一种掩膜版与样品的贴合及分离装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种掩膜版与样品的贴合及分离装置，它包括箱体、罩壳、磁力单元及支撑板，所述支撑板上设有弹簧，所述罩壳设于箱体的底部，且罩壳与箱体结合；所述支撑板设于罩壳内，支撑板上的弹簧与箱体连接。本发明专利技术采用在箱体内设置磁力单元、在支撑板上设置弹簧并罩壳上设置定位框的结构，借助掩膜版的铁磁性，通过磁力单元吸附与弹簧的压合使掩膜版和样品在定位框的限定下沿垂直方向实现贴合和分离。避免了掩膜版与样品间发生横向摩擦而造成的划伤，具有贴合精准度高，操作更为快捷方便的优点。

Mask plate fitting and separating device for sample

The invention discloses a device for fitting and separation of mask and sample, which comprises a box body, a cover, a magnetic element and a support plate, the support plate is provided with a spring, the cover is arranged at the bottom of the box body, and the cover and the box body are combined; the support plate is arranged in the shell, spring the supporting board is connected with the box. The invention adopts magnetic unit, is arranged in the box body is provided with a spring on the support plate and cover structure is arranged on the shell of the positioning frame, with magnetic iron mask, through adsorption and magnetic spring pressing unit to mask and sample the sticking and separation in the positioning frame along the vertical direction under the limitation of implementation. The utility model avoids the scratch caused by the transverse friction between the mask plate and the sample, and has the advantages of high accuracy and quick and convenient operation.

