一种保护气氛快速冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于磁控溅射靶材生产领域，尤其涉及一种保护气氛快速冷却装置。为解决当前采用的冷却方式冷却时间长、生产效率低以及易混入氧气，造成轻微氧化的问题。本实用新型专利技术提出一种保护气氛快速冷却装置，包括箱体1、密封圈2、真空泵接口3、惰性气体接口4、空气接口5、箱门6、空调蒸发器7以及空调蒸发器外罩8。相比于当前在真空环境下冷却或放入氮气柜中冷却的方法，本装置具有抽真空的功能，可以有效去除氧气，并可以充入惰性气体，利用空调蒸发器强制冷却惰性气体，使易氧化的磁控溅射靶材的降温过程始终处于保护性气氛下，从而避免靶材发生氧化，提高产品表面质量。本装置同时还具有操作简单、冷却速度快、安全可靠等优点。

Quick cooling device for protecting atmosphere

The utility model belongs to the production field of magnetron sputtering target material, in particular to a fast cooling device for protecting atmosphere. In order to solve the current cooling way, the cooling time is long, the production efficiency is low and easy to mix with oxygen, it causes slight oxidation. The utility model provides a fast cooling device for a protective atmosphere, which comprises a box body 1, a sealing ring 2, a vacuum pump interface 3, inert gas, air interface 4 interface 5, box door 6, air-conditioning evaporator air conditioning evaporator cover 8 and 7. Compared to the current in vacuum cooling or cooling method in the nitrogen cabinet, the device has the function of vacuum pumping, can effectively remove oxygen, and can be filled with inert gas, inert gas using forced cooling air conditioning evaporator, the cooling process of sputtering target oxidation is always in a protective atmosphere, so as to avoid the target of oxidation, improve the surface quality of products. The utility model also has the advantages of simple operation, fast cooling speed, safety and reliability, etc..

