工业用机器人制造技术

一种工业用机器人，其能够对组装并使用有工业用机器人的半导体制造系统等制造系统的节拍时间进行缩短。工业用机器人(1)具有：四个手(3～6)；以及手(3～6)能够转动地连接到末端侧的臂(7)，手(3～6)以手(3～6)的基端侧在上下方向上重叠的方式连接到臂(7)且能够分别相对于臂(7)转动。手(3～6)中的配置在最上面的手(3)以及配置在由上往下数第二个的手(4)的保持搬运对象物(2)的保持部(30)包括：具有供搬运对象物(2)的端面抵接的抵接面的端面抵接部件；以及以搬运对象物(2)的端面按压于抵接面的方式按压搬运对象物(2)的按压机构。余下的两个手(5、6)的保持搬运对象物(2)的保持部(45)具有吸引并保持搬运对象物(2)的吸引孔(46)。

Industrial robots

An industrial robot that shortens the beat time of a manufacturing system such as a semiconductor manufacturing system that assembles and uses an industrial robot. Industrial robots (1) has four hands (3 ~ 6); and (3 ~ 6) can be rotatably connected to the end of the side arm (7), hand in hand (3 ~ 6) (3 ~ 6) of the base end side overlap vertically connected to arm (7) and (7) rotation relative to the arm respectively. Hand (3 ~ 6) in the configuration at the top of the hand (3) and arranged in a top second hands (4) to keep moving object (2) holding part (30) for handling objects including: (2) the end against the abutting face contact the components and handling objects; (2) the end pressing on the abutting face pressing the carried object (2) pressing mechanism. A holding portion (45) of the remaining two hand (5, 6) holding object (2) has an attraction hole (46) that attracts and holds the carrying object (2).

