Pressure swing adsorption system of the present invention relates to a separation and recycling of chlorofluorocarbons, exhaust gas treatment technology belongs to the field of chemical environmental protection technology. The exhaust gas inlet, including chlorofluorocarbon gas supplement tank, pump, dry pretreatment device, adsorption tank group, vacuum pump, heat exchanger, a gas-liquid separator tank and chlorofluorocarbons. The present invention provides a system with four adsorption tank alternate adsorption and regeneration method, separation of chlorofluorocarbons in tail gas exhaust of CFCs, electronics and semiconductor industries for effective treatment, greatly reducing the content of chlorofluorocarbons purified gas, can be directly discharged into the atmosphere, to meet the requirements of environmental protection, will not cause environmental pollution. In the industry of great environmental significance.
【技术实现步骤摘要】
一种有效分离和回收氟氯烃的变压吸附系统
本专利技术涉及一种有效分离和回收氟氯烃的变压吸附系统,能够有效的从含有氟氯烃的尾气中分离和回收氟氯烃,大大减少向大气直接排放氟氯烃的数量,属于化工环保技术的尾气处理
技术介绍
氟氯烃是指含有氟,氯和碳组成的化合物,属于卤代烃。在一般生活中,最常见的氟氯烃是氟利昂,在大众没有意识到氟利昂的危害前,一直被广泛用作冰箱空调的冷冻剂。氟利昂化学性质稳定,可以在大气中存在数百年,在紫外线的作用下分解后会与臭氧反应,将臭氧转化为氧气,形成臭氧层空洞。没有了臭氧层的保护,地球表明会受到有害紫外线的照射,造成人类皮肤癌等疾病以及各种动植物的灭绝。此外,氟氯烃也是造成温室效应的主要因素之一。虽然世界各国已经签订和执行了一系列减少氟氯烃的政策,关闭了大量的氟氯烃生产厂。在化工生产,特别是半导体行业中,氟氯烃仍然存在于半导体生产过程的尾气中,急需有效的氟氯烃尾气处理技术。相比于一般的挥发性有机物尾气处理,氟氯烃尾气处理技术相对有限,因为氟氯烃直接燃烧很容易产生毒性很强的二恶英,损害人的免疫系统,严重的会导致癌症。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种有效分离和回收氟氯烃的变压吸附系统,具体用于处理电子和半导体行业产生的氟氯烃尾气,能大大减少尾气中的氟氯烃,避免氟氯烃排放到大气对臭氧层造成破坏。本专利技术的技术方案,一种有效分离和回收氟氯烃的变压吸附系统,包括氟氯烃尾气进气端、干性泵、气体补充罐、吸附罐组、真空泵、换热器、气液分离器和氟氯烃储罐;所述氟氯烃尾气进气端与干性泵入口端连接,干性泵出口端与吸附罐组连接,吸附罐组上端与气体 ...
【技术保护点】
一种有效分离和回收氟氯烃的变压吸附系统,其特征是:包括氟氯烃尾气进气端(1)、干性泵(2)、气体补充罐(3)、吸附罐组、真空泵(9)、换热器(10)、气液分离器(11)和氟氯烃储罐(12);所述氟氯烃尾气进气端(1)与干性泵(2)入口端连接,干性泵(2)出口端与吸附罐组连接,吸附罐组上端与气体补充罐(3)入口端连接,气体补充罐(3)出口端与干性泵(2)连接;吸附罐组下端与真空泵(9)入口端连接,真空泵(9)出口端与换热器(10)连接,换热器(10)与气液分离器(11)连接,气液分离器(11)气体出口端连接气体补充罐(3)进口端,液体出口端连接氟氯烃储罐(12)。
【技术特征摘要】
1.一种有效分离和回收氟氯烃的变压吸附系统,其特征是:包括氟氯烃尾气进气端(1)、干性泵(2)、气体补充罐(3)、吸附罐组、真空泵(9)、换热器(10)、气液分离器(11)和氟氯烃储罐(12);所述氟氯烃尾气进气端(1)与干性泵(2)入口端连接,干性泵(2)出口端与吸附罐组连接,吸附罐组上端与气体补充罐(3)入口端连接,气体补充罐(3)出口端与干性泵(2)连接;吸附罐组下端与真空泵(9)入口端连接,真空泵(9)出口端与换热器(10)连接,换热器(10)与气液分离器(11)连接,气液分离器(11)气体出口端连接气体补充罐(3)进口端,液体出口端连接氟氯烃储罐(12)。2.如权利要求1所述有效分离和回收氟氯烃的变压吸附系统,其特征是:还包括预处理装置(4);所述干性泵(2)出口端与预处理装置(4)进气端连接,预处理装置(4)出气端与吸附罐组连接。3.如权利要求1或2所述有效分离和回收氟氯烃的变压吸附系统,其特征是:所述吸附罐组包括第一吸附罐(5)、第二吸附罐(6)、...
【专利技术属性】
技术研发人员:董悦丹,董均明,
申请(专利权)人:东海岸环境科技无锡有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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