A test device, an exposure device, and a method of manufacturing a device are disclosed. The detection device has 22 and receiving the reflection from the projection system with respect to the tilt direction of projection light normal surface in light of the 20 light receiving system 23, and the detection device of the optical receiving system 23 based on the data to detect the position of the surface reflected light 20 comprises a front / back reflection light, a light receiving system including 23 the reflected light is separated into a first polarized light / second polarized light separating unit 15, and a detection unit for detecting a first / second polarized light 16, 17, or 22 light projection system receiving system 23 is configured so that the back reflected light obtained by the detection unit of the first / second polarized light are equal, and includes for the calculation of unit the location of the first show out of / between the second polarized differential data based on data.
【技术实现步骤摘要】
检测设备、曝光设备和制造设备的方法
本专利技术涉及检测设备、曝光设备以及制造设备的方法。
技术介绍
在作为用于半导体设备等的制造工艺之一的光刻工艺中,使用曝光装置,该曝光装置经由投影光学系统将原版(original)的图案转印到基板上的曝光区域上。为了正确地转印图案,必须正确地检测基板的表面(曝光区域)在投影光学系统的光轴方向上的高度。因此,曝光装置包括检测基板的表面的高度的检测系统(检测设备)。检测系统包括将检测光投影到基板的表面上的投影系统以及接收来自基板的反射光的光接收系统。如果透射检测光的透明基板(例如,玻璃)被用作基板,则来自基板的表面的反射光与来自基板的背面的反射光相互重叠,并因此会使检测精度劣化。这种不便随着近年来对更轻更薄的基板的需求而变得突出。日本专利特开No.2004-273828公开了从以上两种反射光中指定来自表面的反射光的方法。日本专利特开No.2010-271603公开了将具有与基板相同的折射率的流体置于基板的正下方以使光接收系统不接收来自背面的反射光的装置。但是,依赖于透明基板的厚度,日本专利特开No.2004-273828中所公开的方法以及日本专利特开No.2010-271603中所公开的装置可能难以区分这两种反射光。
技术实现思路
例如,本专利技术是要提供在基板表面的高度的检测方面有利的检测方法。本专利技术是如下的检测设备:该检测设备具有从相对于待检测物体的待检测表面的法线的倾斜方向投影检测光的投影系统以及接收由待检测物体反射的反射光的光接收系统,该检测设备基于光接收系统所获得的数据来检测待检测表面的位置,反射光包括在待检测表面 ...
【技术保护点】
一种检测设备,其特征在于,具有从相对于待检测物体的待检测表面的法线的倾斜方向投影检测光的投影系统以及接收由待检测物体反射的反射光的光接收系统,并且该检测设备基于由光接收系统获得的数据来检测待检测表面的位置,反射光包括在待检测表面上反射的前表面反射光以及透射通过待检测表面并且在待检测物体的背面上反射的背面反射光,光接收系统包括将反射光分离成第一偏振光分量和第二偏振光分量的偏振光分离单元、以及检测第一偏振光分量和第二偏振光分量的检测单元,投影系统或光接收系统被配置成使得由检测单元获得的背面反射光的第一偏振光分量和背面反射光的第二偏振光分量相等,并且投影系统或光接收系统包括基于由检测单元获得的示出第一偏振光分量的数据与示出第二偏振光分量的数据之间的差分数据来计算所述位置的计算单元。
【技术特征摘要】
2015.12.25 JP 2015-2531171.一种检测设备,其特征在于,具有从相对于待检测物体的待检测表面的法线的倾斜方向投影检测光的投影系统以及接收由待检测物体反射的反射光的光接收系统,并且该检测设备基于由光接收系统获得的数据来检测待检测表面的位置,反射光包括在待检测表面上反射的前表面反射光以及透射通过待检测表面并且在待检测物体的背面上反射的背面反射光,光接收系统包括将反射光分离成第一偏振光分量和第二偏振光分量的偏振光分离单元、以及检测第一偏振光分量和第二偏振光分量的检测单元,投影系统或光接收系统被配置成使得由检测单元获得的背面反射光的第一偏振光分量和背面反射光的第二偏振光分量相等,并且投影系统或光接收系统包括基于由检测单元获得的示出第一偏振光分量的数据与示出第二偏振光分量的数据之间的差分数据来计算所述位置的计算单元。2.根据权利要求1所述的检测设备,其中投影系统将检测光投影到待检测表面,使得检测光的第一偏振光分量在背面中的反射率与检测光的第二偏振光分量在背面中的反射率相等。3.根据权利要求1所述的检测设备,其中投影系统或光接收系统包括偏振光调整单元,该偏振光调整单元调整反射光的偏振光状态以使得背面反射光的第一偏振光分量与背面反射光的第二偏振光分量相等。4.根据权利要求1所述的检测设备,其中投影系统或光接收系统被配置成使得表示由检测单元检测的前表面反射光的第一偏振光分量的光强度的波形数据的形状与表示由检测单元检测的前表面反射光的第二偏振光分量的光强度的波形数据的形状为相似的关系。5.一种检测设备,其特征在于,具有从相对于待检测物体的待检测表面的法线的倾斜方向投影检测光的投影系统、以及接收由待检测物体反射的反射光的光接收系统,并且该检测设备基于由光接收系统获得的数据来检测待检测表面的位置,反射光包括在待检测表面上反射的前表面反射光、以及透...
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