The invention discloses a method for manufacturing a high reliability of HEMT, including 1 steps, a dielectric layer is deposited in the HEMT device after molding, and the dielectric layer is planarized; step 2, etching a plurality of through holes or grooves in the dielectric layer is planarized after treatment; step 3, in holes or deposited metal layer slot, and the metal layer is planarized; step 4 on the flat after the treatment of the metal layer and the dielectric layer deposited on the passivation layer. The invention adopts holes filled with metal, and a passivation layer is deposited by optimizing the passivation layer structure, the device can guarantee the moisture resistance, so that the device has high reliability in damp environment work; at the same time by adjusting the thickness of the passivation layer and stress, can be adjusted to optimize the performance of the devices.
【技术实现步骤摘要】
一种高可靠性HEMT制作方法
本专利技术涉及一种高可靠性HEMT制作方法,属于场效应晶体管制作领域。
技术介绍
高电子迁移率晶体管也称调制掺杂场效应管(MODFET),又称二维电子气场效应管(2DEGFET),它是利用调制掺杂方法,在异质结界面形成的三角形势阱中的二维电子气作为沟道的场效应晶体管,简称HEMT。这种器件及其集成电路都能够工作于超高频(毫米波)、超高速领域,原因就在于它是利用具有很高迁移率的所谓二维电子气来工作的。载流子的迁移率主要受晶格热振动和电离杂质两种散射作用而降低。电离杂质散射是增加载流子浓度和提高载流子迁移率矛盾产生的根源。HEMT与其它场效应管的主要区别是它包含一个由宽带隙材料(如AlGaAs)和窄带隙材料(如GaAs)构成的异质结。在该异质结中掺N型杂质的宽带隙材料作为电子的提供层向不掺杂窄带隙材料提供大量电子。这些电子积累在由两种材料导带底能量差(ΔEC)形成的三角形势阱中形成二维电子气(2DEG)。由于电子脱离了提供它的宽带隙材料中带正电的施主电离中心进入了不掺杂(无电离杂质散射)窄带隙材料的势阱中,不再受到电离杂质散射作用,而呈现出很高的迁移率。利用这种无杂质散射的二维电子气作为导电沟道,沟道中的电子浓度受到栅电压的调制,在栅极两侧设置源区和漏区,这种场效应管就是HEMT。HEMT二维电子气电子浓度是由两种半导体材料导带能量差引起,尤其在GaNHEMT中,AlGaN和GaN的极化效应也会产生二维电子气,外部应力会导致二维电子气中电子浓度变化。如图1所示,现有HEMT工艺中,为了减小应力对二维电子气的影响,器件栅极区域采用较 ...
【技术保护点】
一种高可靠性HEMT制作方法,其特征在于:包括以下步骤,步骤1,在成型后的HEMT器件上淀积介质层,并对介质层进行平坦化处理;步骤2,在平坦化处理后的介质层上刻蚀若干通孔或槽;步骤3,在通孔或槽中淀积金属层,并对金属层进行平坦化处理;步骤4,在平坦化处理后的金属层和介质层上淀积钝化层。
【技术特征摘要】
1.一种高可靠性HEMT制作方法,其特征在于:包括以下步骤,步骤1,在成型后的HEMT器件上淀积介质层,并对介质层进行平坦化处理;步骤2,在平坦化处理后的介质层上刻蚀若干通孔或槽;步骤3,在通孔或槽中淀积金属层,并对金属层进行平坦化处理;步骤4,在平坦化处理后的金属层和介质层上淀积钝化层。2.根据权利要求1所述的一种高可靠性HEMT制作方法,其特征在于:平坦化处理后的金属层顶面与平坦化处理后的介质层顶面齐平。3.根据权利要求1或2所...
【专利技术属性】
技术研发人员:彭虎,张耀辉,莫海锋,
申请(专利权)人:昆山华太电子技术有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。