【技术实现步骤摘要】
工业用机器人
本专利技术涉及对半导体晶圆等搬运对象物进行搬运的工业用机器人。
技术介绍
以往，公知有对半导体晶圆进行搬运的工业用机器人(例如参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具有：供半导体晶圆装设的第一手以及第二手；能够转动地连接第一手以及第二手的臂；以及能够转动地连接臂的基端侧的本体部。第一手与第二手以第一手的基端部与第二手的基端部在上下方向上重叠的方式连接到臂的末端侧。并且，该工业用机器人具有：使第一手相对于臂转动的第一手驱动机构；以及使第二手相对于臂转动的第二手驱动机构，第一手与第二手能够分别相对于臂转动。专利文献1所记载的工业用机器人被组装到半导体制造系统中使用，例如在存储盒与处理装置之间搬运半导体晶圆，所述存储盒容纳以隔着规定的间距在上下方向上重叠的半导体晶圆，所述处理装置中配置在上下方向上不重叠的半导体晶圆。在这种情况下，在第一手的末端侧与第二手的末端侧重叠的状态下，臂伸缩并从存储盒同时搬出两张半导体晶圆，接下来，在臂相对于本体部转动以使第一手以及第二手的末端朝向处理装置侧，且第一手以及第二手转动以使第一手的末端侧与第二手的末端侧分离后，臂伸缩并向处理装置同时搬进两张半导体晶圆。并且，在第一手的末端侧与第二手的末端侧不重叠的状态下，臂伸缩并从处理装置同时搬出处理后的两张半导体晶圆，接下来，在臂相对于本体部转动以使以第一手以及第二手的末端朝向存储盒侧，且第一手以及第二手转动以使第一手的末端侧与第二手的末端侧重叠后，臂伸缩并向存储盒同时搬进两张半导体晶圆。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-66342号公报要求在组装并使用有专利文献1所记载的工业用机器人的半导体制造系统中缩短节拍时间。
技术实现思路
本专利技术的课题在于提供一种能够对组装并使用有工业用机器人的半导体制造系统等制造系统的节拍时间进行缩短的工业用机器人。为了解决上述课题，本专利技术的工业用机器人的特征在于，具有：供搬运对象物装设的四个手；四个手能够转动地连接到末端侧的臂；以及能够转动地连接臂的基端侧的本体部，四个手具有保持搬运对象物的保持部，且以四个手的基端侧在上下方向上重叠的方式连接到臂，能够分别相对于臂转动，如果将四个手中的配置在最上面的手和配置在由上往下数第二个手作为一对第一手，将剩余的两个手作为一对第二手，则构成一对第一手以及一对第二手中的任一方的两个手的保持部具有端面抵接部件和按压机构，所述端面抵接部件具有供搬运对象物的端面抵接的抵接面，所述按压机构以搬运对象物的端面按压于抵接面的方式按压搬运对象物，构成一对第一手以及一对第二手中的另一方的两个手的保持部具有吸引并保持搬运对象物的吸引孔。在本专利技术中，按压机构例如具有：朝向抵接面按压搬运对象物的端面的按压部；驱动按压部的气缸；以及检测按压部的动作的检测机构。本专利技术的工业用机器人具有以基端侧在上下方向上重叠的方式连接到臂的末端侧的四个手，四个手能够分别相对于臂转动。因此，在本专利技术中，例如在工业用机器人被组装到半导体系统中使用的情况下，在使用构成一对第一手的两个手刚刚从存储盒同时搬出处理前的两张半导体晶圆(搬运对象物)后，能够立即使用构成一对第二手的两个手将处理后的两张半导体晶圆同时搬进存储盒。并且，在使用构成一对第二手的两个手刚刚从处理装置同时搬出处理后的两张半导体晶圆后，能够立即使用构成一对第一手的两个手将处理前的两张半导体晶圆同时搬进处理装置。因此，在本专利技术中，能对组装并使用有工业用机器人的半导体制造系统等的制造系统的节拍时间进行缩短。在此，例如在本专利技术的工业用机器人被组装到半导体制造系统中使用的情况下，一般不要求被搬进存储盒的半导体晶圆(搬运对象物)在存储盒内的位置精度，但要求被搬进处理装置的半导体晶圆在处理装置内的位置精度。即，尽管不需要将半导体晶圆精确地搬进存储盒，但需要将半导体晶圆精确地搬进处理装置。并且，在保持搬运对象物的手的保持部为包括具有供搬运对象物的端面抵接的抵接面的端面抵接部件和以搬运对象物的端面按压于抵接面的方式按压搬运对象物的按压机构在内的回形针型的保持部的情况下，通过朝向抵接面按压搬运对象物的端面，能够提高装设于手的搬运对象物的位置精度，其结果是，能够将半导体晶圆(搬运对象物)精确地搬进处理装置，但是在手的保持部为包括吸引并保持搬运对象物的吸引孔在内的吸引型的保持部的情况下，难以提高装设于手的搬运对象物的位置精度，其结果是，难以将半导体晶圆(搬运对象物)精确地搬进处理装置。因此，在本专利技术中，如果四个手的保持部全都是回形针型的保持部，则能够将半导体晶圆精确地搬进处理装置。然而，在手的保持部为回形针型的保持部的情况下，例如由于需要将气缸用的空气配管和检测机构用的配线拉绕到手的保持部，因此与手的保持部为吸引型的保持部的情况相比，臂与手的连接部分的结构变得复杂。在本专利技术中，构成一对第一手以及一对第二手中的一方的两个手的保持部为回形针型的保持部，构成一对第一手以及一对第二手中的另一方的两个手的保持部为吸引型的保持部。因此，在本专利技术中，例如在工业用机器人被组装到半导体制造系统中使用的情况下，通过使用具有回形针型的保持部的两个手将处理前的两张半导体晶圆(搬运对象物)从存储盒搬出，使用具有吸引型的保持部的两个手将处理后的两张半导体晶圆搬进存储盒，并使用具有吸引型的保持部的两个手将处理后的两张半导体晶圆从处理装置搬出，使用具有回形针型的保持部的两个手将处理前的两张半导体晶圆搬进处理装置，能够将半导体晶圆精确地搬进处理装置。并且，在本专利技术中，由于构成一对第一手以及一对第二手中的另一方的两个手的保持部为吸引型的保持部，因此与四个手的保持部全部是回形针型的保持部的情况相比，能够简化臂与四个手间的连接部分的结构。即，在本专利技术中，不仅能够将搬运对象物精确地搬进处理装置等，还能够简化臂与四个手间的连接部分的结构。在本专利技术中，如果将四个手中的配置在最上面的手作为第一手，将配置在由上往下数第二个手作为第二手，将配置在由上往下数第三个手作为第三手，将配置在最下面的手作为第四手，则优选工业用机器人具有：第一中空转动轴，所述第一中空转动轴形成为中空状，且供第一手的基端侧部分的下表面侧固定；第二中空转动轴，该第二中空转动轴形成为中空状，并配置在第一中空转动轴的外周侧，且第二中空转动轴与第一中空转动轴配置在同一轴线上，并供第二手的基端侧部分的下表面侧固定；第三中空转动轴，该第三中空转动轴形成为中空状，并配置在第二中空转动轴的外周侧，且第三中空转动轴与第一中空转动轴配置在同一轴线上，并供第三手的基端侧部分的下表面侧固定；以及第四中空转动轴，该第四中空转动轴形成为中空状，并配置在第三中空转动轴的外周侧，且第四中空转动轴与第一中空转动轴配置在同一轴线上，并供第四手的基端侧部分的下表面侧固定，第一手以及第二手的保持部具有端面抵接部件和按压机构，第三手以及第四手的保持部吸引并保持搬运对象物。在这种情况下，例如，第一手以及第二手具有：供搬运对象物装设的装设部；以及支承装设部的支承部，第一手的支承部将第一手的装设部与第一手的基端侧部分连接，第二手的支承部将第二手的装设部和第二手的基端侧部分连接，第一手的基端侧部分及支承部、第二手的基端侧部分及支承部、第三手以及第四手呈中空状，在第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工业用机器人，其特征在于，具有：四个手，四个所述手供搬运对象物装设；臂，四个所述手能够转动地连接到所述臂的末端侧；以及本体部，所述臂的基端侧能够转动地连接到所述本体部，四个所述手具有保持所述搬运对象物的保持部，且以四个所述手的基端侧在上下方向上重叠的方式连接到所述臂，并且能够分别相对于所述臂转动，如果将四个所述手中的配置在最上面的所述手和配置在由上往下数第二个所述手作为一对第一手，将剩余的两个所述手作为一对第二手，则构成所述一对第一手以及所述一对第二手中的一方的两个所述手的所述保持部具有：端面抵接部件，所述端面抵接部件具有供所述搬运对象物的端面抵接的抵接面；以及按压机构，所述按压机构以所述搬运对象物的端面安装于所述抵接面的方式按压所述搬运对象物，构成所述一对第一手以及所述一对第二手中的另一方的两个所述手的所述保持部具有吸引孔，所述吸引孔吸引并保持所述搬运对象物。

【技术特征摘要】
2015.12.28 JP 2015-2562271.一种工业用机器人，其特征在于，具有：四个手，四个所述手供搬运对象物装设；臂，四个所述手能够转动地连接到所述臂的末端侧；以及本体部，所述臂的基端侧能够转动地连接到所述本体部，四个所述手具有保持所述搬运对象物的保持部，且以四个所述手的基端侧在上下方向上重叠的方式连接到所述臂，并且能够分别相对于所述臂转动，如果将四个所述手中的配置在最上面的所述手和配置在由上往下数第二个所述手作为一对第一手，将剩余的两个所述手作为一对第二手，则构成所述一对第一手以及所述一对第二手中的一方的两个所述手的所述保持部具有：端面抵接部件，所述端面抵接部件具有供所述搬运对象物的端面抵接的抵接面；以及按压机构，所述按压机构以所述搬运对象物的端面安装于所述抵接面的方式按压所述搬运对象物，构成所述一对第一手以及所述一对第二手中的另一方的两个所述手的所述保持部具有吸引孔，所述吸引孔吸引并保持所述搬运对象物。2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，所述按压机构具有：按压部，所述按压部朝向所述抵接面按压所述搬运对象物的端面；气缸，所述气缸驱动所述按压部；以及检测机构，所述检测机构检测所述按压部的动作。3.根据权利要求2所述的工业用机器人，其特征在于，如果将四个所述手中的配置在最上面的所述手作为第一手，将配置在由上往下数第二个所述手作为第二手，将配置在由上往下数第三个所述手作为第三手，将配置在最下面的所述手作为第四手，则具有：第一中空转动轴，所述第一中空转动轴形成为中空状，并供所述第一手的基端侧部分的下表面侧固定；第二中空转动轴，所述第二中空转动轴形成为中空状，并配置在所述第一中空转动轴的外周侧，且所述第二中空转动轴与所述第一中空转动轴配置在同一轴线上，并供所述第二手的基端侧部分的下表面侧固定；第三中空转动轴，所述第三中空转动轴形成为中空状，并配置在所述第二中空转动...

【专利技术属性】
技术研发人员：北原康行，金子健一郎，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP