光罩检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光罩检测装置，其包含检测基座、移动平台、转动平台、承载平台、激光测距模块、垂直位移模块、处理模块及影像采集模块。检测基座的一面上设有支架。移动平台设于检测基座的一面上。转动平台设于移动平台之上。承载平台设于转动平台的一面上。激光测距模块设于支架的一侧。垂直位移模块设于支架的一侧。处理模块控制垂直位移模块升降。影像采集模块设置于垂直位移模块上。其中，当影像采集模块采集检测影像后，移动平台将下一个防尘膜的检测区域移至对应激光测距模块及影像采集模块的位置，以产生下一个检测区域之测距信号及检测影像，处理模块根据多个测距信号产生防尘膜高度信息，且根据各检测影像产生检测信息。

Mask detecting device

The utility model discloses a light shield detecting device, which comprises a detection base, a moving platform, a rotating platform, a carrying platform, a laser ranging module, a vertical displacement module, a processing module and an image acquisition module. A support is provided on one side of the detecting base. The mobile platform is arranged on one side of the detecting base. The rotating platform is arranged on the mobile platform. The loading platform is arranged on one side of the rotating platform. The laser ranging module is arranged on one side of the bracket. The vertical displacement module is arranged on one side of the bracket. The processing module controls the vertical displacement module lifting. The image acquisition module is arranged on the vertical displacement module. Among them, when the image acquisition module collects image detection, detection area of the mobile platform will move to the next dust-proof film corresponding laser ranging module and image acquisition module, to generate a detection area ranging signal and detection image a processing module according to a plurality of ranging signal generating dust-proof film height information, and according to the detection of image information detection.

