The present invention relates to the technical field of application of ultraviolet light, in particular relates to a light bar, surface light source and the surface source of exposure parts, light bar, which comprises a support frame, the support frame is provided with a plurality of light source is used to adjust the light source unit and some optical lens unit emits light, a light source unit with an optical lens, the light source unit emits light through optical lens and forms a beam unit, each unit spot light source unit formed in the exposure plane are orderly spliced or partially overlap or gap with the formation of a shaped beam. The light bar of the application, the spot light beam forming unit angle is smaller, the effective radiation intensity of spot is high, in need of large area spot, a plurality of the light bar splicing, assembling process is simple and convenient, and, in a light bar when the fault is easy to replace.
【技术实现步骤摘要】
一种条状光源、面状光源及采用该面状光源的曝光部件
本专利技术涉及紫外光应用
,具体涉及一种条状光源、面状光源及采用该面状光源的曝光部件。
技术介绍
在紫外光应用
中,光刻微细加工在各行业中应用越来越广泛,为了提高生产效率,人们希望曝光光源有高的有效辐照强度和良好的均匀性,以及有大的有效光斑面积。但是,对于曝光光源而言,增加有效光斑面积与增加有效辐照强度是相互矛盾的。为了实现有效辐照强度和有效光斑面积的同时提高,目前的方式是采用多个光源拼接成光源条,在曝光面上形成一条带状的照射光斑,曝光过程中,通过移动光源条,使带状的照射光斑扫过待曝光面,进而实现较大面积的曝光。在进一步的设计工作中,专利技术人发现,上述这种采用光源条进行扫描的方式还存在有不足,具体在于:由于光源呈条状布置,为了具有较宽的照射光斑,所以,光束角通常都较大,曝光面的有效辐照强度不高,而且整个曝光过程移动行程较大,部件移动部件结构复杂,还不便于光源移动的精确控制。
技术实现思路
本专利技术的目的在于:针对目前紫外曝光
中,存在的上述不足,提供一种光束角较小、有效辐照强度高的光源结构。为了实现上述目的,本专利技术采用的技术方案为:一种条状光源,包括支撑架,所述支撑架上设置有若干光源单元和若干用于调整光源单元发出光线的光学透镜,每一个光源单元与一个光学透镜配合,所述光源单元发出的光线经光学透镜后,形成光斑单元,各个光源单元形成的光斑单元在曝光面内依次拼接或部分重叠或间隙配合的形成一条状光斑。本申请的条状光源,通过在支撑架上设置若干光源单元,并且每个光源单元都与一个光学透镜相配合,使得光 ...
【技术保护点】
一种条状光源,其特征在于:包括支撑架,所述支撑架上设置有若干光源单元和若干用于调整光源单元发出光线的光学透镜,每一个光源单元与一个光学透镜配合,所述光源单元发出的光线经光学透镜后,形成光斑单元,各个光源单元形成的光斑单元在曝光面内依次拼接或部分重叠或间隙配合的形成一条状光斑。
【技术特征摘要】
1.一种条状光源,其特征在于:包括支撑架,所述支撑架上设置有若干光源单元和若干用于调整光源单元发出光线的光学透镜,每一个光源单元与一个光学透镜配合,所述光源单元发出的光线经光学透镜后,形成光斑单元,各个光源单元形成的光斑单元在曝光面内依次拼接或部分重叠或间隙配合的形成一条状光斑。2.根据权利要求1所述的条状光源,其特征在于:相邻所述光源单元之间的距离相同,相邻所述光源单元光轴之间的距离为L,当各个光源单元形成的光斑单元之间为间隙配合时,相邻光斑单元之间的距离小于0.1L。3.根据权利要求1所述的条状光源,其特征在于:所述支撑架上还连接有用于压紧所述光学透镜的压紧件,所述光学透镜底部设置有翼缘,所述压紧件环绕于每一个光学透镜的外围,并压在所述翼缘上,将所述光学透镜固定在所述支撑架上。4.根据权利要求3所述的条状光源,其特征在于:相邻光学透镜之间对应的所述压紧件上都设置有用于紧固所述压紧件与支撑架相对位置的紧固件。5.根据权利要求4所述的条状光源,其特征在于:所述条状光源还包括有基板和冷却部件,所述光源单元设置在所述基板上,所述基板设置在所述冷却部件上。6.根据权利要求5所述的条状光源,其特征在于:所述支撑架与所述冷却部件连接,所述支撑架还包括有挤压部,所述挤压部环绕于所述光源单元外围,并将所述基板压紧在所述冷却部件上。7.根据权利要求1-5任意一项所述的条状光源,其特征在于:所述光源单元为波长从200纳米到420纳米的紫外LED光源。8.一种面光源,其特征在于:包括有安装板,所述安装板上设置有若干如权利要求1-7任意一项所述的条状光源,所述条状光源并排设置,使各个条状光源形成的条状光斑在一平面内依次拼接或部分重叠或间隙配合的形成...
【专利技术属性】
技术研发人员:霍永峰,
申请(专利权)人:成都恒坤光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:四川,51
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