基于多场耦合的铁电材料减薄加工装置制造方法及图纸

一种基于多场耦合的铁电材料减薄加工装置，包括砂轮和基盘，所述砂轮与基盘之间为放置待加工铁电材料的加工工位，所述砂轮与基盘分别与带动其旋转的驱动机构连接，所述加工装置还包括反向电场装置、反向热场装置和化学场装置，所述反向电场装置形成的反向电场、所述反向热场装置形成的反向热场和所述化学场装置形成的化学场位于所述加工工位上。本实用新型专利技术提供一种提高加工效率的基于多场耦合的铁电材料减薄加工装置。

Reduction processing apparatus of ferroelectric material based on multi field coupling

A multi field coupling of ferroelectric material thinning processing device based on, including the grinding wheel and the base plate, the base plate between the grinding wheel and the processing station is placed to be processed ferroelectric materials, the grinding wheel and the base plate are respectively connected with a driving mechanism for driving the rotation, the processing device also comprises a reverse electric field device, reverse thermal field device and chemical field device, the reverse electric field device form chemical field reverse thermal field reverse electric field, the reverse thermal field device and the formation of the chemical field device formed in the processing station. The utility model provides a ferroelectric material thinning processing device based on multi field coupling to improve the processing efficiency.

【技术实现步骤摘要】
基于多场耦合的铁电材料减薄加工装置
本技术一般地涉及材料减薄加工，更具体地说但非限于，涉及铁电材料的表面加工方法。
技术介绍
铁电材料在航空、航天、民用光电产品等领域得到广泛应用，如表面波器件、窄带滤波器、传感器、光子可调谐滤波器、声光器件、光陀螺仪等，特别是在高频表面波器件，2.5G、3G标准下的声表面波器件还没有其他商品化材料可以代替铁电材料，是无线通讯中最重要的基础材料。铁电材料在加工过程中由于外部载荷和热场共同作用再加上自身具有的压电效应和热释电效应，会出现分子正负电中心彼此分离而产生极化现象，材料表面会产生很强的电场。由于铁电材料又具有压电逆效应，电场会产生内应力。当内部应力大于材料强度时，无须外部载荷，裂纹就会产生，导致铁电材料破损，降低铁电材料的加工成品率。目前的铁电材料表面加工技术，主要从材料机械特性角度来选择加工方法，铁电材料的极化特性及其逆效应没有引起足够重视，而极化现象产生的电场能量相当惊人，可以在不借助于任何外部载荷和热的条件下完成中子和氦离子的核聚变过程，无需外部载荷，电场对于加工的影响就足以导致铁电材料破损，因此，研究、开发一种基于多场耦合的铁电材料减薄加工装置尤为必要。
技术实现思路
