气体提纯装置制造方法及图纸

本发明专利技术的课题在于提供一种气体提纯装置，其中，针对氢提纯装置以及于再生时采用氢的不活泼气体提纯装置具有耐爆结构，该结构用于在万一产生因氢而造成的爆炸的场合，使控制设备等的外设设备的损伤为最小限。一种气体提纯装置，其由多个金属制的单元构成，控制设备和提纯容器接纳于各自的单元中，接纳有提纯容器的单元由三重结构的壁构成，该壁从内侧朝向外侧，由非通气性金属壁、通过多个板状件或线状件形成的通气性壁与外壁构成，设置压力调节机构，该压力调节机构包括设置于该非通气性金属壁上的空气或不活泼气体的导入口和排出口。

Gas purification unit

The subject of the invention is to provide a gas purification device, wherein, the inert gas hydrogen purification device and used in regenerative hydrogen purification device with anti explosion structure, this structure is used to generate hydrogen caused by the explosion in case of the occasion, the control equipment and other peripheral equipment damage to minimum. A gas purification device, which comprises a plurality of metal elements, control equipment and containers in their acceptance of purification unit, receiving purification container unit is composed of three heavy structure wall, the wall from the inner side toward the outside, composed of metal, non ventilation wall by a plurality of plate pieces or linear form ventilation wall and the outer wall, the pressure adjusting mechanism is provided, the pressure regulating mechanism comprises a set in the non aeration metal wall of the air or inert gas inlet and outlet.

