碎片同时进行清理，本技术结构简单，操作方便，能够随支撑座拿出同时将炉管内的碎片进行清理，避免了清洗石英炉管内碎片的办法只有停产降温，用普通吸尘器清理石英炉管内碎片，该办法既耽误生产进程和产量，又存在污染石英炉管的风险的问题。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术炉管碎片清理装置未使用时的主视图；图2是本技术炉管碎片清理装置未使用时的左视图；图3是本技术炉管碎片清理装置在拨片拨碎片时的主视图；图4是本技术炉管碎片清理装置在拨片拨碎片时的左视图。图中：1、支撑座，2、拨片，3、基座，301、通道，302、导向槽，303、卡槽，304、斜倒角，4、滑杆，401、限位销，402、定位槽，5、定位块、6限位块。具体实施方式现在结合附图对本技术做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。实施例如图1、2、3和4所示，一种炉管碎片清理装置，包括支撑座1及转动设置在支撑座1一端的拨片2，拨片2是与炉管底部相匹配，所述支撑座1下底面设有基座3，所述基座3沿所述支撑座1长度方向开设有通道301，所述通道301内设有与用于控制拨片2转动的滑杆4，所述滑杆4的一端与所述拨片2铰接，所述滑杆4远离拨片2的一端设有限位销401，所述基座3上设有与所述限位销401相匹配的导向槽302，所述基座3上位于导向槽302靠近拨片2的一端设有卡槽303，所述卡槽303与所述导向槽302连通，所述限位销401卡设在卡槽303内，所述通道301底部设有定位块5，所述定位块5为锥形，所述导向槽302位于所述定位块5的上方，所述滑杆4上设有与定位块5相匹配的定位槽402，当滑杆4位于通道301底部时，所述定位设置在定位槽402内。所述导向槽302与所述卡槽303之间设有用于对限位销401导向的斜倒角304。所述拨片2上设有用于限位拨片2的限位块6，所述限位块6位于所述拨片2靠近滑杆4的一端，当限位块6与所述支撑座1接触时，此时支撑座1与拨片2相互保持垂直状态。上述炉管碎片清理装置在使用时，支撑座1的上表面用于放置石英舟，再在石英舟上盛放硅片，具体操作步骤如下：首先在将支撑座1放入炉管前，先将滑杆4上的限位销401在导向槽302内滑动并通过斜倒角304卡入到卡槽303内，滑杆4在基座3上的通道301内滑动，并推动拨片2与支撑座1保持水平状态；当硅片在炉管内处理完成后，利用工具将滑杆4上的限位销401从卡槽303内推出，限位销401脱离导向槽302，滑杆4在通道301内滑动，当限位块6与所述支撑座1接触时，此时支撑座1与拨片2相互保持垂直状态，再将滑杆4上的定位槽402设置在通道301底部的定位块5内，定位块5和定位槽402配合起到限位作用，将支撑座1拿出即可对炉管内的碎片一并带出。上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种炉管碎片清理装置，其特征在于：包括支撑座(1)及转动设置在支撑座(1)一端的拨片(2)，所述支撑座(1)下底面设有基座(3)，所述基座(3)沿所述拨片(2)转动方向开设有通道(301)，所述通道(301)内设有与用于控制拨片(2)转动的滑杆(4)，所述滑杆(4)的一端与所述拨片(2)铰接，所述滑杆(4)远离拨片(2)的一端设有限位销(401)，所述基座(3)远离拨片(2)的一端设有导向槽(302)，所述导向槽(302)由基座(3)向拨片(2)的方向设置，所述基座(3)上位于导向槽(302)靠近拨片(2)的一端设有卡槽(303)，所述卡槽(303)与所述导向槽(302)连通，所述通道(301)底部设有定位块(5)，所述滑杆(4)上设有与定位块(5)相匹配的定位槽(402)，所述导向槽(302)位于所述定位块(5)的上方，当滑杆(4)位于通道(301)底部时，所述定位块(5)设置在定位槽(402)内，此时支撑座(1)与拨片(2)相互保持垂直状态，当所述限位销(401)通过导向槽(302)卡设在卡槽(303)内时，此时支撑座(1)与拨片(2)相互保持水平状态。

【技术特征摘要】
1.一种炉管碎片清理装置，其特征在于：包括支撑座(1)及转动设置在支撑座(1)一端的拨片(2)，所述支撑座(1)下底面设有基座(3)，所述基座(3)沿所述拨片(2)转动方向开设有通道(301)，所述通道(301)内设有与用于控制拨片(2)转动的滑杆(4)，所述滑杆(4)的一端与所述拨片(2)铰接，所述滑杆(4)远离拨片(2)的一端设有限位销(401)，所述基座(3)远离拨片(2)的一端设有导向槽(302)，所述导向槽(302)由基座(3)向拨片(2)的方向设置，所述基座(3)上位于导向槽(302)靠近拨片(2)的一端设有卡槽(303)，所述卡槽(303)与所述导向槽(302)连通，所述通道(301)底部设有定位块(5)，所述滑杆(4)上设有与定位块(5)相匹配的定位槽(402)，所述导向槽(302)位于所述定位块(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚伟忠，蔡新兴，朱露，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32