一种基板加热炉温度监测系统及方法技术方案

本发明专利技术公开一种基板加热炉温度监测系统及方法，涉及显示装置制造技术领域，为解决对基板的温度的监测不准确的问题。所述基板加热炉温度监测系统包括：温度监测器，所述温度监测器设置在用于取放基板的机械手臂的叉齿上，所述温度监测器用于监测经基板加热炉加热后、位于所述叉齿上的所述基板的温度。所述基板加热炉温度监测系统中，温度监测器直接对基板的温度进行监测，以直接获得经基板加热炉加热后的基板的温度，获得的基板的温度更加准确，从而改善对基板的温度的监测的准确性。本发明专利技术提供的基板加热炉温度监测系统及方法用于显示装置的制造。

Substrate heating furnace temperature monitoring system and method

The invention discloses a substrate heating furnace temperature monitoring system and a method thereof, relating to the technical field of display device manufacture, in order to solve the problem of inaccurate monitoring of the temperature of the substrate. The substrate includes a temperature monitoring system of heating furnace temperature monitor, the temperature monitor is arranged in the fork for mechanical arm to take on the substrate, the temperature monitor for monitoring the temperature of the substrate heating furnace after heating, located in the fork on the plate. The substrate temperature monitoring system of heating furnace, monitor temperature monitor directly on the substrate temperature, with direct access to the substrate after the temperature of the heating furnace, the temperature of the substrate is more accurate, so as to improve the accuracy of monitoring the temperature of the substrate. The substrate heating furnace temperature monitoring system and method provided by the invention are used for the manufacture of the display device.

【技术实现步骤摘要】
一种基板加热炉温度监测系统及方法
本专利技术涉及显示装置制造
，尤其涉及一种基板加热炉温度监测系统及方法。
技术介绍
在显示装置制造
中，尤其是在制造基板(例如阵列基板、彩膜基板、阵列基板与彩膜基板对盒后形成的显示基板等)时，通常需要将基板放置在基板加热炉中进行加热，以便后续工艺的操作。目前，通常在基板加热炉内选取温度监测区，并在温度监测区内设置温度监测器(例如热电偶)，温度监测器所监测到的温度作为基板加热炉内的温度以及基板的温度，以对基板加热炉内的温度以及基板的温度进行监测。然而，采用上述方式对基板加热炉内的温度进行监测时，温度监测器所监测到的温度实际为温度监测区内的温度，即温度监测器所监测到的温度为基板加热炉内局部区域的温度，而基板的实际温度与温度监测器所监测到的温度有差别，因此，将温度监测器所监测到的温度作为基板的温度，会造成对基板的温度的监测不准确。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基板加热炉温度监测系统，用于解决对基板的温度的监测不准确的技术问题。为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种基板加热炉温度监测系统，包括温度监测器，所述温度监测器设置在用于取放基板的机械手臂的叉齿上，所述温度监测器用于监测经基板加热炉加热后、位于所述叉齿上的所述基板的温度。进一步地，所述叉齿上开设有安装孔，所述安装孔具有第一开口，所述第一开口位于所述叉齿与所述基板接触的表面上；所述温度监测器包括红外探头和红外探测模块，所述红外探测模块和所述红外探头均设置在所述安装孔内，所述红外探头朝向所述安装孔的第一开口。优选地，所述基板上环绕显示区的基板空白区内设置有非透明测温块，所述非透明测温块与所述安装孔的第一开口对应。优选地，所述非透明测温块的中心线、所述安装孔的中心线和所述红外探头的中心线重合。优选地，所述非透明测温块在所述基板朝向所述叉齿的表面上的正投影覆盖所述安装孔的第一开口在所述基板朝向所述叉齿的表面上的正投影，所述安装孔的第一开口在所述基板朝向所述叉齿的表面上的正投影覆盖所述红外探头在所述基板朝向所述叉齿的表面上的正投影。优选地，所述基板为阵列基板，所述非透明测温块的材料与所述阵列基板的栅极的材料相同，或，所述非透明测温块的材料与所述阵列基板的源漏层的材料相同，或，所述非透明测温块的材料与所述阵列基板的对位标记的材料相同；所述基板为彩膜基板，所述非透明测温块的材料与所述彩膜基板的黑矩阵的材料相同，或，所述非透明测温块的材料与所述彩膜基板的对位标记的材料相同。进一步地，所述温度监测器还包括安装架，所述安装架包括底板和扣合在所述底板上的壳体，所述底板与所述叉齿固定连接，所述壳体上开设有通孔；所述红外探测模块和所述红外探头均固定设置在所述底板与所述壳体之间的空腔内，所述红外探头的前端穿过所述通孔，并伸出所述空腔。进一步地，所述温度监测器还包括第一信号转换模块、信号放大模块、模数转换模块和第二信号转换模块，所述第一信号转换模块与所述红外探测模块信号连接，所述信号放大模块与所述第一信号转换模块信号连接，所述模数转换模块与所述信号放大模块信号连接，所述第二信号转换模块与所述模数转换模块信号连接；所述第一信号转换模块将所述红外探测模块输出、与所述基板的温度对应的模拟电流信号转换为模拟电压信号；所述信号放大模块将经所述第一信号转换模块转换后得到的模拟电压信号放大；所述模数转换模块将经所述信号放大模块放大后的模拟电压信号转换为数字电压信号；所述第二信号转换模块将经所述模数转换模块转换后得到的数字电压信号转换为与所述基板的温度对应的温度信号。进一步地，所述基板加热炉温度监测系统还包括控制单元，所述控制单元与所述温度监测器信号连接，所述控制单元还与所述机械手臂上的基板检测器信号连接；所述控制单元接收所述基板检测器所检测到的所述叉齿抬起经所述基板加热炉加热后的所述基板的信号后，使所述温度监测器监测经所述基板加热炉加热后、位于所述叉齿上的所述基板的温度；所述控制单元还将所述温度监测器所监测到的所述基板的温度与预设温度范围进行比较。优选地，所述基板加热炉温度监测系统还包括显示单元，所述显示单元与所述控制单元信号连接；所述显示单元显示所述温度监侧器所监测到的所述基板的温度；所述温度监测器所监测到的所述基板的温度落入所述预设温度范围时，所述显示单元还显示温度正常的信息；所述温度监测器所监测到的所述基板的温度未落入所述预设温度范围时，所述显示单元还显示温度异常的信息。优选地，所述基板加热炉温度监测系统还包括报警单元，所述报警单元与所述控制单元信号连接，所述报警单元在所述温度监测器所监测到的所述基板的温度未落入所述预设温度范围时进行报警。当应用本专利技术提供的基板加热炉温度监测系统时，基板加热炉对放置在该基板加热炉内的基板完成加热后，用于取放基板的机械手臂的叉齿则伸入基板加热炉内，并抬起基板，叉齿上的温度监测器则监测经基板加热炉加热后、位于叉齿上的基板的温度。因此，在本专利技术提供的基板加热炉温度监测系统中，通过设置在用于取放基板的机械手臂的叉齿上的温度监测器对位于该叉齿上的基板的温度进行监测，即在本专利技术提供的基板加热炉温度监测系统中，温度监测器直接对基板的温度进行监测，以直接获得经基板加热炉加热后的基板的温度，与现有技术中将基板加热炉内局部区域的温度作为基板的温度相比，获得的基板的温度更加准确，从而改善对基板的温度的监测的准确性。本专利技术的另一目的在于提出一种基板加热炉温度监测方法，用于解决对基板的温度的监测不准确的技术问题。为达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的：一种基板加热炉温度监测方法，应用于如上述技术方案所述的基板加热炉温度监测系统，所述基板加热炉温度监测方法包括：温度监测器监测经基板加热炉加热后、位于机械手臂的叉齿上的基板的温度。进一步地，在所述温度监测器监测经基板加热炉加热后、位于机械手臂的叉齿上的基板的温度的步骤包括：所述温度监测器的第一信号转换模块将所述温度监测器的红外探测模块输出、与所述基板的温度对应的模拟电流信号转换为模拟电压信号；所述温度监测器的信号放大模块将经所述第一信号转换模块转换后得到的模拟电压信号放大；所述温度监测器的模数转换模块将经所述信号放大模块放大后的模拟电压信号转换为数字电压信号；所述温度监测器的第二信号转换模块将经所述模数转换模块转换后得到的数字电压信号转换为与所述基板的温度对应的温度信号。进一步地，在所述温度监测器监测经基板加热炉加热后、位于机械手臂的叉齿上的基板的温度的步骤之后，所述基板加热炉温度监测方法还包括：控制单元将所述温度监测器所监测到的所述基板的温度与预设温度范围进行比较；显示单元显示所述温度监测器所述监测到的所述基板的温度；所述温度监测器所监测到的所述基板的温度落入所述预设温度范围时，所述显示单元还显示温度正常的信息；所述温度监测器所监测到的所述基板的温度未落入所述预设温度范围时，所述显示单元还显示温度异常的信息；所述温度监测器所监测到的所述基板的温度未落入所述预设温度范围时，报警单元报警。进一步地，在所述温度监测器监测经基板加热炉加热后、位于机械手臂的叉齿上的基板的温度的步骤之前，所述基板加热炉温度监测方法还包括：所述叉齿伸入所述基板加热炉内，并抬起所述基板加热炉本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板加热炉温度监测系统，其特征在于，包括温度监测器，所述温度监测器设置在用于取放基板的机械手臂的叉齿上，所述温度监测器用于监测经基板加热炉加热后、位于所述叉齿上的所述基板的温度。

【技术特征摘要】
1.一种基板加热炉温度监测系统，其特征在于，包括温度监测器，所述温度监测器设置在用于取放基板的机械手臂的叉齿上，所述温度监测器用于监测经基板加热炉加热后、位于所述叉齿上的所述基板的温度。2.根据权利要求1所述的基板加热炉温度监测系统，其特征在于，所述叉齿上开设有安装孔，所述安装孔具有第一开口，所述第一开口位于所述叉齿与所述基板接触的表面上；所述温度监测器包括红外探头和红外探测模块，所述红外探测模块和所述红外探头均设置在所述安装孔内，所述红外探头朝向所述安装孔的第一开口。3.根据权利要求2所述的基板加热炉温度监测系统，其特征在于，所述基板上环绕显示区的基板空白区内设置有非透明测温块，所述非透明测温块与所述安装孔的第一开口对应。4.根据权利要求3所述的基板加热炉温度监测系统，其特征在于，所述非透明测温块的中心线、所述安装孔的中心线和所述红外探头的中心线重合。5.根据权利要求3所述的基板加热炉温度监测系统，其特征在于，所述非透明测温块在所述基板朝向所述叉齿的表面上的正投影覆盖所述安装孔的第一开口在所述基板朝向所述叉齿的表面上的正投影，所述安装孔的第一开口在所述基板朝向所述叉齿的表面上的正投影覆盖所述红外探头在所述基板朝向所述叉齿的表面上的正投影。6.根据权利要求3所述的基板加热炉温度监测系统，其特征在于，所述基板为阵列基板，所述非透明测温块的材料与所述阵列基板的栅极的材料相同，或，所述非透明测温块的材料与所述阵列基板的源漏层的材料相同，或，所述非透明测温块的材料与所述阵列基板的对位标记的材料相同；所述基板为彩膜基板，所述非透明测温块的材料与所述彩膜基板的黑矩阵的材料相同，或，所述非透明测温块的材料与所述彩膜基板的对位标记的材料相同。7.根据权利要求2所述的基板加热炉温度监测系统，其特征在于，所述温度监测器还包括安装架，所述安装架包括底板和扣合在所述底板上的壳体，所述底板与所述叉齿固定连接，所述壳体上开设有通孔；所述红外探测模块和所述红外探头均固定设置在所述底板与所述壳体之间的空腔内，所述红外探头的前端穿过所述通孔，并伸出所述空腔。8.根据权利要求2所述的基板加热炉温度监测系统，其特征在于，所述温度监测器还包括第一信号转换模块、信号放大模块、模数转换模块和第二信号转换模块，所述第一信号转换模块与所述红外探测模块信号连接，所述信号放大模块与所述第一信号转换模块信号连接，所述模数转换模块与所述信号放大模块信号连接，所述第二信号转换模块与所述模数转换模块信号连接；所述第一信号转换模块将所述红外探测模块输出、与所述基板的温度对应的模拟电流信号转换为模拟电压信号；所述信号放大模块将经所述第一信号转换模块转换后得到的模拟电压信号放大；所述模数转换模块将经所述信号放大模块放大后的模拟电压信号转换为数字电压信号；所述第二信号转换模块将经所述模数转换模块转换后得到的数字电压信号转换为与所述基板的温度对应的温度信号。9.根据权利要求1所述的基板加热炉温度监测系统，其特征在于，所述基板加热炉温度监测系统还包括控制单元，所述控制单元与所述温度监测器信号连接，所述控制单元还与所述机械手臂上的基板检测器信号连接；所述控制单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：向鑫，郭知广，侯本象，王允杰，杨帆，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34