一种图形化蓝宝石衬底加工用的承载台装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
一种图形化蓝宝石衬底加工用的承载台装置
本技术涉及一种图形化蓝宝石衬底加工用的承载台装置。
技术介绍
蓝宝石晶体是目前半导体照明产业发展过程中使用最为广泛的衬底材料，蓝宝石具有高强度、高熔点、物理化学性能稳定等特性，在军事、航天航空、光学、生物、分析、半导体基片以及在高速信息处理、电子光子装置的微型化、智能化方面得到广泛的应用。蓝宝石衬底对于制作LED芯片来说，衬底材料的选用是首要考虑的问题。通常，GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点：首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗，因此大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。而现有的用于图形化蓝宝石衬底加工的承载台多是采用平面接触，且加工过程中产生的杂质易落于承载台上，影响图形化蓝宝石衬底加工，需时时清理，其加大了工作人员的劳动力，且大大的影响图形化蓝宝石衬底的加工效率。
技术实现思路
本技术的目的是克服上述缺陷，提供的一种图形化蓝宝石衬底加工用的承载台装置。为实现上述目的，本技术采用如下方式进行。一种图形化蓝宝石衬底加工用的承载台装置，包括承载台板，其特征在于所述的承载台板呈为圆形；所述的承载台板工作面上设有图形化蓝宝石衬底支撑密封圈；所述的承载台板工作面上还设有图形化蓝宝石衬底支撑块，支撑块位于支撑密封圈内，支撑块端面与支撑密封圈端面平齐；所述的承载台板上还设有真空吸孔与辅助吸孔，真空吸孔位于承载台板中心位置，辅助吸孔位于支撑块的间隙处。优选的，所述的承载台板设有若干个支撑块，支撑块均...
【技术保护点】
一种图形化蓝宝石衬底加工用的承载台装置，包括承载台板（1），其特征在于所述的承载台板（1）呈为圆形；所述的承载台板（1）工作面上设有图形化蓝宝石衬底支撑密封圈（2）；所述的承载台板（1）工作面上还设有图形化蓝宝石衬底支撑块（4），支撑块（4）位于支撑密封圈（2）内，支撑块（4）端面与支撑密封圈（2）端面平齐；所述的承载台板（1）上还设有真空吸孔（5）与辅助吸孔（3），真空吸孔（5）位于承载台板（1）中心位置，辅助吸孔（3）位于支撑块（4）的间隙处。
【技术特征摘要】
1.一种图形化蓝宝石衬底加工用的承载台装置，包括承载台板（1），其特征在于所述的承载台板（1）呈为圆形；所述的承载台板（1）工作面上设有图形化蓝宝石衬底支撑密封圈（2）；所述的承载台板（1）工作面上还设有图形化蓝宝石衬底支撑块（4），支撑块（4）位于支撑密封圈（2）内，支撑块（4）端面与支撑密封圈（2）端面平齐；所述的承载台板（1）上还设有真空吸孔（5）与辅助吸孔（3），真空吸...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯想，
申请(专利权)人：福建中晶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35
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