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版与样品的贴合及分离装置
本专利技术涉及电子
，尤其是一种掩膜版与样品的贴合及分离装置。
技术介绍
随着科学技术的进步与半导体制造工艺的发展，半导体芯片的面积越来越小，市场对半导体器件的精度要求也越来越高，如何提升半导体器件的精度，减小半导体器件的产品缺陷，提高产品的成品率，成为半导体器件生产界急需解决的重要工艺问题。热蒸镀和光刻法是整个半导体加工过程中不可或缺的工艺方法。无论是热蒸镀还是光刻法，现有技术的工艺都是采用接触式掩膜的方法，将掩膜版直接放置在待加工样品上，对样品进行加工处理。传统的做法是用镊子将掩膜版贴合在样品上，通过镊子滑动掩膜版将掩膜版与样品对齐，待样品加工完成后，还需用镊子将掩膜版与样品分离。存在的问题是，用镊子将掩膜版与样品贴合、对齐及分离的过程，难免会使掩膜版与样品之间出现横向划痕，导致产品发生相应的缺陷，同时也对掩膜版造成一定的磨损。特别是直接与半导体层接触的掩膜版，这样操作后会在半导体表面残留大量的划痕，严重影响了半导体器件的迁移率，降低了产出的合格率。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术的不足而提供的一种掩膜版与样品的贴合及分离装置，本专利技术采用在上箱体内设置磁力单元、在支撑板上设置弹簧并罩壳上设置定位框的结构，借助掩膜版的铁磁性，通过磁力单元吸附与弹簧的压合使掩膜版和样品在定位框的限定下沿垂直方向实现贴合和分离。避免了掩膜版与样品间发生横向摩擦而造成的划伤，具有贴合精准度高，操作更为快捷方便的优点。实现本专利技术目的的具体技术方案是：一种掩膜版与样品的贴合及分离装置，其特点是该装置包括：一个顶面设有开关座、底面设有金属固定架的矩形箱体，且金属固定架上设有弹簧座；一个上口设有接口、下口设有定位框的倒锥台的矩形罩壳；一个由螺线管、金属导线、电池及按钮开关构成的磁力单元，且金属导线将螺线管、电池及按钮开关之间电连接；一个四角设有弹簧的支撑板；所述罩壳设于箱体的底部，且罩壳的接口与箱体上金属固定架的周边结合；所述支撑板设于罩壳内，支撑板上的弹簧与箱体上金属固定架的弹簧座连接；所述磁力单元的按钮开关设于箱体的开关座上，螺线管、金属导线及电池设于箱体内，且螺线管的轴线指向箱体的顶面与底面；所述的螺线管的轴线与上箱体的几何轴线重合；所述的金属固定架的表面延展于上箱体外侧的周边。本专利技术采用在箱体内设置磁力单元，在支撑板上设置弹簧并罩壳上设置定位框的结构，借助掩膜版的铁磁性，通过磁力单元吸附与弹簧的压合使掩膜版和样品在定位框的限定下沿垂直方向实现贴合和分离。避免了掩膜版与样品间发生横向摩擦而造成的划伤，具有贴合精准度高，操作更为快捷方便的优点。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为掩膜版与支撑板吸附的使用状态示意图；图3为掩膜版与样品的贴合或分离的使用状态示意图。具体实施方式参阅图1，本专利技术包括：一个顶面设有开关座11、底面设有金属固定架12的矩形箱体1，且金属固定架12上设有弹簧座13；一个上口设有接口22、下口设有定位框21的倒锥台的矩形罩壳2；一个由螺线管31、金属导线32、电池33及按钮开关34构成的磁力单元3，且金属导线32将螺线管31、电池33及按钮开关34电连接；一个四角设有弹簧41的支撑板4；所述罩壳2设于箱体1的底部，且罩壳2的接口22与箱体1上金属固定架12的周边结合；所述支撑板4设于罩壳2内，支撑板4上的弹簧41与箱体1上金属固定架12的弹簧座13连接；所述磁力单元3的按钮开关34设于箱体1的开关座11上，螺线管31、金属导线32及电池33设于箱体1内，且螺线管31的轴线指向箱体1的顶面与底面。所述的螺线管31的轴线与上箱体1的几何轴线重合。所述的金属固定架12的表面延展于上箱体1外侧的周边。实施例参阅图3，本专利技术用于掩膜版5与样品6的贴合及分离，准备好欲贴合的掩膜版5及样品6，且加工掩膜版5及样品6的外形与罩壳2上定位框21的形状相配合。a)、掩膜版与样品贴合时参阅图1-3，首先将掩膜版5摆放在固定的平台上，将本专利技术置于掩膜版5的上方，并使罩壳2上的定位框21对准掩膜版5，由本专利技术箱体1施力往下按，使掩膜版5平稳的嵌入罩壳2上的定位框21里，并与支撑板4贴合。开启按钮开关34，螺线管31通电产生磁力，螺线管31产生的磁力将弹簧41压缩，将掩膜版5吸附在支撑板4上，并连同支撑板4在罩壳2内产生向上的位移。再将样品6摆放在固定的平台上，将本专利技术置于样品6的上方，并使罩壳2上的定位框21对准样品6，由本专利技术箱体1施力往下按，使样品6平稳的嵌入罩壳2上的定位框21里，此时，关闭按钮开关34，螺线管31断电磁力消失，弹簧41恢复变形，弹簧41的弹力将支撑板4连同掩膜版5向下推，使支撑板4在罩壳2内产生向下的位移，直至样品6、掩膜版5及支撑板4依次贴合；将本专利技术移离固定平台，样品6与掩膜版5对齐并留在固定平台上，完成样品6与掩膜版5成功的贴合。b)、掩膜版与样品分离时参阅图1-3，首先将已处理完成的掩膜版5与样品6摆放在固定的平台上，将本专利技术置于掩膜版5与样品6的上方，并使罩壳2上的定位框21对准掩膜版5与样品6，开启按钮开关34，螺线管31通电产生磁力，螺线管31产生的磁力将弹簧41压缩，使掩膜版5吸附在支撑板4上，并使掩膜版5连同支撑板4在罩壳2内产生向上的位移，此时，样品6便单独留在固定平台上，将本专利技术移离固定平台，将滞留在固定平台上的样品6做相应的保存，完成样品6与掩膜版5成功的分离。c)、本专利技术所产生的技术效果参阅图1-3，本专利技术的使用过程中，使得掩膜版5与样品6的贴合及分离过程都是在样品6与掩膜版5相对垂直运动的方向完成的，同时，由于样品6和掩膜版5的外形都是精加工而成，且与罩壳2上的定位框21精密配合，所以，掩膜版5与样品6贴合的精准度更高，完全克服了传统工艺需经过横向移动方能校准的现状，避免了掩膜版5与样品6之间的横向摩擦而造成的划伤，使的操作更为快捷方便。参阅图3，对于不同规格尺寸的样品6，只要制作对应尺寸的掩膜版5及定位框21，就可实施对不同规格尺寸掩膜版5与样品6的贴合及分离。参阅图1，为减小支撑板4对罩壳2的定位框21周边的摩擦，确保定位框21的精度，本专利技术将罩壳2制成倒锥台形，使得支撑板4在罩壳2内垂直运行时与罩壳2的定位框21无接触，以延长定位框21的使用寿命。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜版与样品的贴合及分离装置，其特征在于它包括：一个顶面设有开关座（11）、底面设有金属固定架（12）的矩形箱体（1），且金属固定架（12）上设有弹簧座（13）；一个上口设有接口（22）、下口设有定位框（21）的倒锥台的矩形罩壳（2）；一个由螺线管（31）、金属导线（32）、电池（33）及按钮开关（34）构成的磁力单元（3），且金属导线（32）将螺线管（31）、电池（33）及按钮开关（34）电连接；一个四角设有弹簧（41）的支撑板（4）；所述罩壳（2）设于箱体（1）的底部，且罩壳（2）的接口（22）与箱体（1）上金属固定架（12）的周边结合；所述支撑板（4）设于罩壳（2）内，支撑板（4）上的弹簧（41）与箱体（1）上金属固定架（12）的弹簧座（13）连接；所述磁力单元（3）的按钮开关（34）设于箱体（1）的开关座（11）上，螺线管（31）、金属导线（32）及电池（33）设于箱体（1）内，且螺线管（31）的轴线指向箱体（1）的顶面与底面。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版与样品的贴合及分离装置，其特征在于它包括：一个顶面设有开关座（11）、底面设有金属固定架（12）的矩形箱体（1），且金属固定架（12）上设有弹簧座（13）；一个上口设有接口（22）、下口设有定位框（21）的倒锥台的矩形罩壳（2）；一个由螺线管（31）、金属导线（32）、电池（33）及按钮开关（34）构成的磁力单元（3），且金属导线（32）将螺线管（31）、电池（33）及按钮开关（34）电连接；一个四角设有弹簧（41）的支撑板（4）；所述罩壳（2）设于箱体（1）的底部，且罩壳（2）的接口（22）与箱体（1）上金属固定架（12）...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文武，黄凡铭，胡鸣，敬承斌，胡志高，褚君浩，
申请(专利权)人：华东师范大学，
类型：发明
国别省市：上海,31