一种条状光源、面状光源及采用该面状光源的曝光部件制造技术

技术编号:15742698 阅读:55 留言:0更新日期:2017-07-02 13:55
本发明专利技术涉及紫外光应用技术领域,具体涉及一种条状光源、面状光源及采用该面状光源的曝光部件,条状光源,包括支撑架,所述支撑架上设置有若干光源单元和若干用于调整光源单元发出光线的光学透镜,每一个光源单元与一个光学透镜配合,所述光源单元发出的光线经光学透镜后,形成光斑单元,各个光源单元形成的光斑单元在曝光面内依次拼接或部分重叠或间隙配合的形成一条状光斑。本申请的条状光源,形成光斑单元光线的光束角较小,光斑具有较高的有效辐照强度,在需要得到大面积光斑时,将多个本申请的条状光源进行拼接即可,拼装过程简单方便,而且,在某个条状光源故障时,也方便更换。

Strip light source, surface light source and exposure component using the surface light source

The present invention relates to the technical field of application of ultraviolet light, in particular relates to a light bar, surface light source and the surface source of exposure parts, light bar, which comprises a support frame, the support frame is provided with a plurality of light source is used to adjust the light source unit and some optical lens unit emits light, a light source unit with an optical lens, the light source unit emits light through optical lens and forms a beam unit, each unit spot light source unit formed in the exposure plane are orderly spliced or partially overlap or gap with the formation of a shaped beam. The light bar of the application, the spot light beam forming unit angle is smaller, the effective radiation intensity of spot is high, in need of large area spot, a plurality of the light bar splicing, assembling process is simple and convenient, and, in a light bar when the fault is easy to replace.

