一种实现同步对向运动的机械装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种实现同步对向运动的机械装置，包括底座、设置在所述底座上的同步对向运动输出机构，第一光学元件和第二光学元件上下设置，所述底座环绕所述第一光学元件和所述第二光学元件设置，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述同步对向运动输出机构，所述同步对向运动输出机构包括相互连接的电机和左右旋丝杠组件，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述左右旋丝杠组件。本实用新型专利技术采用一套同步对向运动输出机构实现两片光学元件的同步对向运动，运动同步性好，且结构和控制简单，对零件的加工精度和装配精度要求较低，成本低。

Mechanical device for realizing synchronous opposite movement

The utility model discloses a mechanical device to realize synchronization of motion, which comprises a base, provided at the base of the synchronous motion output mechanism, a first optical element and the second optical element positioned on the base, surrounded by the first optical element and the second optical element of the first set. The optical element and the second optical element are respectively connected with the synchronization of the motion output mechanism, the synchronization of the motion output mechanism comprises a motor and a rotary screw around components connected to each other, the first optical element and the second optical element are respectively connected with the left and right rotation screw assembly. The utility model adopts a set of synchronization to realize motion output mechanism of two pieces of optical element to the synchronization of the motion, motion synchronization, and simple structure and control, the machining precision and assembly precision low, low cost.

【技术实现步骤摘要】
一种实现同步对向运动的机械装置
本技术涉及一种实现同步对向运动的机械装置。
技术介绍
随着对光刻机前道照明系统的积分均匀性要求越来越高，而且当照明模式、相干因子等改变时，前道照明系统的积分均匀性会发生一定的变化，为了保证所有照明模式的积分均匀性都满足前道照明系统需要，要增加积分均匀性补偿系统来补偿积分均匀性。在常见的积分均匀性补偿系统中，采用两片透过率不同的光学元件的同步对向运动来补偿积分均匀性的积分均匀性补偿系统较为常见。因此，上述积分均匀性补偿系统中的两片光学元件对向运动的运动精度、运动分辨率、运动可靠性及同步性误差均影响着积分均匀性的补偿效果。请参见图1，目前普遍使用的一种同步对向运动机构，包括两套导向杆驱动机构1，依靠两套所述导向杆驱动机构1实现两个光学元件2的对向运动，一套所述导向杆驱动机构1控制一片光学元件2，通过分别控制两套所述导向杆驱动机构1来实现两片光学元件2的同步运动，所述同步对向运动机构的结构和控制方法均较为复杂，生产及使用的成本高，且由于采用两套导向杆驱动机构1，输出的对向运动的同步性误差较大，为了保证所述同步对向运动机构的运动精度和输出的对向运动的同步性，所述同步对向运动机构中各零件的加工精度及各组件的装配精度要求都较高，进一步增加了生产成本。因此，如何提供一种能够改善传统同步对向运动机构生产成本高且输出的同步对向运动同步性误差大的可实现同步对向运动的机械装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本技术提供了一种可实现同步对向运动的机械装置，用以解决传统的同步对向运动机构生产成本高、运动精度低，且输出的同步对向运动同步性误差大的问题。为了解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种实现同步对向运动的机械装置，包括底座、设置在所述底座上的同步对向运动输出机构，第一光学元件和第二光学元件上下设置，所述底座环绕所述第一光学元件和所述第二光学元件设置，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述同步对向运动输出机构，所述同步对向运动输出机构包括相互连接的电机和左右旋丝杠组件，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述左右旋丝杠组件。作为优选，所述第一光学元件设置在第一固定板上，通过第一固定板连接所述同步对向运动输出机构。作为优选，所述第二光学元件设置在第二固定板上，通过第二固定板连接所述同步对向运动输出机构。作为优选，所述左右旋丝杠通过设置在所述底座上的联轴器连接所述电机。作为优选，所述左右旋丝杠包括丝杆以及设置在所述丝杆上的左旋螺母和右旋螺母，所述丝杠上设有左旋螺纹和右旋螺纹，所述第一光学元件连接所述左旋螺母，所述左旋螺母与所述左旋螺纹匹配连接，所述第二光学元件连接所述右旋螺母，所述右旋螺母与所述右旋螺纹匹配连接。作为优选，所述第一光学元件与所述左旋螺母之间通过左连接机构连接，所述左连接机构包括左连接导轨和左连接支架，所述左连接导轨平行所述丝杆设置在所述底座上，所述左连接支架设置在所述左连接导轨的滑块上，且所述左连接支架一端连接所述左旋螺母，另一端连接所述第一光学元件；所述第二光学元件与所述右旋螺母之间通过右连接机构连接，所述右连接机构包括右连接导轨和右连接支架，所述右连接导轨平行所述丝杆设置在所述底座上，所述右连接支架设置在所述右连接导轨的滑块上，且所述右连接支架一端连接所述右旋螺母，另一端连接所述第二光学元件。作为优选，所述实现同步对向运动的机械装置还包括多个第一支撑机构和多个第二支撑机构，所述多个第一支撑机构设置在所述底座上并连接所述第一光学元件，所述多个第二支撑机构设置在所述底座上并连接所述第二光学元件。作为优选，所述第一支撑机构包括第一支撑导轨和第一支撑支架，所述第一支撑导轨平行所述左右旋丝杠组件设置，所述第一支撑支架设置在所述第一支撑导轨的滑块上并连接所述第一光学元件；所述第二支撑机构包括第二支撑导轨和第二支撑支架，所述第二支撑导轨平行所述左右旋丝杠组件设置，所述第二支撑支架设置在所述第二支撑导轨的滑块上并连接所述第二光学元件。作为优选，所述第一光学元件与所述左旋螺母之间通过左连接支架连接，所述左连接支架连接多个所述第一支撑支架中与其位置相对应的第一支撑支架；所述第二光学元件与所述右旋螺母之间通过右连接支架连接，所述右连接支架连接多个所述第二支撑支架中与其位置相对应的第二支撑支架。作为优选，所述多个第一支撑机构的数量优选四个，均匀分布在所述第一光学元件两侧；所述多个第二支撑机构的数量优选四个，均匀分布在所述第二光学元件两侧。作为优选，所述同步对向运动输出机构还包括第一丝杠支撑座和第二丝杠支撑座，所述第一丝杠支撑座和第二丝杠支撑座固定在所述底座上，所述丝杠一端连接所述第一丝杠支撑座，另一端穿过所述第二丝杠支撑座后与所述电机连接。与现有技术相比，本技术具有以下优点：本技术采用一套同步对向运动输出机构实现两片光学元件的同步对向运动，运动同步性好，且结构和控制简单，对零件的加工精度和装配精度要求较低，成本低。附图说明图1是现有技术中一同步对向运动机构的结构示意图；图2是本技术一具体实施例的实现同步对向运动的机械装置的结构示意图；图3是本技术一具体实施例的左右旋丝杠的结构示意图；图4是本技术一具体实施例的左右旋丝杠和第一光学元件及第二光学元件之间的装配示意图。图1中所示：1-导向杆驱动机构、2-光学元件；图2～4中所示：10-底座、21-电机、22-左右旋丝杠组件、221-丝杆、222-左旋螺母、223-右旋螺母、23-联轴器、241-第一丝杠支撑座、242-第二丝杠支撑座、31-第一光学元件、311-第一固定板、411-左连接导轨、412-左连接支架、421-右连接导轨、422-右连接支架、431-第一支撑导轨、432-第一支撑支架、441-第二支撑导轨。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本技术附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参见图2和图4，一种实现同步对向运动的机械装置，包括底座10、设置在所述底座10上的同步对向运动输出机构，第一光学元件31和第二光学元件(图中未示出)上下设置，所述底座10环绕所述第一光学元件31和所述第二光学元件设置，所述第一光学元件31和所述第二光学元件分别连接所述同步对向运动输出机构。所述第一光学元件31设置在第一固定板311上，通过所述第一固定板311连接所述同步对向运动输出机构；所述第二光学元件设置在第二固定板(图中未示出)上，通过所述第二固定板连接所述同步对向运动输出机构。所述同步对向运动输出机构包括相互连接的电机21和左右旋丝杠组件22，所述左右旋丝杠组件22通过联轴器23连接所述电机21，所述第一光学元件31和所述第二光学元件分别连接所述左右旋丝杠组件22。请参见图3，所述左右旋丝杠组件22包括丝杆221以及设置在所述丝杆221上的左旋螺母222和右旋螺母223，所述丝杆221上设有左旋螺纹和右旋螺纹，所述第一光学元件31连接所述左旋螺母222，所述左旋螺母222与所述左旋螺纹匹配连接，所述第二光学元件连接所述右旋本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种实现同步对向运动的机械装置，其特征在于，包括底座、设置在所述底座上的同步对向运动输出机构，第一光学元件和第二光学元件上下设置，所述底座环绕所述第一光学元件和所述第二光学元件设置，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述同步对向运动输出机构，所述同步对向运动输出机构包括相互连接的电机和左右旋丝杠组件，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述左右旋丝杠组件。

【技术特征摘要】
1.一种实现同步对向运动的机械装置，其特征在于，包括底座、设置在所述底座上的同步对向运动输出机构，第一光学元件和第二光学元件上下设置，所述底座环绕所述第一光学元件和所述第二光学元件设置，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述同步对向运动输出机构，所述同步对向运动输出机构包括相互连接的电机和左右旋丝杠组件，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述左右旋丝杠组件。2.根据权利要求1所述的实现同步对向运动的机械装置，其特征在于，所述第一光学元件设置在第一固定板上，通过第一固定板连接所述同步对向运动输出机构。3.根据权利要求1所述的实现同步对向运动的机械装置，其特征在于，所述第二光学元件设置在第二固定板上，通过第二固定板连接所述同步对向运动输出机构。4.根据权利要求1所述的实现同步对向运动的机械装置，其特征在于，所述左右旋丝杠组件通过联轴器连接所述电机。5.根据权利要求1所述的实现同步对向运动的机械装置，其特征在于，所述左右旋丝杠组件包括丝杆以及设置在所述丝杆上的左旋螺母和右旋螺母，所述丝杠上设有左旋螺纹和右旋螺纹，所述第一光学元件连接所述左旋螺母，所述左旋螺母与所述左旋螺纹匹配连接，所述第二光学元件连接所述右旋螺母，所述右旋螺母与所述右旋螺纹匹配连接。6.根据权利要求5所述的实现同步对向运动的机械装置，其特征在于，所述第一光学元件与所述左旋螺母之间通过左连接机构连接，所述左连接机构包括左连接导轨和左连接支架，所述左连接导轨平行所述丝杆设置在所述底座上，所述左连接支架设置在所述左连接导轨的滑块上，且所述左连接支架一端连接所述左旋螺母，另一端连接所述第一光学元件；所述第二光学元件与所述右旋螺母之间通过右连接机构连接，所述右连接机构包括右连接导轨和右连接支架，所述右连接导轨平行所述丝杆设置在所述底座上，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李静，赵峰，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31