【技术实现步骤摘要】
光罩检测装置
本技术是涉及一种光罩检测装置，尤其是涉及一种可对光罩的框架上的防尘膜进行微粒检测，且通过测距后升降调整的方式，对各检测区域精准采集检测影像，以对应产生防尘膜高度信息及检测信息的光罩检测装置。
技术介绍
就现有的半导体组件制造技术来说，半导体组件的电路图案是通过光罩将电路图案转印至晶圆的表面上形成的。换言之，由于半导体组件的微小化，在制造半导体组件的过程中，光罩的缺陷将会大大影响硅晶圆表面之电路图案的质量，例如造成电路图案之扭曲或变形；而，目前最常见的造成光罩缺陷的原因在于光罩的表面附有微粒。因此，为了维持光罩在使用期间的质量，公知技术中光罩的表面上设置一种光罩保护薄膜(pellicle)，用以防止微粒掉落在光罩表面：然而，光罩保护膜的构造中所包含防尘膜在设置过程中，可能会被微粒附着，进而恐具有光罩在作业或运送途中，位于防尘膜上的微粒掉落在光罩表面的风险。承上述，如何在光罩的使用之前，将光罩保护薄膜的防尘膜上的微粒检测出来，将是该相关产业亟需思考并解决的一大课题。
技术实现思路
有鉴于上述公知的问题，本技术的目的在于提供一种光罩检测装置，用以解决公知技术中所面临的问题。基于上述目的，本技术提供一种光罩检测装置，其包含检测基座、移动平台、转动平台、承载平台、激光测距模块、垂直位移模块、处理模块及影像采集模块。检测基座的一面上设有支架。沿检测基座作第一方向位移的移动平台设于检测基座之的一面上，且位于检测基座及支架之间。沿移动平台作与第一方向垂直的第二方向位移的转动平台设于移动平台上。承载平台设于转动平台的一面上，承载平台承载光罩，光罩包含基板、框架及防尘膜，框架设于基板的一面上，防尘膜设于框架上。对应防尘膜的其中一个检测区域产生测距信号的激光测距模块设于支架一侧距模块。垂直位移模块设于支架的一侧。根据测距信号控制垂直位移模块升降的处理模块连结激光测距模块及垂直位移模块。于垂直位移模块升降后，采集由激光测距模块所测量的检测区域的检测影像的影像采集模块连结处理模块，且相邻激光测距模块而设置于垂直位移模块上。其中，当影像采集模块采集其中一个检测区域的检测影像后，移动平台将下一个检测区域移至对应激光测距模块及影像采集模块的位置，以产生下一个检测区域的测距信号及检测影像，处理模块根据多个测距信号产生防尘膜高度信息，且根据各检测影像产生检测信息。较佳地，移动平台可包含转动平台沿着位移的导轨。较佳地，检测信息可包含微粒位置、微粒尺寸或其组合。承上所述，本技术之光罩检测装置于影像采集模块在采集其中一个检测区域的检测影像之前，先通过激光测距模块对检测区域进行测量，待设有影像采集模块的垂直位移模块根据测距信号升降后，影像采集模块再对该检测区域进行检测影像的采集；以达到精密检测之目的，且具有提升后续的微缩制程良率的效果。附图说明图1为本技术的光罩检测装置的示意图。图2为本技术的光罩检测装置的方块图。图3为本技术的光罩检测装置的光罩的第一示意图。图4为本技术的光罩检测装置的光罩的第二示意图。图5为本技术的光罩检测装置的检测流程图。具体实施方式为利贵审查员了解本技术的特征、内容与优点及其所能达成的效果，兹将本技术配合附图，并以实施例的表达形式详细说明如下，而其中所使用的附图，其主旨仅为示意及辅助说明书之用，未必为本技术实施后的真实比例与精准配置，故不应就所附的附图的比例与配置关系解读、局限本技术于实际实施上的权利范围。本技术的优点、特征以及达到的技术方法将参照例示性实施例及所附附图进行更详细地描述而更容易理解，且本技术或可以不同形式来实现，故不应被理解仅限于此处所陈述的实施例，相反地，对所属
具有通常知识者而言，所提供的实施例将使本技术公开更加透彻与全面且完整地传达本技术的范畴，且本技术将仅为所附加的权利要求所定义。请参阅图1至4；图1为本技术的光罩检测装置的示意图；图2为本技术的光罩检测装置的方块图；图3为本技术的光罩检测装置的光罩的第一示意图；图4为本技术的光罩检测装置的光罩的第二示意图。如图所示，本技术的光罩检测装置100包含了检测基座110、移动平台120、转动平台130、承载平台140、激光测距模块150、垂直位移模块160、处理模块170及影像采集模块180。其中，移动平台120用以带动承载着光罩141的承载平台140移动位移，以使光罩141的防尘膜103的各检测区域104依序移至对应激光测距模块150及影像采集模块180的位置；垂直位移模块160用以带动影像采集模块180升降；处理模块170连结移动平台120、转动平台130、激光测距模块150、垂直位移模块160及影像采集模块180，并用以控制移动平台120移动、控制垂直位移模块160升降，以及分析检测影像以产生对应的检测信息，且根据测距信号产生防尘膜高度信息。换言之，检测基座110的一面上设有支架111。移动平台120则设于检测基座110设有支架111的一面上，且移动平台120位于检测基座110及支架111之间，即，支架111横亘于移动平台120之上；移动平台120可沿检测基座110作第一方向位移。转动平台130设于移动平台120之上，且可沿着移动平台120作第二方向位移；其中；第一方向与第二方向互为垂直，换句话说，光罩141可通过移动平台于检测基座110平面上作相对检测基座110的X轴及Y轴方向的位移。承载平台140设于转动平台130的一面上，承载平台140承载光罩141；如图3所示，光罩141包含基板101、框架102及防尘膜103，框架102设于基板101的一面上，防尘膜103设于框架102上，而防尘膜103上具有多个检测区域104，即为测量及检测的目标对象。激光测距模块150设于支架111的一侧，用以测量防尘膜103中之多个检测区域104，激光测距模块150对应防尘膜103的其中一个检测区域104产生测距信号。垂直位移模块160设于支架111一侧。处理模块170根据测距信号控制垂直位移模块160升降。影像采集模块180相邻激光测距模块150而设置于垂直位移模块160上，且于垂直位移模块160升降后，采集由激光测距模块150所测量的检测区域104的检测影像。其中，通过处理模块170控制垂直位移模块160升降，以使所欲采集的检测区域104与影像采集模块180的距离符合影像采集模块180的焦距；而，垂直位移模块160较佳是以垂直移动平台120的方向升降，即使影像采集模块180相对防尘膜103进行升降作动。而，当影像采集模块180采集其中一个检测区域104的检测影像后，移动平台120将下一个检测区域104移至对应激光测距模块150及影像采集模块180的位置，以产生下一个检测区域104的测距信号及检测影像；通过上述方式，取得各检测区域104的测距信号及检测影像，以使处理模块170可根据多个测距信号产生防尘膜高度信息，且根据各检测影像产生检测信息；其中，检测信息包含检测区域中的微粒相关信息，如微粒位置、微粒尺寸等。承上述，移动平台120进一步可包含导轨121，转动平台130位于导轨121之上，进而转动平台130可沿着导轨121进行第二方向位移。如本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光罩检测装置，其特征在于，包含：检测基座，其一面上设有支架；沿所述检测基座作第一方向位移的移动平台，其设于所述检测基座的一面上，且位于所述检测基座及所述支架之间；沿所述移动平台作与所述第一方向垂直的第二方向位移的转动平台，其设于所述移动平台之上；承载平台，其设于所述转动平台的一面上，所述承载平台承载光罩，所述光罩包含基板、框架及防尘膜，所述框架设于所述基板的一面上，所述防尘膜设于所述框架上；对应所述防尘膜的其中一个检测区域产生测距信号的激光测距模块，其设于所述支架的一侧；垂直位移模块，其设于所述支架的一侧；根据所述测距信号控制所述垂直位移模块升降的处理模块，其连结所述激光测距模块及所述垂直位移模块；以及于所述垂直位移模块升降后，采集由所述激光测距模块所测量的所述检测区域的检测影像的影像采集模块，其连结所述处理模块，且相邻所述激光测距模块并设置于所述垂直位移模块上；其中，当所述影像采集模块采集其中一个所述检测区域的所述检测影像后，所述移动平台将下一个所述检测区域移至对应所述激光测距模块及所述影像采集模块的位置，以产生下一个所述检测区域的所述测距信号及所述检测影像，所述处理模块根据多个所述测距信号产生防尘膜高度信息，且根据各所述检测影像产生检测信息。...

【技术特征摘要】
2015.11.09 TW 1041368191.一种光罩检测装置，其特征在于，包含：检测基座，其一面上设有支架；沿所述检测基座作第一方向位移的移动平台，其设于所述检测基座的一面上，且位于所述检测基座及所述支架之间；沿所述移动平台作与所述第一方向垂直的第二方向位移的转动平台，其设于所述移动平台之上；承载平台，其设于所述转动平台的一面上，所述承载平台承载光罩，所述光罩包含基板、框架及防尘膜，所述框架设于所述基板的一面上，所述防尘膜设于所述框架上；对应所述防尘膜的其中一个检测区域产生测距信号的激光测距模块，其设于所述支架的一侧；垂直位移模块，其设于所述支架的一侧；根据所述测距信号控制所述垂直位移模块升降的处理模块，其连结所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志强，
申请(专利权)人：艾斯迈科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71