【技术实现步骤摘要】
一种条状光源、面状光源及采用该面状光源的曝光部件
本专利技术涉及紫外光应用
,具体涉及一种条状光源、面状光源及采用该面状光源的曝光部件。
技术介绍
在紫外光应用
中,光刻微细加工在各行业中应用越来越广泛,为了提高生产效率,人们希望曝光光源有高的有效辐照强度和良好的均匀性,以及有大的有效光斑面积。但是,对于曝光光源而言,增加有效光斑面积与增加有效辐照强度是相互矛盾的。为了实现有效辐照强度和有效光斑面积的同时提高,目前的方式是采用多个光源拼接成光源条,在曝光面上形成一条带状的照射光斑,曝光过程中,通过移动光源条,使带状的照射光斑扫过待曝光面,进而实现较大面积的曝光。在进一步的设计工作中,专利技术人发现,上述这种采用光源条进行扫描的方式还存在有不足,具体在于:由于光源呈条状布置,为了具有较宽的照射光斑,所以,光束角通常都较大,曝光面的有效辐照强度不高,而且整个曝光过程移动行程较大,部件移动部件结构复杂,还不便于光源移动的精确控制。
技术实现思路
本专利技术的目的在于:针对目前紫外曝光
中,存在的上述不足,提供一种光束角较小、有效辐照强度高的光源结构。为了实现上述目的,本专利技术采用的技术方案为:一种条状光源,包括支撑架,所述支撑架上设置有若干光源单元和若干用于调整光源单元发出光线的光学透镜,每一个光源单元与一个光学透镜配合,所述光源单元发出的光线经光学透镜后,形成光斑单元,各个光源单元形成的光斑单元在曝光面内依次拼接或部分重叠或间隙配合的形成一条状光斑。本申请的条状光源,通过在支撑架上设置若干光源单元,并且每个光源单元都与一个光学透镜相配合,使得光源单元发出的光线先被光学透镜调整后再照射在曝光面上形成光斑单元,所以,各个光源单元的光斑单元以部分重叠的方式、相互拼接或者在相邻光斑单元之间存在微小间隙的方式,形成长条状的光斑,如此使得,形成光斑单元光线的光束角较小,光斑具有较高的有效辐照强度,在需要得到大面积光斑时,将多个本申请的条状光源进行拼接即可,拼装过程简单方便,而且,在某个条状光源故障时,也方便更换。优选的,相邻所述光源单元之间的距离相同,相邻所述光源单元光轴之间的距离为L,当各个光源单元形成的光斑单元之间为间隙配合时,相邻光斑单元之间的距离小于0.1L。优选的,所述支撑架上还连接有用于压紧所述光学透镜的压紧件,所述光学透镜底部设置有翼缘,所述压紧件环绕于每一个光学透镜的外围,并压在所述翼缘上,将所述光学透镜固定在所述支撑架上。通过设置压紧件,保证光学透镜安装的可靠性,进而保证在使用过程中,形成光斑单元的稳定性,避免因透镜移位而导致光斑单元出现变形的情况。优选的,相邻光学透镜之间对应的所述压紧件上都设置有用于紧固所述压紧件与支撑架相对位置的紧固件。通过在相邻光学透镜之间设置固定件,即,每个光学透镜两侧都存在有固定件固定,进一步的保证光学透镜安装的可靠性。优选的,所述紧固件为螺钉。优选的,所述条状光源还包括有基板和冷却部件,所述光源单元设置在所述基板上,所述基板设置在所述冷却部件上。在本申请中,由于存在多个光源单元,所以,通过设置冷却部件,对各个光源单元进行冷却,进一步的提高本申请条状光源使用的可靠性。优选的,所述支撑架与所述冷却部件连接,所述支撑架还包括有挤压部,所述挤压部环绕于所述光源单元外围,并将所述基板压紧在所述冷却部件上。通过挤压部将基板压紧在冷却部件上,一方面是提高了光源单元安装的可靠性,另一方面,也提高了冷却部件对基板的冷却效率。本申请还公开了一种面光源,一种面光源,包括有安装板,所述安装板上设置有若干上述的条状光源,所述条状光源并排设置,使各个条状光源形成的条状光斑在一平面内依次拼接或部分重叠或间隙配合的形成一面状光斑。本申请的面光源,在安装板上设置若干条状光源,进而形成曝光面积较大的面状光斑,各个光斑单元的光束角较小,面状光斑的有效辐照强度较传统结构的光源而言,得到了显著的提高,拼装过程简单方便,而且,在某个条状光源故障时,也方便更换。优选的,所述面光源的面状光斑的外围边缘环绕于待曝光区域边缘的外围,使待曝光区域完全被所述面状光斑覆盖。保证待曝光区域被完全被面状光斑辐射,实现曝光效果。优选的,所述面光源至少存在有一条移动轨迹,以及存在至少一个曝光行程,所述面状光斑照射的区域中存在有至少一个有效曝光区域,当所述面光源在所述移动轨迹上移动一个所述曝光行程时,待曝光区域始终处于有效曝光区域内,并且,所述有效曝光区域内的任意两点或任意两区域的光照能量积分差值小于10%。本申请的面光源,具有上述的有效曝光区域,在实际使用过程中,有效曝光区域内的任意两点或任意两区域的光照能量进行积分,有效曝光区域内的任意两点或任意两区域的光照能量积分差值小于10%,即,保证了进行曝光工作时,待曝光区域中各个位置被曝光具有较为一致的均匀性,保证良好的曝光效果;而且,由于是采用上述的方式实现曝光的均匀性,所以,在另一方面也相对的减小了对光源单元以及光学透镜一致性的要求,进而也减小了生产难度和制造成本;再一方面,在实际中,对于单个光源形成的光斑单元而言,其光斑单元内部各个区域的辐照强度也存在差异,采用本申请的上述结构和移动方式,还进一步的消除了这种因光斑单元内部辐照强度不均匀而导致曝光不均匀的问题;更进一步的,在本申请中,由于面状光斑是由若干光斑单元依次拼接或部分重叠或间隙配合形成的,所以,在光斑单元之间或者重叠处,其辐照强度与其他部位的辐照强度并不相同,所以,本申请的面状光源如上述的设置后,也消除了因光源单元拼接所引起曝光不均匀的问题。优选的,当所述面光源在所述移动轨迹上移动一个所述曝光行程时,待曝光区域始终处于有效曝光区域内,并且,所述有效曝光区域内的任意两点或任意两区域的光照能量积分相等。作为最优的方案,即是使有效曝光区域内的任意两点或任意两区域的光照能量积分相等,如此,即保证了各个点或区域被曝光的均匀性。优选的,所述光源单元为波长从200纳米到420纳米的紫外LED光源。优选的,所述光源单元的规格和型号相同,所述光学透镜的尺寸和材质相同。采用相同规格和型号的光源单元,以及采用相同尺寸和材质的,在同一曝光面内,能够保证各个光斑单元具有较好的一致性,进一步的方便光源单元之间相对位置的布置。优选的,相邻条状光源之间的距离相等。作为进一步的优选,所有光源单元为均布设置。优选的,所述光斑单元的形状为长方形、正方形、正六边形或与长方形相近似的类长方形形状、或与正方形相近似的类正方形形状、或与正六边形相近似的类正六边形形状。通过上述的结构可以方便光斑单元在曝光面上配合形成整体的面状光斑。作为一种优选,相邻条状光源的光源单元之间错开布置,使条状光斑的光斑单元配合部位与相邻条状光斑的光斑单元配合部位错开。本申请还公开了一种曝光部件,一种曝光部件,包括上述的面光源和驱动部件,所述驱动部件用于驱动所述面光源沿所述移动轨迹移动。本申请的曝光部件,由于采用了上述的面光源,保证了进行曝光工作时,待曝光区域中各个位置被曝光的均匀性,保证良好的曝光效果;而且,由于是采用上述的方式实现曝光的均匀性,所以,在另一方面也相对的减小了对光源单元以及光学透镜一致性的要求,进而也减小了生产难度和制造成本;再一方面,在实际中,对于单个光源形成的光本文档来自技高网...
一种条状光源、面状光源及采用该面状光源的曝光部件