【技术实现步骤摘要】
气体提纯装置
本专利技术涉及利用钯合金薄膜的氢气选择透过性的氢提纯装置、具有可通过氢而再生的催化剂或吸接材料的不活泼气体提纯装置等的气体提纯装置，更具体地说，本专利技术涉及具有用于防止或抑制因氢而造成的爆炸的损伤的耐爆结构的气体提纯装置。
技术介绍
在过去，在半导体制作工艺中，将高纯度的氢气和不活泼气体作为气氛气体而大量地使用。对于这些气体，伴随半导体的集成度的提高，要求杂质的粘度为极低的浓度。作为获得高纯度的氢气的方法，人们知道有下述的方法，其中，将包含杂质的原料氢供给到由钯合金的薄膜形成的氢分离膜，利用氢气的选择透过性，仅仅使氢透过，将其取出。这样的用于氢提纯的装置为下述的氢提纯装置，其中，比如像专利文献1～3所示的那样，在包含杂质的原料氢的导入口、纯氢的取出口以及在该导入口和该取出口之间的气体流路中设置钯合金的薄膜。另外，作为获得高纯度的不活泼气体的方法，比如，像专利文献4、5所示的那样，人们知道有下述的方法，其中，使包含杂质的不活泼气体与镍催化剂接触，捕获而去除作为杂质的氧，接着与合成沸石接触，去除作为杂质的水和二氧化碳。在这样的不活泼气体提纯方法中，对于镍催化剂和合成沸石，在去除一定量的杂质后，其去除能力消失，但是，通过在加热条件下，在填充了镍催化剂和合成沸石的吸接筒中，流通氢或氢与不活泼气体的混合气体，相对镍催化剂，氧作为水而脱离，水和二氧化碳相对合成沸石而脱离，可进行它们的再生。专利文献1：JP特开昭62—128903号公报专利文献2：JP特开平1—145302号公报专利文献3：JP特开平1—145303号公报专利文献4：JP特开平1—115806号公报专利文献5：JP特开平2—120212号公报专利文献6：JP特开平10—203803号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题针对前述那样的氢提纯装置、以及在再生时采用氢的不活泼气体提纯装置，采用高温(150～500℃)的氢，另外，在这些设备的周边，采用控制设备等的高价格的电子设备。此外，像在专利公报6中所记载的那样，在进行氢气的提纯等的装置中，比如在采用升压器的场合，必须要求防爆型的升压器。于是，本专利技术要解决的课题在于针对前述那样的提纯装置，提供具有耐爆结构的气体提纯装置，该耐爆结构用于在万一发生因氢气而造成的爆炸的场合，使控制设备等的外设设备的损伤为最小限。用于解决课题的技术方案作为为了解决上述的课题而深入研讨的结果，本专利技术人发现前述的那样的气体提纯装置由多个金属制的单元构成，控制设备和采用高温的氢的提纯容器接纳于各自的单元中，并且接纳有提纯容器的单元由三重结构构成，其从内侧朝向外侧，由非通气性金属壁、通过多个板状件或线状件形成的通气性壁与外壁构成，在该非通气性金属壁上设置压力调节机构，该压力调节机构包括空气或不活泼气体的导入口和排出口，此时，可使在万一发生因氢而造成的爆炸的场合，使控制器等的外设装置的损伤为最小限，由此，得出本专利技术的气体提纯装置。即，本专利技术涉及一种气体提纯装置，该气体提纯装置由多个金属制的单元构成，控制设备和提纯容器接纳于各自的单元中，其特征在于，接纳有提纯容器的单元由三重结构的壁构成，该壁从内侧朝向外侧，由非通气性金属壁、通过多个板状件或线状件形成的通气性壁与外壁构成，设置压力调节机构，该压力调节机构包括开设于该非通气性金属壁上的空气或不活泼气体的导入口和排出口。专利技术的效果在本专利技术的气体提纯装置中，控制设备和提纯容器接纳于各自的单元中，其特征在于，接纳有提纯容器的单元由三重结构的壁构成，该壁从内侧朝向外侧，由非通气性金属壁、通过多个板状件或线状件形成的通气性壁与外壁构成，设置压力调节机构，该压力调节机构包括开设于该非通气性金属壁上的空气或不活泼气体的导入口和排出口，由此，在万一发生因氢而造成的爆炸的场合，可在接纳有提纯容器的单元中，抑制提纯容器等的碎片的飞出和急剧的压力上升，可将控制设备等的外设设备的损伤抑制在最小限。附图说明图1为表示本专利技术的气体提纯装置的一个例子的水平方向的结构的俯视图；图2为表示本专利技术的图1以外的气体提纯装置的一个例子的水平方向的结构的俯视图；图3为表示用于本专利技术的提纯容器(钯合金膜单元)的一个例子的结构图；图4为表示图3的提纯容器的管板的位置的剖面的一个例子的结构图；图5为表示与用于本专利技术的提纯容器连接的配管的一个例子的结构图；图6为表示与用于本专利技术的提纯容器连接的图5以外的配管的一个例子的结构图；图7为表示通气性壁的一个例子的立体图；图8为表示非通气性金属壁和通气性壁一体地构成的结构物的一个例子的立体图；图9为表示非通气性金属壁和通气性壁一体地构成的结构物的水平剖面的一个例子的结构图；图10为表示非通气性金属壁和通气性壁一体地构成的结构物的图9以外的水平剖面的一个例子的结构图；图11为表示包括配管的通气性壁的正面的一个例子的结构图；图12为表示配管的设置状态的一个例子的剖面结构图；具体实施方式本专利技术用于具有下述提纯容器的精制装置，该提纯容器分别为：提纯氢用的提纯容器；填充有可通过氢而再生的催化剂或吸接材料且用于提纯不活泼气体的提纯容器。下面根据图1～图10，具体地对本专利技术的气体提纯装置进行说明，但是，本专利技术并不限于它们。另外，图1、图2为表示本专利技术的气体提纯装置的一个例子的水平方向的结构的俯视图，图3为表示用于本专利技术的提纯容器(钯合金膜机构)的一个例子的结构图，图4为表示图3的提纯容器的配管板的位置的剖面的一个例子的结构图，图5、图6为表示与用于本专利技术的提纯容器连接的配管的一个例子的结构图，图7为表示通气性壁的一个例子的立体图，图8为表示非通气性壁和通气性壁一体地构成的结构物的一个例子的立体图，图9、图10为非通气性金属壁和通气性壁一体地构成的结构物的水平剖面的一个例子的结构图，图11为表示包括配管的通气性壁的正面的一个例子的结构图，图12为表示配管的设置状态的一个例子的剖面结构图。本专利技术的气体提纯装置像图1、图2那样，为下述的气体提纯装置，在该气体提纯装置中，装置3’由多个金属制的单元3构成，控制设备1和提纯容器2(2’，2”)接纳于各自的单元中，并且接纳有提纯容器2的装置3’由三重结构的壁构成，该壁从内侧朝向外侧，由非通气性金属壁4、通过多个板状件或线状件构成的通气性壁5与外壁6构成，该气体提纯装置包括压力调节机构，该压力调节机构包括设置于非通气性金属壁上的空气或不活泼气体的导入口7与排出口8与压力调节装置9。本专利技术的气体提纯装置中的提纯容器2具体来说，为图1所示的那样的氢的提纯容器2’、与图2所示的那样的不活泼气体的提纯容器2”，该不活泼气体的提纯容器2”采用可通过包含氢的气体的流体而再生的催化剂或吸接材料。另外，作为氢的提纯容器2’，比如列举有具有下述的结构的提纯容器，在该结构中，像图3，图4所示的那样，一端封闭的多根钯合金细配管11通过另一端的开口部12被支承于配管13上，接纳于盒(cell)14的内部，通过该钯合金细配管和管板将盒内部分隔为一次侧空间14’(含杂质的原料氢的供给侧空间)和二次侧空间14”(纯氢的取出侧空间)，在盒14的外侧设置加热器18。除此以外，作为氢的提纯装置的一部分，可列举有填充有以镍和/或氧化镍为有效成分的催化剂的提纯容器，其与设置于其下游侧的填充吸气材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体提纯装置，该气体提纯装置由多个金属制的单元构成，控制设备和提纯容器接纳于各自的单元中，其特征在于，接纳有提纯容器的单元由三重结构的壁构成，该壁从内侧朝向外侧，由非通气性金属壁、通过多个板状件或线状件形成的通气性壁与外壁构成，设置压力调节机构，该压力调节机构包括设置于该非通气性金属壁上的空气或不活泼气体的导入口和排出口。

【技术特征摘要】
2015.09.09 JP 2015-1773591.一种气体提纯装置，该气体提纯装置由多个金属制的单元构成，控制设备和提纯容器接纳于各自的单元中，其特征在于，接纳有提纯容器的单元由三重结构的壁构成，该壁从内侧朝向外侧，由非通气性金属壁、通过多个板状件或线状件形成的通气性壁与外壁构成，设置压力调节机构，该压力调节机构包括设置于该非通气性金属壁上的空气或不活泼气体的导入口和排出口。2.根据权利要求1所述的气体提纯装置，其特征在于，提纯容器为用于提纯氢的提纯容器。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：及川祐司，秋山敏雄，秋山保男，
申请(专利权)人：日本派欧尼株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP