The present invention provides a method for switching device and its manufacturing method of lithium protection, the switch device includes a P+ substrate and P epitaxial layer; N type trap; two P type trap; two gate structure; drift region shared N, formed between the two grid structure; N type P+ type source region and the contact region; the dielectric layer, the dielectric layer in the two open source region and one contact window contact window, the trenches of P epitaxial layer of the body region within the contact window is removed until the formation of the P+ type substrate and filled in the source; contact window, window and contact zone of the trench electrode material. The invention uses the shared drift area to construct the MOSFET device, so that the resistance of the drift zone region can be greatly reduced, and the voltage resistance can be maintained unchanged. The electrode of one source region is led to the back of the chip by means of the electrode with the body region, and can be welded with the substrate when packaged, and a wire resistance is saved, which is very effective under the requirement of very low internal resistance.
【技术实现步骤摘要】
一种用于锂电保护的开关器件及其制作方法
本专利技术涉及一种锂电池保护电路,特别是涉及一种用于锂电保护的开关器件及其制作方法。
技术介绍
随着科技进步与社会发展,如手机、笔记本电脑、MP3播放器、PDA、掌上游戏机、数码摄像机等便携式设备已越来越普及,这类产品中有许多是采用锂离子电池供电,锂电池分为一次电池和二次电池两类,目前在部分耗电量较低的便携式电子产品中主要使用不可充电的一次锂电池,而在笔记本电脑、手机、PDA、数码相机等耗电量较大的电子产品中则使用可充电的二次电池,即锂离子电池。与镍镉和镍氢电池相比,锂离子电池具备以下几个优点:1)电压高,单节锂离子电池的电压可达到3.6V,远高于镍镉和镍氢电池的1.2V电压。2)容量密度大,其容量密度是镍氢电池或镍镉电池的1.5-2.5倍。3)荷电保持能力强(即自放电小),在放置很长时间后其容量损失也很小。4)寿命长,正常使用其循环寿命可达到500次以上。5)没有记忆效应,在充电前不必将剩余电量放空,使用方便。由于锂离子电池的化学特性,在正常使用过程中,其内部进行电能与化学能相互转化的化学正反应,但在某些条件下,如对其过充电、过放电和过电流将会导致电池内部发生化学副反应,该副反应加剧后,会严重影响电池的性能与使用寿命,并可能产生大量气体,使电池内部压力迅速增大后爆炸而导致安全问题,因此所有的锂离子电池都需要一个保护电路,用于对电池的充、放电状态进行有效监测,并在某些条件下关断充、放电回路以防止对电池发生损害。一个典型的锂离子电池保护电路原理图如图1所示,该保护回路由两个MOSFET(V1、V2)和一个控制IC(N1 ...
【技术保护点】
一种用于锂电保护的开关器件的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括步骤:1)提供一P+型衬底,于所述P+型衬底表面形成P‑型外延层;2)于所述P‑型外延层中形成N型阱区;3)于所述N型阱区中形成相隔排列的两个P型阱区;4)制作出两个栅极结构,各栅极结构横跨于N型阱区及P型阱区之间;5)于两个栅极结构之间形成N‑型漂移区;6)于所述两个栅极结构两侧的P型阱区中分别形成N型源区及P+型接触区;7)于器件表面形成介质层,于所述介质层中打开两个源区接触窗口及一体区接触窗口,且基于所述体区接触窗口刻蚀所述P‑型外延层形成直至所述P+型衬底的沟槽;8)于所述源区接触窗口、体区接触窗口及所述沟槽内填充电极材料形成两源区电极及一体区电极,并制作金属层使得其中一个源区电极及体区电极相连,完成开关器件的电性引出。
【技术特征摘要】
1.一种用于锂电保护的开关器件的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括步骤:1)提供一P+型衬底,于所述P+型衬底表面形成P-型外延层;2)于所述P-型外延层中形成N型阱区;3)于所述N型阱区中形成相隔排列的两个P型阱区;4)制作出两个栅极结构,各栅极结构横跨于N型阱区及P型阱区之间;5)于两个栅极结构之间形成N-型漂移区;6)于所述两个栅极结构两侧的P型阱区中分别形成N型源区及P+型接触区;7)于器件表面形成介质层,于所述介质层中打开两个源区接触窗口及一体区接触窗口,且基于所述体区接触窗口刻蚀所述P-型外延层形成直至所述P+型衬底的沟槽;8)于所述源区接触窗口、体区接触窗口及所述沟槽内填充电极材料形成两源区电极及一体区电极,并制作金属层使得其中一个源区电极及体区电极相连,完成开关器件的电性引出。2.根据权利要求1所述的用于锂电保护的开关器件的制作方法,其特征在于:步骤1)还包括于所述P-型外延层中形成STI隔离区的步骤,所述STI隔离区位于后续制作的两个栅极结构之间,且后续制备的N-型漂移区包围于所述STI隔离区。3.根据权利要求1所述的用于锂电保护的开关器件的制作方法,其特征在于:步骤2)包括:步骤2-1),于所述P-型外延层制作掩膜;步骤2-2),基于掩膜采用离子注入方式于所述P-型外延层中形成N型阱区,使得所述N型阱区与后续制备的体区电极之间被所述P-型外延层隔离。4.根据权利要求1所述的用于锂电保护的开关器件的制作方法,其特征在于:所述源区电极同时与所述N型源区及P+型接触区接触。5.根据权利要求1所述的用于锂电保护的开关器件的制作方法,其特征在于:还包括于所述P+型衬底的背面制作背镀金属的步骤。6.根据权利要求5所述的用于锂电保护的开关器件的制作方法,其特征在于:所述背镀金属的制作包括:a)采用溅射或蒸镀的方法于所述P+型衬底的背面形成TiN层或Ag层;...
【专利技术属性】
技术研发人员:王凡,
申请(专利权)人:上海宝芯源功率半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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