【技术保护点】
一种条状光源,其特征在于:包括支撑架,所述支撑架上设置有若干光源单元和若干用于调整光源单元发出光线的光学透镜,每一个光源单元与一个光学透镜配合,所述光源单元发出的光线经光学透镜后,形成光斑单元,各个光源单元形成的光斑单元在曝光面内依次拼接或部分重叠或间隙配合的形成一条状光斑。

【技术特征摘要】
1.一种条状光源,其特征在于:包括支撑架,所述支撑架上设置有若干光源单元和若干用于调整光源单元发出光线的光学透镜,每一个光源单元与一个光学透镜配合,所述光源单元发出的光线经光学透镜后,形成光斑单元,各个光源单元形成的光斑单元在曝光面内依次拼接或部分重叠或间隙配合的形成一条状光斑。2.根据权利要求1所述的条状光源,其特征在于:相邻所述光源单元之间的距离相同,相邻所述光源单元光轴之间的距离为L,当各个光源单元形成的光斑单元之间为间隙配合时,相邻光斑单元之间的距离小于0.1L。3.根据权利要求1所述的条状光源,其特征在于:所述支撑架上还连接有用于压紧所述光学透镜的压紧件,所述光学透镜底部设置有翼缘,所述压紧件环绕于每一个光学透镜的外围,并压在所述翼缘上,将所述光学透镜固定在所述支撑架上。4.根据权利要求3所述的条状光源,其特征在于:相邻光学透镜之间对应的所述压紧件上都设置有用于紧固所述压紧件与支撑架相对位置的紧固件。5.根据权利要求4所述的条状光源,其特征在于:所述条状光源还包括有基板和冷却部件,所述光源单元设置在所述基板上,所述基板设置在所述冷却部件上。6.根据权利要求5所述的条状光源,其特征在于:所述支撑架与所述冷却部件连接,所述支撑架还包括有挤压部,所述挤压部环绕于所述光源单元外围,并将所述基板压紧在所述冷却部件上。7.根据权利要求1-5任意一项所述的条状光源,其特征在于:所述光源单元为波长从200纳米到420纳米的紫外LED光源。8.一种面光源,其特征在于:包括有安装板,所述安装板上设置有若干如权利要求1-7任意一项所述的条状光源,所述条状光源并排设置,使各个条状光源形成的条状光斑在一平面内依次拼接或部分重叠或间隙配合的形成...

【专利技术属性】
技术研发人员:霍永峰
申请(专利权)人:成都恒坤光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:四川,51

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