【技术实现步骤摘要】
一种保护气氛快速冷却装置
本技术属于磁控溅射靶材生产领域，尤其涉及一种保护气氛快速冷却装置。
技术介绍
磁控溅射靶材是半导体行业的关键材料，用于电路互连、器件中栅极、内引线材料、肖特基势垒接触的制作以及背面金属化。随着芯片微型化、高密度化、高速化、高可靠化和系统集成化，对磁控溅射靶材的质量的要求越来越严，靶材表面轻微的氧化，都会对产品质量造成重大影响。目前靶材在成型后，必须经过清洗、烘干、冷却及包装四个步骤，将靶材处理干净并进行保护。清洗是将表面杂质去除干净，通过加热烘干去除水分，冷却到室温后才能进行最后的真空包装。由于某些金属在空气中易于氧化，因此烘干后的靶材不能直接在大气中冷却，较高的温度会造成靶材表面氧化，影响产品质量。目前采用的方式是在真空环境下冷却，或放入氮气柜中冷却。前者虽然可以保证靶材在冷却过程不接触到氧气，从而避免氧化，但由于真空下无法进行对流传热，导致冷却时间很长，非常影响生产效率；后者通过不断往氮气柜中充入氮气，保证柜子氧气含量低，但在放入靶材的过程，不可避免的会混入氧气，从而造成轻微氧化。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提出一种保护气氛快速冷却装置，包括箱体1、密封圈2、真空泵接口3、惰性气体接口4、空气接口5、箱门6、空调蒸发器7以及空调蒸发器外罩8；所述密封圈2设置于箱体1开口处的密封槽内，在箱体1背面下方并排设置真空泵接口3、惰性气体接口4与空气接口5，箱门6通过铰链与箱体1连接，空调蒸发器7设置在箱体1内侧底部中央，空调蒸发器外罩8设置于调蒸发器7外部以及箱体1内部。所述密封圈2用于在箱门6关闭后保证箱体1密封。所述真空泵接口3与外界真空泵相连，用于将箱内1中的空气抽空；所述惰性气体接口4与外界惰性气体钢瓶连接，用于将惰性气体充入箱体1中；所述空气接口5用于在抽真空后将外界空气放入箱体1；在三个接口外均设有阀门，用于控制接口的开闭。所述空调蒸发器7设有风扇，空调蒸发器7与外界空调压缩机相连，用于强制冷却箱体1内的空气或惰性气体，空调蒸发器的控制电线和铜管从箱体引出，并在开口处进行密封处理，防止空气漏入。所述空调蒸发器外罩8由具有网眼结构的不锈钢材质制成，用于有效的保证箱体1内气体的流通，同时可做为磁控溅射靶材的放置平台，空调蒸发器外罩8顶端为平面，并附有耐热洁净的软性材料，避免靶材底面划伤。本技术的有益效果在于：(1)具有抽真空及冲惰性气体的功能，可以确保产品不被氧化,。本技术由于具有抽真空功能，可以将空气抽空，避免靶材在冷却过程中接触氧气而被氧化，充入惰性气体后，可以使磁控溅射靶材在冷却过程始终处于惰性气体的保护气氛中，确保产品不被氧化。(2)具有强制冷却功能，可以快速高效的使产品降温，提高生产效率。相对于传统的真空冷却方式，本技术由于充入了惰性气体，可以确保对流传热，大大提高了传热效率，同时采用空调强制冷却，可以迅速将热量带走，使靶材迅速冷却，极大的提高生产效率，使靶材的冷却效率也优于氮气柜。(3)结构简单，适用性强，可以满足多种靶材产品的冷却需求。附图说明附图1为保护气氛快速冷却装置的结构示意图。附图标记：1－箱体，2－密封圈，3－真空泵接口，4－惰性气体接口，5－空气接口，6－箱门，7－空调蒸发器，8－空调蒸发器外罩。具体实施方式下面结合附图对本技术进行详细说明。附图1为保护气氛快速冷却装置的结构示意图，如图1所示，该装置包括箱体1、密封圈2、真空泵接口3、惰性气体接口4、空气接口5、箱门6、空调蒸发器7以及空调蒸发器外罩8。在箱体1开口处设有密封槽，并装有密封圈2，在箱体1背面下方分别并排设置真空泵接口3、惰性气体接口4与空气接口5，三个接口外均设有阀门，用于控制接口的开闭，箱门6通过铰链与箱体1连接，在箱体1底部中央安装带有风扇的空调蒸发器7，空调蒸发器7的控制电线和铜管引出箱体，在开口处进行密封处理，防止空气漏入。在空调蒸发器7外侧安装侧面带有网眼结构的不锈钢外罩8，外罩8顶端为平面，并附上耐热洁净的软性材料，避免靶材底面划伤。本技术的冷却方法如下：首先将真空接口与真空系统连接，将惰性气体接口与惰性气体钢瓶连接，将空调蒸发器与空调压缩机连接。然后将靶材放入箱体，关闭箱门并锁紧，打开真空泵接口的阀门，启动真空泵将箱体内的空气抽出；关闭真空泵接口的阀门，打开惰性气体接口阀门，充入惰性气体；待充满后，启动空调系统，对箱体内的气体进行强制冷却，通过对流方式，带走磁控溅射靶材的热量，达到快速冷却的效果。此实施例仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种保护气氛快速冷却装置，其特征在于，包括箱体(1)、密封圈(2)、真空泵接口(3)、惰性气体接口(4)、空气接口(5)、箱门(6)、空调蒸发器(7)以及空调蒸发器外罩(8)；所述密封圈(2)设置于箱体(1)开口处的密封槽内，在箱体(1)背面下方并排设置真空泵接口(3)、惰性气体接口(4)与空气接口(5)，箱门(6)通过铰链与箱体(1)连接，空调蒸发器(7)设置在箱体(1)内侧底部中央，空调蒸发器外罩(8)设置于调蒸发器(7)外部以及箱体(1)内部。

【技术特征摘要】
1.一种保护气氛快速冷却装置，其特征在于，包括箱体(1)、密封圈(2)、真空泵接口(3)、惰性气体接口(4)、空气接口(5)、箱门(6)、空调蒸发器(7)以及空调蒸发器外罩(8)；所述密封圈(2)设置于箱体(1)开口处的密封槽内，在箱体(1)背面下方并排设置真空泵接口(3)、惰性气体接口(4)与空气接口(5)，箱门(6)通过铰链与箱体(1)连接，空调蒸发器(7)设置在箱体(1)内侧底部中央，空调蒸发器外罩(8)设置于调蒸发器(7)外部以及箱体(1)内部。2.根据权利要求1所述一种保护气氛快速冷却装置，其特征在于，所述密封圈(2)用于在箱门(6)关闭后保证箱体(1)密封。3.根据权利要求1所述一种保护气氛快速冷却装置，其特征在于，所述真空泵接口(3)与外界真空泵相连，用于将箱体(1)中的空...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨永刚，于海洋，李晓松，夏乾坤，刘冬青，陆灵芝，李峥，薛宏宇，
申请(专利权)人：有研亿金新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11