The invention relates to a high-speed laser power measuring instrument. The high-speed laser power measuring instrument includes attenuation plate, photoelectric detector, high speed amplifying and filtering circuit, high-speed data acquisition unit and data analysis unit. The invention adopts a fast response detector and the subsequent signal processing and data acquisition methods, and combined with the specific data calibration software, power energy information can accurately obtain the laser with high frequency, short pulse.
【技术实现步骤摘要】
一种高速激光功率测量仪
本专利技术涉及激光功率检测技术,可以实现高重复频率,短脉冲激光功率的实时探测,具体而言涉及一种高速激光功率测量仪。
技术介绍
时至今日,激光技术的应用业已渗透到我们生活的方方面面。如以大功率激光器为背景发展而来的激光加工技术已经在工业制造中扮演着极为重要的角色。与此同时,以脉冲激光为基础的激光技术在科研领域的应用更是涉及到非常广泛领域,如材料领域中发光材料的光谱表征,分析领域中激光电离质谱技术等与现代分析手段的结合更是让激光器的特点大放异彩。如此重要而广泛的应用使得对于激光技术本身的一些参数,比如功率等的准确测量显现的极为重要。目前,可以用于激光功率测量的仪器,按照各自测量原理的不同,可以分为两类,即热敏型功率探头和光电型功率探头。其中,热敏型功率探头可以镀膜,使其在非常宽的波长范围内均可以有相对平稳的光谱相应,适合于测量宽带的激光功率。但是,该种测量手段无法实时的表征诸如脉冲激光的不同脉冲之间的能量的抖动的问题。另外一种则是光电型功率测量仪,它的特征便是利用光电二极管作为激光能量传感器,具有响应速度快、分辨率高等优点,但是这种光电型功率测量仪对波长有非常敏感的响应效应,常常被用来设计成为单色光源或者近单色光源的功率测量。如上所述,上述两种激光功率测量仪可以说在它们各自测量过程中的响应时间、适用的波长测量范围以及适用的测量能量范围及相应的分辨率等方面的比较来看,均有各自的优缺点,针对不同的激光器需要视具体情况来进行选择。
技术实现思路
本专利技术是鉴于以上的事实而做出的,其目的在于提供一种高速激光测量仪。一种高速激光功率测量仪,包括衰减 ...
【技术保护点】
一种高速激光功率测量仪,其特征在于:包括衰减片、光电探测器,高速放大滤波电路,高速数据采集单元和数据分析单元;待测激光经衰减片(1)后进入光电探测器(2),由光电探测器(2)进行信号的光电转换后输出电信号,电信号经滤波放大电路(3)后进入数据采集单元(4)进行数据采集,采集的数据再经数据分析单元(5)对采集的数据进行转换分析,得到最终的激光功率参数。
【技术特征摘要】
1.一种高速激光功率测量仪,其特征在于:包括衰减片、光电探测器,高速放大滤波电路,高速数据采集单元和数据分析单元;待测激光经衰减片(1)后进入光电探测器(2),由光电探测器(2)进行信号的光电转换后输出电信号,电信号经滤波放大电路(3)后进入数据采集单元(4)进行数据采集,采集的数据再经数据分析单元(5)对采集的数据进行转换分析,得到最终的激光功率参数。2.根据权利要求1所述的高速激光功率测量仪,其特征在于:(a)衰减片(1)用于对入射激光进行衰减;(b)光电探测器(2)实现对弱光信号的光电转换;(c)滤波放大电路(3)用于对上级光电探测器产生的电信号进行滤波并且进行放大;(d)数据采集单元(4)对高速滤波放大电路(3)处理后的电信号进行数据采集;(e)数据分析单元(5)对采集的数据进行转换分析,得到最终的激光功率参数。3.根据权利要求1或2所述的高速激光功率测量仪,其特征在于:衰减片(1)为针对波长范围210nm至2100nm的激光的不同波长衰减效率已知的衰减片,衰减系数为0.5至10-7。4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘本康,
申请(专利权)人:中国科学院大连化学物理研究所,
类型:发明
国别省市:辽宁,21
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