The utility model discloses a vacuum chamber for laser processing, including bin, an upper cover, a glass plate and a rubber sealing ring, the middle part of the upper cover comprises a window; the silo body includes working cavity, cavity opening at the top of the bin body, upper cover through screws fixed on the top surface of the bin body; silo top includes a ring groove, the glass plate is embedded in the groove; the bottom of the working chamber comprises a workpiece support table, the bottom surface of the groove and the workpiece supporting parallel; on the underside of the cover glass sealing ring groove and the silo body sealing ring groove, the sealing rubber ring comprises a glass seal and cylinder sealing ring sealing ring embedded in glass; the glass sealing ring groove, the pressure on the top surface of glass plate, the silo body sealing ring is embedded into the silo body sealing ring groove, the pressure on the top surface of the bin. The installation accuracy of the glass plate of the utility model depends on the machining accuracy of the bin body, and is not affected by the deformation of the sealing ring. The installation accuracy of the glass plate is high, and the laser processing quality is good.
【技术实现步骤摘要】
一种激光加工用的真空仓[
]本技术涉及激光加工,尤其涉及一种激光加工用的真空仓。[
技术介绍
]随着科学技术的飞速发展,各行各业中对于产品质量的要求越来越高。特别是微电子产品的真空密封激光焊接,因为产品本身的尺寸比较小,因而要求激光的性能及相配套真空仓的装配精度都要达到相应的精度要求。因为激光焊接时激光装置布置在真空仓的外面,所以要求真空仓必须留一个玻璃窗口,让激光穿透玻璃窗口对微电子产品进行真空密封焊接。由于玻璃板对光是有折射的,所以玻璃板的安装必须平行于产品的加工台面。目前市场上的玻璃板的安装方法是在玻璃板底下放置密封条或都是密封O型圈,通过压住玻璃板使玻璃板与密封材料贴合以达到密封的效果。由于密封材料是柔性材料,所以玻璃板的安装精度(与工件加工面的平行度)得不到保证。[
技术实现思路
]本技术要解决的技术问题是提供一种玻璃板的安装精度高、激光加工质量好的激光加工用的真空仓。为了解决上述技术问题,本技术采用的技术方案是,一种激光加工用的真空仓,包括仓体、上盖、玻璃板和密封胶圈,上盖中部包括窗口;仓体包括工作腔,工作腔在仓体的顶部开口,上盖通过螺钉固定在仓体的顶面;仓体的顶面包括一圈凹槽,玻璃板嵌入到凹槽中;工作腔的底部包括工件支承台,凹槽的底面与工件支承台平行;上盖底面包括玻璃密封环槽和仓体密封环槽,密封胶圈包括玻璃密封胶圈和仓体密封胶圈;玻璃密封胶圈嵌入到玻璃密封环槽中,压在玻璃板的顶面上,仓体密封胶圈嵌入到仓体密封环槽中,压在仓体的顶面上。以上所述的真空仓,仓体底部T字形的抽气道,T字形的抽气道包括竖向布置的抽气孔和横向布置的气道;工作腔的底面包括两条 ...
【技术保护点】
一种激光加工用的真空仓,包括仓体、上盖、玻璃板和密封胶圈,上盖中部包括窗口;仓体包括工作腔,工作腔在仓体的顶部开口,上盖通过螺钉固定在仓体的顶面;其特征在于,仓体的顶面包括一圈凹槽,玻璃板嵌入到凹槽中;工作腔的底部包括工件支承台,凹槽的底面与工件支承台平行;上盖底面包括玻璃密封环槽和仓体密封环槽,密封胶圈包括玻璃密封胶圈和仓体密封胶圈;玻璃密封胶圈嵌入到玻璃密封环槽中,压在玻璃板的顶面上,仓体密封胶圈嵌入到仓体密封环槽中,压在仓体的顶面上。
【技术特征摘要】
1.一种激光加工用的真空仓,包括仓体、上盖、玻璃板和密封胶圈,上盖中部包括窗口;仓体包括工作腔,工作腔在仓体的顶部开口,上盖通过螺钉固定在仓体的顶面;其特征在于,仓体的顶面包括一圈凹槽,玻璃板嵌入到凹槽中;工作腔的底部包括工件支承台,凹槽的底面与工件支承台平行;上盖底面包括玻璃密封环槽和仓体密封环槽,密封胶圈包括玻璃密封胶圈和仓体密封胶圈;玻璃密封胶圈嵌入到玻璃密封环槽中,压在玻璃板的顶面上,仓体密封胶圈嵌入到仓体密封环槽中,压在仓体的顶面上。2.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:叶言明,冯广智,李军,
申请(专利权)人:中山市镭通激光科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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