The invention discloses a device for preparing nano grating, which comprises a mounting base and a L shaped and L shaped mounting bracket, mounting bracket fixed on the top side of the welding mounting base, a support frame fixed welding of the installation of the base, the top of the mounting base is fixed at the motor output shaft of the motor. Connected with second rotary connecting piece, the second rotating end of the connecting piece is provided with a motor from the second photoresist, rotary connecting piece and uniform glue Taiwan rotary connection. A device for preparing nano grating provided by the invention has the advantages of simple structure, reasonable design, the use of spin coating photoresist spin coating process platform to complete the work, exposure machine, intermediate mask, lens and mirror finish substrate by electron beam in the preparation of nano grating device of the present invention, small equipment investment, low production cost, simple operation, easy control, short preparation period, the nano grating performance, high quality, high qualified rate, worthy of promotion.
【技术实现步骤摘要】
一种制备纳米光栅的装置和方法
本专利技术涉及纳米光栅
,尤其涉及一种制备纳米光栅的装置和方法。
技术介绍
光栅作为一种非常重要的化学元件,被广泛应用于集成电路、光通信、光学互连、光信息处理、光学测量等领域。随着纳米技术的飞速发展,纳米技术成为了当前研究最广泛、投入最多的科学
之一。随着光栅在纳米尺度的应用,纳米光栅的制备方法显得十分重要。现有技术中,纳米光栅的制备方法主要包括全息光刻、电子束光刻、离子束光刻、X射线光刻等等。上述方法普遍存在所用设备投资成本高,操作复杂,工艺条件苛刻,难以控制,纳米光栅制备成本高、周期长,所得纳米光栅质量不达标,成品合格率低等问题。基于上述陈述,本专利技术提出了一种制备纳米光栅的装置和方法。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种制备纳米光栅的装置和方法。一种制备纳米光栅的装置,包括安装底座和L形安装支架,且L形安装支架固定焊接在安装底座的一侧顶部,所述安装底座的底部固定焊接有支撑架,所述安装底座的顶部固定安装有电机,所述电机的输出轴连接有第二转动连接件,所述第二转动连接件远离电机的一端设有匀胶台,所述第二转动连接件与匀胶台转动连接,所述L形安装支架靠近匀胶台的一侧设有第一滑槽,所述第一滑槽内设有推杆电机,且第一滑槽与推杆电机滑动连接,所述推杆电机的输出轴固定连接有安装支架,所述安装支架的底端固定焊接有储胶室,且所述储胶室的下方设有出胶口,所述L形安装支架靠近匀胶台的一侧固定安装有电子束曝光机,且电子束曝光机位于推杆电机的上方,所述L形安装支架的顶部靠近匀胶台的一侧设有第二滑槽,所 ...
【技术保护点】
一种制备纳米光栅的装置,包括安装底座(1)和L形安装支架(2),且L形安装支架(2)固定焊接在安装底座(1)的一侧顶部,其特征在于,所述安装底座(1)的底部固定焊接有支撑架(19),所述安装底座(1)的顶部固定安装有电机(18),所述电机(18)的输出轴连接有第二转动连接件(17),所述第二转动连接件(17)远离电机(18)的一端设有匀胶台(16),所述第二转动连接件(17)与匀胶台(16)转动连接,所述L形安装支架(2)靠近匀胶台(16)的一侧设有第一滑槽(5),所述第一滑槽(5)内设有推杆电机(6),且第一滑槽(5)与推杆电机(6)滑动连接,所述推杆电机(6)的输出轴固定连接有安装支架(7),所述安装支架(7)的底端固定焊接有储胶室(4),且所述储胶室(4)的下方设有出胶口(3),所述L形安装支架(2)靠近匀胶台(16)的一侧固定安装有电子束曝光机(8),且电子束曝光机(8)位于推杆电机(6)的上方,所述L形安装支架(2)的顶部靠近匀胶台(16)的一侧设有第二滑槽(9),所述第二滑槽(9)内设有第一滑块(10)和第二滑块(11),所述第一滑块(10)和第二滑块(11)均匀第二滑槽( ...
【技术特征摘要】
1.一种制备纳米光栅的装置,包括安装底座(1)和L形安装支架(2),且L形安装支架(2)固定焊接在安装底座(1)的一侧顶部,其特征在于,所述安装底座(1)的底部固定焊接有支撑架(19),所述安装底座(1)的顶部固定安装有电机(18),所述电机(18)的输出轴连接有第二转动连接件(17),所述第二转动连接件(17)远离电机(18)的一端设有匀胶台(16),所述第二转动连接件(17)与匀胶台(16)转动连接,所述L形安装支架(2)靠近匀胶台(16)的一侧设有第一滑槽(5),所述第一滑槽(5)内设有推杆电机(6),且第一滑槽(5)与推杆电机(6)滑动连接,所述推杆电机(6)的输出轴固定连接有安装支架(7),所述安装支架(7)的底端固定焊接有储胶室(4),且所述储胶室(4)的下方设有出胶口(3),所述L形安装支架(2)靠近匀胶台(16)的一侧固定安装有电子束曝光机(8),且电子束曝光机(8)位于推杆电机(6)的上方,所述L形安装支架(2)的顶部靠近匀胶台(16)的一侧设有第二滑槽(9),所述第二滑槽(9)内设有第一滑块(10)和第二滑块(11),所述第一滑块(10)和第二滑块(11)均匀第二滑槽(9)滑动连接,所述第一滑块(10)远离第二滑槽(9)的一端固定连接有中间掩膜版(12),所述第二滑块(11)远离第二滑槽(9)的一端固定连接有聚光透镜(13),所述L形安装支架(2)的顶部远离电子束曝光机(8)的一端底部固定安装有第一转动连接件(14),所述第一转动连接件(14)的底端设有反射镜(15),且所述第一转动连接件(14)与反射镜(15)转动连接。2.根据权利要求1所述的一种制备纳米光栅的装置,其特征在于,所述电子束曝光机(8)、中间掩膜版(12)和聚光透镜(13)的中心轴线为同一条水平线。3.根据权利要求1所述的一种制备纳米光栅的装置,其...
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