平台机构制造技术

一种平台机构，适用于承载一晶圆。平台机构包含一基座、一转盘、一载具、至少一夹具以及至少一解扣件。转盘可旋转地设置于基座上。载具可移除地设置于转盘上用以承载晶圆。至少一夹具枢设于转盘上用以夹持载具，以让载具固定于转盘。至少一解扣件可活动地设置于基座上。当至少一夹具随着转盘转动至一待解扣位置时，转盘上的至少一夹具的位置对应基座上的至少一解扣件，使得至少一解扣件可推抵至少一夹具，以令至少一夹具枢转而与载具相分离。

【技术实现步骤摘要】
平台机构
本技术涉及一种平台机构，特别涉及一种适用于移动晶圆的的平台机构。
技术介绍
自晶柱切割成薄片状晶圆(wafer)后，晶圆还需先经过晶圆处理工艺(WaferFabrication)，再经由针测工艺(WaferProbe)以找出晶圆上不合格的晶粒及依照针测结果对合格的晶粒电性分类。其中，在晶圆进行针测工艺前，处理好的晶圆会先放置于晶圆夹头(waferchuck)上等待检测，但每片晶圆放置时的角度都不相同，使得晶圆的识别条码(BarCode)摆放的位置也都不相同，为了将识别条码的位置调整成一致以供扫描装置扫描以管理晶圆，传统的作法是以人工的方式去旋转晶圆夹头，以各别的将晶圆上的识别条码调整到特定位子。但在传统的晶圆夹头中，夹持晶圆载具的夹持机构上配置有气管与电线以用来实现夹持机构夹持与放松晶圆载具的动作，反而使得晶圆夹头的旋转范围受限，让许多晶圆的识别条码被转至适当位置前，即受到气管或电线的牵制而无法再转动。因此，传统的设计并不利于晶圆的工艺与管理。并且，已无法再旋转至特定位置的晶圆则需要额外取下再重新装设，不仅增加人力成本，重新取放的过程还会提高损伤晶圆的风险。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种平台机构，藉以解决传统检测平台的晶圆转盘有旋转范围受局限的问题。为达述目的，本技术提供一种平台机构，适用于承载一晶圆，该平台机构包含：一基座；一转盘，能够旋转地设置于该基座上一载具，能够移除地设置于该转盘上，用以承载该晶圆；至少一夹具，枢设于该转盘上，用以夹持该载具，以让该载具固定于该转盘；至少一解扣件，能够活动地设置于该基座上，当该至少一夹具随着该转盘转动至一待解扣位置时，该转盘上的该至少一夹具的位置对应该基座上的该至少一解扣件，使得该至少一解扣件能够推抵该至少一夹具，以令该至少一夹具枢转而与该载具相分离。上述的平台机构，其中该至少一夹具具有一夹持部、一枢接部与一受压部，该枢接部枢接于该转盘且连接于该夹持部与该受压部之间，该夹持部用以夹持该载具，当该至少一解扣件推抵该至少一夹具而使该至少一夹具枢转时，该至少一解扣件推抵于该至少一夹具的该受压部，使得该受压部连带转动该夹持部以令该夹持部与该载具相分离。上述的平台机构，其中更包含至少一动力源，电性连接于该至少一解扣件，用以作动该至少一解扣件去推抵该至少一夹具的该受压部。上述的平台机构，其中该转盘至少360度旋转地设置于该基座上。上述的平台机构，其中该至少一夹具的数量为两个，且分别位于该转盘的相对两侧。上述的平台机构，其中该至少一解扣件的数量为两个，且分别位于该基座的相对两侧。上述的平台机构，其中更包含至少三定位滚轮，设置于该基座且围绕该转盘，以夹持该转盘。上述的平台机构，其中该转盘具有一环形轨道，该至少三定位滚轮能够滚动地位于该环形轨道。上述的平台机构，其中更包含至少三定位滚轮与一推抵模块，该至少三定位滚轮设置于该基座且绕该转盘，该推抵模块设置于该基座并对应于其中一该定位滚轮，且能够选择地将该定位滚轮推向该转盘，以令该至少三定位滚轮夹持该转盘。上述的平台机构，其中更包含一旋转驱动模块与一传动皮带，该旋转驱动模块设置于该基座，该传动皮带套设于该旋转驱动模块与该转盘上，以将该旋转驱动模块的旋转驱动力传导给该转盘而使得该转盘转动。本技术所揭露的平台机构，由于夹持晶圆载具的夹具是藉由基座上的解扣件以推抵接触的方式来解除夹持。因此，夹具随着转盘转动时不会受到气管或走线的影响，转盘可无限制地相对于基座进行转动，进而有利于将晶圆上的识别码一致性地转至所需的位置。以下结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述，但不作为对本技术的限定。附图说明图1为根据本技术的一实施例所绘示的平台机构的立体图；图2为图1的平台机构的分解图；图3为图1的平台机构的侧视图；图4为图1的基座与转盘的立体图；图5为图1的推抵模块与定位滚轮的立体图；图6A～6B为图1的推抵模块的作动示意图；图7A～7B为图1的扣具位于待解扣位置的作动示意图。其中，附图标记1平台机构8动力源10基座11通道20转盘21通道20a环形轨道30夹具40载具41通道50解扣件60定位滚轮70旋转驱动模块80传动皮带90推抵模块310夹持部330枢接部350受压部P间隙S检测通道具体实施方式以下在实施方式中详细叙述本新型的详细特征以及优点，其内容足以使任何熟习相关技艺者了解本技术的
技术实现思路
并据以实施，且根据本说明书所揭露的内容、权利要求范围及附图，任何熟习相关技艺者可轻易地理解本技术相关的目的及优点。以下的实施例进一步详细说明本技术的观点，但非以任何观点限制本技术的范畴。请参照图1～4，图1为根据本技术的一实施例所绘示的平台机构的立体图，图2为图1的平台机构的分解图，图3为图1的平台机构的侧视图，而图4为图1的基座与转盘的立体图。本技术提出一种平台机构1，可用于承载一待检测的晶圆(未绘示)，且可调整晶圆至一特定位置以配合后续检测流程的进行。其中，为求附图说明之便，图中均省略晶圆。进一步来看，平台机构1包含一基座10、一转盘20、二夹具30、一载具40及二解扣件50。其中，为求附图简洁的目的，图4中省略二解扣件50与部分基座10上的元件。基座10具有一通道11。平台机构1更包含三定位滚轮60，设置于基座10上，且围绕于通道11的周围。转盘20为一环形结构，具有一通道21与一环形轨道20a。环形轨道20a位于转盘20周缘。并同参阅图1～2可知，三定位滚轮60可滚动地位于环形轨道20a，使得转盘20可旋转地设置于基座10上。此外，平台机构1还包含一旋转驱动模块70与一传动皮带80。如图1与4所示，旋转驱动模块70设置于基座10，旋转驱动模块70可以但不限于是可提供旋转动能的马达。传动皮带80套设于旋转驱动模块70的一输出轴(未标号)与转盘20周缘，以将旋转驱动模块70的旋转驱动力传导给转盘20而可带动转盘20转动。复参图2与3，二夹具30枢设于转盘20的相对两侧。具体来说，每一夹具30具有一夹持部310、一枢接部330与一受压部350。枢接部330枢接于转盘20且连接于夹持部310与受压部350之间，且夹持部310位于枢接部330朝向转盘20内侧的一侧，受压部350位于枢接部330朝向转盘20外侧的一侧。常态下，夹持部310接受枢接部330的扭转力而持续地往转盘20的通道21的方向向下抵压。载具40也为一环形结构，具有一通道41。载具40可移除地设置于转盘20上，可用以承载晶圆。当载具40设置于转盘20上时，二夹具30的夹持部310可夹持载具40，以将载具40固定于转盘20上。二解扣件50，可活动地设置于基座10的相对两侧。具体来说，解扣件50各连接于一动力源8，使得解扣件50可相对基座10上下移动。由上述的设计可看到，基座10的通道11、转盘20的通道21及载具40分的通道41可共同围绕出一检测通道S(如图1)。因此，可理解的是，当晶圆放置于载具40上时，晶圆的上下两面可暴露于外以供不同的检测需求。特别重要的是，转盘20上的夹具30是靠解扣件50的作动抵压(请容后续详述)来解除夹持，因此夹具30没有配置走线，更不会受到走线与气管的牵制。故转盘20可至少360度旋本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平台机构，适用于承载一晶圆，其特征在于，该平台机构包含：一基座；一转盘，能够旋转地设置于该基座上一载具，能够移除地设置于该转盘上，用以承载该晶圆；至少一夹具，枢设于该转盘上，用以夹持该载具，以让该载具固定于该转盘；至少一解扣件，能够活动地设置于该基座上，当该至少一夹具随着该转盘转动至一待解扣位置时，该转盘上的该至少一夹具的位置对应该基座上的该至少一解扣件，使得该至少一解扣件能够推抵该至少一夹具，以令该至少一夹具枢转而与该载具相分离。

【技术特征摘要】
1.一种平台机构，适用于承载一晶圆，其特征在于，该平台机构包含：一基座；一转盘，能够旋转地设置于该基座上一载具，能够移除地设置于该转盘上，用以承载该晶圆；至少一夹具，枢设于该转盘上，用以夹持该载具，以让该载具固定于该转盘；至少一解扣件，能够活动地设置于该基座上，当该至少一夹具随着该转盘转动至一待解扣位置时，该转盘上的该至少一夹具的位置对应该基座上的该至少一解扣件，使得该至少一解扣件能够推抵该至少一夹具，以令该至少一夹具枢转而与该载具相分离。2.根据权利要求1所述的平台机构，其特征在于，该至少一夹具具有一夹持部、一枢接部与一受压部，该枢接部枢接于该转盘且连接于该夹持部与该受压部之间，该夹持部用以夹持该载具，当该至少一解扣件推抵该至少一夹具而使该至少一夹具枢转时，该至少一解扣件推抵于该至少一夹具的该受压部，使得该受压部连带转动该夹持部以令该夹持部与该载具相分离。3.根据权利要求2所述的平台机构，其特征在于，更包含至少一动力源，电性连接于该至少一解扣件，用以作动该至少一解扣件去推抵该至少一夹具的该受压部。4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：任亦凱，林唯修，王胜弘，林裕超，
申请(专利权)人：致茂电子苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32