The embodiment of the invention discloses a power electronic device fanout encapsulation method and structure, wherein the fanout the package structure of the power electronic device comprises a chip carrier and chip, the chip on the back surface of the keys and the chip carrier, the front side of the chip has at least two electrodes located on the conductive column electrode; the chip through the plastic molding process form a plastic seal surface, flat surface of the plastic layer and the conductive column is homogeneous; the medium layer and the re wiring layer are formed on the surface of the plastic layer, the dielectric layer and the wiring and flat surface the Qi, the re wiring layer and the conductive column contact. The invention reduces the loss of the high-power power electronic device at the high switching frequency and has better heat radiation performance.
【技术实现步骤摘要】
一种电力电子器件的扇出型封装结构及封装方法
本专利技术涉及封装
,具体涉及一种电力电子器件的扇出型封装结构及封装方法。
技术介绍
随着半导体制造工艺的进步,对电力电子设备容量增大的需求以及对电力电子器件的性能和功率要求也越来越高,由此产生了耐高压、大功率的电力电子器件。大功率电力电子器件具有耐压高、电流大、开关频率高、动态压降小等优越性能,越来越多地被应用到各类大中功率电力变换装置中,成为现代电力电子技术的主导器件。大功率电力电子器件也在致力于高可靠性、高效率和低功耗,其中,大功率电力电子器件低功耗的方向之一是减少由于芯片封装所带来的开关损耗。对于大功率电力电子器件,目前采用的封装方法包括双侧引脚扁平封装(DualFlatPackage,DFP)、双列直插式封装(DualIn-linePackage,DIP)或者四侧引脚扁平封装(QuadFlatPackagewithBumper,BQFP)等,并采用传统的引线键合方式,即使用细金属线,利用热、压力、超声波能量为使金属引线与基板焊盘紧密焊合,实现芯片与基板间的电气互连和芯片间的信息互通。但是随着大功率电力电子器件芯片耐压和功率增大,要求引脚间所能承受的耐压越来越高,采用传统封装方法的大功率电力电子器件,在高开关频率下其集成参数较大,所带来的功耗问题也越来越显著。此外,芯片产生的热量很难从封装结构中传导出去,其散热问题也亟待解决。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术实施例提供一种电力电子器件的扇出型封装结构及封装方法,以解决现有技术中大功率电力电子器件在高开关频率下的损耗和散热问题。一方面,本专利技术实施例 ...
【技术保护点】
一种电力电子器件的扇出型封装结构,其特征在于,包括:芯片载体和芯片,所述芯片的背面与所述芯片载体的表面键合,所述芯片的正面具有至少两个电极和位于所述电极上的导电柱;所述芯片通过塑封工艺形成有塑封层,所述塑封层的表面与所述导电柱的表面平齐;所述塑封层的表面上依次形成有介质层和再布线层,所述介质层和所述再布线层的表面平齐,所述再布线层与所述导电柱直接接触。
【技术特征摘要】
1.一种电力电子器件的扇出型封装结构,其特征在于,包括:芯片载体和芯片,所述芯片的背面与所述芯片载体的表面键合,所述芯片的正面具有至少两个电极和位于所述电极上的导电柱;所述芯片通过塑封工艺形成有塑封层,所述塑封层的表面与所述导电柱的表面平齐;所述塑封层的表面上依次形成有介质层和再布线层,所述介质层和所述再布线层的表面平齐,所述再布线层与所述导电柱直接接触。2.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述芯片的背面与所述芯片载体的表面键合的方式包括共晶焊、烧结银或高导热胶涂覆。3.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述芯片载体包括金属载体、陶瓷载体和高导热复合载体。4.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述芯片为平面型电力电子器件。5.一种电力电子器件的扇出型封装方法,其特征在于,包括:提供一芯片载体和多个芯片,每个所述芯片的正面具有至少两个电极,在每个所述电极上制作一个导电柱;将每个所述芯片的背面与所述芯片载体键合,在所述芯片载体上形成芯片阵列;通过塑封工艺对所述芯片进行塑封,形成的塑封层的表面与所述导电柱的表面平齐;在所述塑封层的表面上依次形成...
【专利技术属性】
技术研发人员:侯峰泽,郭学平,周云燕,
申请(专利权)人:华进半导体封装先导技术研发中心有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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