为了克服现有的铁电材料减薄加工方法的加工效率低的问题，本技术提供一种基于多场耦合的高效铁电材料减薄加工装置。为了解决上述技术问题提供了如下技术方案：一种基于多场耦合的铁电材料减薄加工装置，包括砂轮和基盘，所述砂轮与基盘之间为放置待加工铁电材料的加工工位，所述砂轮与基盘分别与带动其旋转的驱动机构连接，所述加工装置还包括反向电场装置、反向热场装置和化学场装置，所述反向电场装置形成的反向电场、所述反向热场装置形成的反向热场和所述化学场装置形成的化学场位于所述加工工位上。进一步，所述铁电材料的形状为晶片状。再进一步，所述的砂轮端面非整体，阵列粘附设定厚度的砂轮牙块，牙块的几何形状为心形或矩形。所述铁电材料粘附在基盘上。所述基盘与真空吸盘连接。本技术的技术构思为：铁电材料的表面加工装置是能施加反向电场、反向热场和化学场等多场耦合的装置来抵消铁电材料加工时由于极化作用产生的正负电荷而引起的内电场，来降低内电场对铁电材料加工破损的风险，有助于提高加工效率。表面加工方法包含端面磨削，加工材料包含钽酸锂为代表的铁电材料，以及外加反向电场、反向热场和化学场。本技术的技术效果为：提高了铁电材料减薄加工效率。附图说明图1是按照本技术一个实施方案的加工示意图。图2是按照本技术所述的外加多场耦合作用原理示意图。图3是按照本技术一个实施方案的砂轮端面示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步说明。参照图1～图3，一种基于多场耦合的铁电材料减薄加工装置，包括砂轮和基盘，所述砂轮与基盘之间为放置待加工铁电材料的加工工位，所述砂轮与基盘分别与带动其旋转的驱动机构连接，所述加工装置还包括反向电场装置、反向热场装置和化学场装置，所述反向电场装置形成的反向电场、所述反向热场装置形成的反向热场和所述化学场装置形成的化学场位于所述加工工位上。进一步，所述铁电材料的形状为晶片状。再进一步，所述的砂轮端面非整体，阵列粘附设定厚度的砂轮牙块，牙块的几何形状为心形或矩形。所述铁电材料粘附在基盘上。所述基盘与真空吸盘连接。本实施例的减薄加工方法，包括以下步骤：(1)参照图1，立式端面磨削加工铁电材料，砂轮1以ns的转速，f的进给速度对钽酸锂晶片2进行加工，钽酸锂晶片2的转速是nw。(2)参照图,2，加工时施加反向电场5，反向热场6和化学场7等加工方法。(3)所述砂轮1，参照图3，端面非整体，阵列粘附金刚石磨粒的砂轮块6，砂轮块的几何形状包含心形。参照图2，所述钽酸锂晶片2，粘附于基盘3上，基盘3以真空吸盘4实现定位夹紧。(4)所述钽酸锂晶片2的粘附方式，是以被加热后呈熔融状态的石蜡涂于基盘3表面，钽酸锂晶片2排除气泡后均匀粘附在基盘3上，待石蜡凝固实现粘附。所述真空吸盘4材料包括多孔陶瓷。所述铁电材料为具有铁电相的功能材料，典型材料包含钽酸锂，铌酸锂，钛酸钡，磷酸二氢钾等。铁电材料的形状为晶片状。所述的砂轮端面非整体，阵列粘附一定厚度的砂轮牙块，牙块的几何形状包含心形和矩形等形状。铁电材料粘附在基盘上，所述基盘材料包含铝合金和玻璃基盘，基盘定位夹持方式包括以真空吸附于卡盘，所述的卡盘材料包括多孔陶瓷，所述粘附材料包含石蜡。参照图2，端面磨削的施加反向电场、反向热场和化学场来中和抵消铁电材料极化产生的内电场。在本公开内容中，给出许多具体细节，以便彻底理解本技术的实施方案。但是本领域的普通技术人员将认识到，本技术能在没有一项或多项具体细节的前提下实施。在其他情况下，为避免模糊本技术的要点，未给出或阐明周知的细节。而且，应理解，虽然本技术的实施方案始终以钽酸锂为例进行描述，但本技术不受此限制。本领域内的普通技术人员能根据本技术的指导来进行其他铁电材料的表面加工。以下列举具体实例以进一步阐述本技术，应理解，实例并非用于限制本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于多场耦合的铁电材料减薄加工装置，包括砂轮和基盘，所述砂轮与基盘之间为放置待加工铁电材料的加工工位，所述砂轮与基盘分别与带动其旋转的驱动机构连接，其特征在于：所述加工装置还包括反向电场装置、反向热场装置和化学场装置，所述反向电场装置形成的反向电场、所述反向热场装置形成的反向热场和所述化学场装置形成的化学场位于所述加工工位上。

【技术特征摘要】
1.一种基于多场耦合的铁电材料减薄加工装置，包括砂轮和基盘，所述砂轮与基盘之间为放置待加工铁电材料的加工工位，所述砂轮与基盘分别与带动其旋转的驱动机构连接，其特征在于：所述加工装置还包括反向电场装置、反向热场装置和化学场装置，所述反向电场装置形成的反向电场、所述反向热场装置形成的反向热场和所述化学场装置形成的化学场位于所述加工工位上。2.如权利要求1所述的基于多场耦合的铁电材料减薄加工装...

【专利技术属性】
技术研发人员：杭伟，周立波，袁巨龙，赵军，吕冰海，邓乾发，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：新型
国别省市：浙江,33