搬运装置、底座及其制造方法制造方法及图纸

搬运装置具备第1底座(140)、第2底座(170)、第1驱动部(130)和第2驱动部(160)。第1底座(140)包括：板状的主部(141)；及覆盖主部(141)的至少外周部的下表面、由与构成主部(141)的材料不同的材料构成且电具有绝缘性的被覆部(142)。第2底座(170包)括由与构成被覆部(142)的材料不同的材料构成且具有电绝缘性的外周部。第2底座(170)的外周部的上表面与第1底座(140)的被覆部(142)滑动连接。第1底座(140)依次搬运来的多个工件被载置于第2底座(170)的外周部的上表面。

Conveying device, base and manufacturing method thereof

The conveying device comprises a first base (140), a second base (170), a first driving part (130) and a second driving part (160). The first base (140) comprises a plate shaped main portion (141); and a lower surface of at least an outer peripheral portion covering the main portion (141); a coating portion (142) consisting of material different from the material constituting the main portion (141) and electrically insulating. The second base (170 pack) comprises an outer part which is electrically insulated from the material which is different from the material forming the covering part (142). The upper surface of the outer periphery of the second base (170) is slidably connected with the covering portion (142) of the first base (140). The first base (140), in turn, carries a plurality of workpieces that are loaded on the upper surface of the outer periphery of the second base (170).

【技术实现步骤摘要】
搬运装置、底座及其制造方法
本专利技术涉及搬运装置、底座及其制造方法。
技术介绍
作为公开了搬运多个工件的搬运装置的构成的在先文献，有JP特开2008-105811号公报、及JP特开2008-260594号公报。JP特开2008-105811号公报所记载的搬运装置中，搬运用的底座与检查用的底座局部性地重叠。在检查用的底座，为了防止工件因离心力而飞起，形成有吸引固定工件的多个吸引孔。JP特开2008-260594号公报所记载的搬运装置中，通过利用带电器使底座带与工件相反的极性的电，从而在使工件静电吸附到底座上的状态下搬运工件。在搬运装置设置了吸引机构或带电器等的情况下，搬运装置大型化。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于，提供一种可以抑制搬运中的工件的位置偏离并稳定搬运工件，同时可以使搬运装置小型化的搬运装置、底座及其制造方法。基于本专利技术的第1方面的搬运装置具备使多个工件排列并依次进行搬运的第1底座、依次搬运从第1底座供给的多个工件的第2底座、使第1底座旋转的第1驱动部、和使第2底座旋转的第2驱动部。第1底座包括：板状的主部；及被覆部，其覆盖主部的至少外周部的下表面，由与构成主部的材料不同的材料构成且具有电绝缘性。第2底座包括由与构成被覆部的材料不同的材料构成且具有电绝缘性的外周部。第2底座的外周部的上表面与第1底座的被覆部滑动连接。第1底座依次搬运来的多个工件被载置于第2底座的外周部的上表面。本专利技术的一形态中，主部由导电性材料构成。本专利技术的一形态中，第1底座及第2底座的每一个都具有圆盘状的外形。第2底座的外周长度长于第1底座的外周长度。第2底座对多个工件的搬运速度大于第1底座对多个工件的搬运速度。本专利技术的一形态中，在第1底座的上方设置有使多个工件进行排列的导向件。导向件包括在相对于第1底座的圆周方向交叉的方向上延伸存在的部分，以使得位于第1底座上的多个工件伴随着第1底座的旋转而向第1底座的直径方向的外侧移动。本专利技术的一形态中，第2底座的外周部由玻璃构成。被覆部由树脂构成。本专利技术的一形态中，主部的外周部的厚度为10μm以上且200μm以下。本专利技术的一形态中，主部的外周部比被覆部厚。主部的外周部的刚性比被覆部的刚性高。本专利技术的一形态中，主部由金属构成。本专利技术的一形态中，主部由包括镍及钴的合金构成。本专利技术的一形态中，主部包括外周部、及由外周部将周边围起来的中央部。中央部比外周部厚。基于本专利技术的第2方面的底座，通过旋转而使多个工件进行排列并依次搬运这些工件，将多个工件载置于滑动连接的其他底座的滑动连接部。底座具备：板状的主部；和被覆部，其覆盖主部的至少外周部的下表面，由与构成主部的材料不同的材料构成且具有电绝缘性，该被覆部与滑动连接部滑动连接。基于本专利技术的第3方面的底座的制造方法是上述底座的制造方法。底座的制造方法包括：将框状的第1掩模配置于基板的主面的工序；在基板的主面上的第1掩模内的区域形成第1镀覆膜的工序；形成覆盖第1镀覆膜的至少外周部的上表面的被覆部的工序；和将已形成被覆部的第1镀覆膜自基板剥离的工序。本专利技术的一形态中，在形成第1镀覆膜的工序与形成被覆部的工序之间，具备：在第1镀覆膜的外周部的上表面配置框状的第2掩模的工序；和在第1镀覆膜上的第2掩模内的区域形成第2镀覆膜的工序。根据本专利技术，可以抑制搬运中的工件的位置偏离、同时稳定地搬运工件，并且可以使搬运装置小型化。根据能与附图关联地理解的本专利技术涉及的下述详细的说明，会更加清楚本专利技术的上述及其他目的、特征、方面及优点。附图说明图1是表示应用了本专利技术实施方式1涉及的搬运装置的检查装置的构成的俯视图。图2是从图1的检查装置的II-II线箭头方向看到的剖视图。图3是将以图2中的虚线包围的III部放大来表示的剖视图。图4是表示将第1掩模配置在基板的主面后形成了第1镀覆膜的状态的剖视图。图5是表示形成了被覆部以使得覆盖第1镀覆膜的上表面的状态的剖视图。图6是表示将第1镀覆膜从基板剥离开的状态的剖视图。图7是将本专利技术实施方式2涉及的搬运装置中的第1底座与第2底座的滑动连接部位放大来表示的剖视图。图8是将本专利技术实施方式3涉及的搬运装置中的第1底座的周围放大来表示的剖视图。图9是表示在基板的主面配置了第1掩模后形成第1镀覆膜、进而在第1镀覆膜的外周部的上表面配置了第2掩模后形成了第2镀覆膜的状态的剖视图。图10是表示形成了被覆部以使得覆盖第1镀覆膜的外周部的上表面的状态的剖视图。图11是表示将第1镀覆膜从基板剥离开的状态的剖视图。图12是表示本专利技术实施方式4涉及的搬运装置中的第2底座的外观的俯视图。图13是从图12的第2底座的XIII-XIII线箭头方向看到的剖视图。具体实施方式以下参照附图来说明本专利技术的各实施方式涉及的搬运装置、底座及其制造方法。以下的实施方式的说明中，对图中相同或相应部分赋予相同符号，并不再重复其说明。其中，在实施方式的说明中虽然对具备搬运装置的检查装置进行说明，但可应用搬运装置的装置未被限于检查装置，也可以是制造装置等。再有，作为被搬运的工件，虽然以大致长方体状的电子部件为一例而进行说明，但工件未被限于电子部件，工件的外形也未被限于长方体状。作为电子部件，有电容器、电感器或电阻等。容易产生断裂或缺口的陶瓷电子部件作为工件来说是优选的。从长度为0.2mm、宽度为0.1mm的小型的电子部件到长度为12mm、宽度为10mm的大型的电子部件，都能够作为工件来应用。(实施方式1)图1是表示应用了本专利技术实施方式1涉及的搬运装置的检查装置的构成的俯视图。图2是从图1的检查装置的II-II线箭头方向看到的剖视图。图3是将以图2中的虚线包围的III部放大来表示的剖视图。图1中，未图示后述的供给部110。如图1～3所示，应用了本专利技术实施方式1涉及的搬运装置的检查装置100具备供给部110、排列部120、搬运部150和排出部180。检查装置100中，通过排列部120来对从供给部110供给的多个工件1进行排列，同时向搬运部150搬运。搬运部150中，搬运多个工件1的每一个的同时进行检查，由排出部180甄选检查后的多个工件1。本专利技术实施方式1涉及的搬运装置具备排列部120与搬运部150。供给部110包括供给路径111、底卸式贮料器112和滑道113。检查对象的工件1被暂时性地贮存于底卸式贮料器112内，适量的工件1依次通过供给路径111及滑道113而被投入至排列部120所包含的本专利技术实施方式1涉及的第1底座140上。排列部120包括第1驱动部130、旋转板133、固定工具135、支撑台136、第1底座140和多个导向件。其中，排列部120的构成未被限于上述构成，只要至少包括第1驱动部130与第1底座140即可。第1底座140通过进行旋转而使多个工件1排列后依次进行搬运。第1底座140包括：板状的主部141；及覆盖主部141的至少外周部的下表面、由与构成主部141的材料不同的材料构成且具有电绝缘性的被覆部142。第1底座140具有圆盘状的外形。其中，第1底座140的外形未被限于圆盘状，在俯视下也可以是多边形状。第1底座140的直径例如为50mm以上、500mm以下。第1底座140的中心部设置有贯通孔。本实施方式中，在主部141的整个下表面设置有被覆部142。主部14本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种搬运装置，具备：使多个工件排列并依次进行搬运的第1底座；依次搬运从所述第1底座供给的所述多个工件的第2底座；使所述第1底座旋转的第1驱动部；和使所述第2底座旋转的第2驱动部，所述第1底座包括：板状的主部；及覆盖该主部的至少外周部的下表面并由与构成所述主部的材料不同的材料构成且具有电绝缘性的被覆部，所述第2底座包括由与构成所述被覆部的材料不同的材料构成且具有电绝缘性的外周部，所述第2底座的所述外周部的上表面与所述第1底座的所述被覆部滑动连接，所述第1底座依次搬运来的所述多个工件被载置于所述第2底座的所述外周部的所述上表面。

【技术特征摘要】
2015.12.21 JP 2015-2484341.一种搬运装置，具备：使多个工件排列并依次进行搬运的第1底座；依次搬运从所述第1底座供给的所述多个工件的第2底座；使所述第1底座旋转的第1驱动部；和使所述第2底座旋转的第2驱动部，所述第1底座包括：板状的主部；及覆盖该主部的至少外周部的下表面并由与构成所述主部的材料不同的材料构成且具有电绝缘性的被覆部，所述第2底座包括由与构成所述被覆部的材料不同的材料构成且具有电绝缘性的外周部，所述第2底座的所述外周部的上表面与所述第1底座的所述被覆部滑动连接，所述第1底座依次搬运来的所述多个工件被载置于所述第2底座的所述外周部的所述上表面。2.根据权利要求1所述的搬运装置，其中，所述主部由导电性材料构成。3.根据权利要求1或2所述的搬运装置，其中，所述第1底座及所述第2底座的每一个都具有圆盘状的外形，所述第2底座的外周长度长于所述第1底座的外周长度，所述第2底座对所述多个工件的搬运速度大于所述第1底座对所述多个工件的搬运速度。4.根据权利要求1～3中任一项所述的搬运装置，其中，在所述第1底座的上方设置了使所述多个工件进行排列的导向件，所述导向件包括在相对于所述第1底座的圆周方向交叉的方向上延伸存在的部分，以使得位于所述第1底座上的所述多个工件伴随着所述第1底座的旋转而向所述第1底座的直径方向的外侧移动。5.根据权利要求1～4中任一项所述的搬运装置，其中，所述第2底座的所述外周部由玻璃构成，所述被覆部由树脂构成。6.根据权利要求1～5中任一项所述的搬运装置，其中，所述主部的所述外周部的厚度为10μm以上且200μm以下。7.根据权利要求6所述的搬运装置，其中，所述主部的所述外周部比所述被覆部厚，所述主部的所述外周部的刚性比所述被覆部的刚性高。8.根据权利要求1～7中任一项所述的搬运装置，其中，所述主部由金属构成。9.根据权利要求8所述的搬运装置，其中，所述主部由包括镍及钴的合金构成。1...

【专利技术属性】
技术研发人员：笹冈嘉一，田中淳也，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP