一种掩膜组件及其组装方法技术

本发明专利技术实施例提供一种掩膜组件及其组装方法，涉及蒸镀技术领域，相对现有技术，可提高第一支撑条的张网精度和遮挡精度。该掩膜组件包括：框架，框架具有中空区域；掩膜板，掩膜板跨设于框架的中空区域，且掩膜板的相对两端固定在框架上；第一支撑条，用于支撑掩膜板；第一支撑条包括层叠设置的第一子支撑条和第二子支撑条，第一子支撑条和第二子支撑条跨设于框架的中空区域，且第一子支撑条的相对两端和第二子支撑条的相对两端均固定在框架上；其中，所述第一子支撑条在所述第二子支撑条上的正投影位于所述第二子支撑条内；第二子支撑条的厚度小于第一子支撑条的厚度。用于掩膜组件中。

Mask assembly and assembly method thereof

The embodiment of the invention provides a mask assembly and assembling method thereof, relates to the technical field of evaporation, relative to the existing technology, can improve the accuracy of the first supporting bar net and occlusion accuracy. The mask assembly includes a frame, frame has a hollow region; mask, mask plate arranged in the hollow frame, and the mask of the opposite ends are fixed on the frame; the first support rod for supporting the mask plate; the first supporting bar includes stacked first and second support sub sub support a hollow area of the first and second support sub sub support bars arranged in the frame, and the first sub supporting bar and second opposite ends of the supporting bar opposite ends are fixed on the frame; wherein, the first sub support in the second sub support on the orthographic projection is located on the second support; second supporting strip thickness less than the first thickness of sub support. Used in mask assemblies.

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜组件及其组装方法
本专利技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种掩膜组件及其组装方法。
技术介绍
目前，OLED(OrganicLightEmittingDiode，有机发光二极管)显示装置由于具有自发光、反应快、亮度高、轻薄等诸多优点，而得到越来越广泛的应用。其中，OLED在制作时常采用蒸镀工艺、喷墨打印工艺等方式，而在制作小尺寸有机电致发光二极管显示面板(OLEDPanel)的过程中，蒸镀工艺中所使用的蒸镀掩膜板(Mask)起到尤其重要的作用。传统的蒸镀掩膜板分为开口掩膜板(OpenMask)和精细金属掩膜板(FineMetalMask，简称FMM)，包含有开口掩膜板的掩膜组件制作时技术难度较低，而包含有FMM的掩膜组件制作时技术难度极大。包含有FMM的掩膜组件通常由框架(Frame)、支撑条(Howling)以及FMM等组成。然而，传统的支撑条由于厚度较大，因而支撑条在张网时需要较大的张网力，而较大的张网力容易使支撑条变形，例如使支撑条弯曲(HowlingBending)，这样便很难保证支撑条具有良好的直线度，从而影响了支撑条的张网精度(支撑条在框架上的实际位置与预设位置的差距)，而张网精度的降低会导致支撑条的遮挡精度(支撑条的实际遮挡区域与预设遮挡区域差距)降低。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种掩膜组件及其组装方法，相对现有技术，可提高第一支撑条的张网精度和遮挡精度。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：一方面，提供一种掩膜组件，包括：框架，所述框架具有中空区域；掩膜板，所述掩膜板跨设于所述框架的中空区域，且所述掩膜板的相对两端固定在所述框架上；第一支撑条，用于支撑所述掩膜板；所述第一支撑条包括层叠设置的第一子支撑条和第二子支撑条，所述第一子支撑条和所述第二子支撑条跨设于所述框架的中空区域，且所述第一子支撑条的相对两端和所述第二子支撑条的相对两端均固定在所述框架上；其中，所述第一子支撑条在所述第二子支撑条上的正投影位于所述第二子支撑条内；所述第二子支撑条的厚度小于所述第一子支撑条的厚度。优选的，所述掩膜组件包括至少两个第一支撑条；所述第一支撑条之间相互平行。优选的，所述掩膜组件还包括：固定在所述框架上的辅助件，所述辅助件具有标记图案。进一步优选的，所述辅助件包括两个辅助条，两个所述辅助条分别设置在所述框架的相对两边，每个所述辅助条背离所述框架的一侧的两端设置有孔洞。优选的，所述第一子支撑条的宽度比所述第二子支撑条的宽度小300μm-500μm。优选的，所述掩膜板为精细金属掩膜板，所述精细金属掩膜板包括多个相互平行的掩膜条。进一步优选的，所述第一支撑条与所述掩膜条相互垂直。优选的，所述掩膜组件还包括第二支撑条；所述第二支撑条跨设于所述框架的中空区域，且所述第二支撑条的相对两端固定在所述框架上；其中，所述第二支撑条与所述第一支撑条交叉设置。进一步优选的，所述第二支撑条包括叠层设置的第三子支撑条和第四子支撑条；其中，所述第三子支撑条在所述第四子支撑条上的正投影位于所述第四子支撑条内；所述第四子支撑条的厚度小于所述第三子支撑条的厚度。优选的，所述掩膜板为精细金属掩膜板，所述精细金属掩膜板包括多个相互平行的掩膜条，所述掩膜条与所述第二支撑条平行，所述第二支撑条设置在相邻所述掩膜条之间的间隙位置处。另一方面，提供一种掩膜组件的组装方法，包括：将第一子支撑条跨设于框架的中空区域，并将所述第一子支撑条的相对两端固定在所述框架上；将第二子支撑条设置在所述第一子支撑条上方，并将所述第二子支撑条的相对两端固定在所述框架上，所述第一子支撑条在所述第二子支撑条上的正投影位于所述第二子支撑条内，所述第二子支撑条的厚度小于所述第一子支撑条的厚度；其中，所述第一子支撑条和所述第二子支撑条构成第一支撑条；将掩膜板跨设于所述框架的中空区域，并将所述掩膜板的相对两端固定在所述框架上。优选的，在将第一子支撑条的相对两端固定在框架上之后，将第二子支撑条的相对两端固定在所述框架上之前，所述组装方法还包括：将两个辅助条分别设置在所述框架的相对两边，所述辅助条背离所述框架的一侧的两端设置有孔洞；将所述第二子支撑条的相对两端固定在所述框架上，具体包括：根据所述孔洞确定所述第二子支撑条在所述框架上的固定位置，并固定所述第二子支撑条的相对两端；将所述掩膜板的相对两端固定在所述框架上，具体包括：根据所述孔洞确定所述掩膜板在所述框架上的固定位置，并固定所述掩膜板的相对两端。优选的，在将第一子支撑条的相对两端固定在框架上之前，所述组装方法还包括：将第二支撑条跨设于所述框架的中空区域，并将所述第二支撑条的相对两端固定在所述框架上。进一步优选的，在将第一子支撑条的相对两端固定在框架上之前，所述组装方法具体还包括：将第三子支撑条跨设于所述框架的中空区域，并将所述第三子支撑条的相对两端固定在框架上；将第四子支撑条设置在所述第三子支撑条上方，并将所述第四子支撑条的相对两端固定在所述框架上，所述第三子支撑条在所述第四子支撑条上的正投影位于所述第四子支撑条内，所述第四子支撑条的厚度小于所述第三支撑条的厚度；其中，所述第三子支撑条和所述第四子支撑条构成第二支撑条。本专利技术实施例提供一种掩膜组件及其组装方法，掩膜组件中的第一支撑条为双层，第一支撑条包括层叠设置的第一子支撑条和第二子支撑条，由于第一子支撑条的厚度大于第二子支撑条的厚度，因而第一子支撑条与现有技术中支撑条的作用相同，可以用于起支撑掩膜板的作用。在此基础上，由于第二子支撑条的厚度小于第一子支撑条的厚度，因而第二子支撑条在张网时所需的张网力较小，这样便可以避免第二子支撑条变形，因而第二子支撑条具有较高的张网精度和遮挡精度。此外，第一子支撑条在第二子支撑条上的正投影位于第二子支撑条内，由于第二子支撑条具有较高的遮挡精度和张网精度，因而第一支撑条具有较高的张网精度和遮挡精度，因此相对于现有技术，本专利技术实施例提高了第一支撑条的张网精度和遮挡精度。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种掩膜组件的结构示意图一；图2(a)为图1中AA′向剖视示意图；图2(b)为图1中BB′向剖视示意图；图3(a)为本专利技术实施例提供的一种掩膜组件的结构示意图二；图3(b)为本专利技术实施例提供的一种掩膜组件的结构示意图三；图4为本专利技术实施例提供的一种掩膜组件的结构示意图四；图5为本专利技术实施例提供的一种掩膜组件的结构示意图五；图6为本专利技术实施例提供的一种掩膜组件的结构示意图六；图7为本专利技术实施例提供的一种掩膜组件的组装方法的结构示意图；图8为本专利技术实施例提供的一种在框架上固定第一子支撑条的结构示意图；图9为本专利技术实施例提供的一种在框架上固定第一子支撑条和第二子支撑条的结构示意图；图10为本专利技术实施例提供的一种在框架上固定辅助条的结构示意图；图11本专利技术实施例提供的一种在框架上固定第二支撑条的结构示意图；图12本专利技术实施例提供的一种在框架上固定第三子支撑条和第四子支撑条的结构示本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜组件，其特征在于，包括:框架，所述框架具有中空区域；掩膜板，所述掩膜板跨设于所述框架的中空区域，且所述掩膜板的相对两端固定在所述框架上；第一支撑条，用于支撑所述掩膜板；所述第一支撑条包括层叠设置的第一子支撑条和第二子支撑条，所述第一子支撑条和所述第二子支撑条跨设于所述框架的中空区域，且所述第一子支撑条的相对两端和所述第二子支撑条的相对两端均固定在所述框架上；其中，所述第一子支撑条在所述第二子支撑条上的正投影位于所述第二子支撑条内；所述第二子支撑条的厚度小于所述第一子支撑条的厚度。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜组件，其特征在于，包括:框架，所述框架具有中空区域；掩膜板，所述掩膜板跨设于所述框架的中空区域，且所述掩膜板的相对两端固定在所述框架上；第一支撑条，用于支撑所述掩膜板；所述第一支撑条包括层叠设置的第一子支撑条和第二子支撑条，所述第一子支撑条和所述第二子支撑条跨设于所述框架的中空区域，且所述第一子支撑条的相对两端和所述第二子支撑条的相对两端均固定在所述框架上；其中，所述第一子支撑条在所述第二子支撑条上的正投影位于所述第二子支撑条内；所述第二子支撑条的厚度小于所述第一子支撑条的厚度。2.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件包括至少两个第一支撑条；所述第一支撑条之间相互平行。3.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件还包括：固定在所述框架上的辅助件，所述辅助件具有标记图案。4.根据权利要求3所述的掩膜组件，其特征在于，所述辅助件包括两个辅助条，两个所述辅助条分别设置在所述框架的相对两边，每个所述辅助条背离所述框架的一侧的两端设置有孔洞。5.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述第一子支撑条的宽度比所述第二子支撑条的宽度小300μm-500μm。6.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述掩膜板为精细金属掩膜板，所述精细金属掩膜板包括多个相互平行的掩膜条。7.根据权利要求6所述的掩膜组件，其特征在于，所述第一支撑条与所述掩膜条相互垂直。8.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件还包括第二支撑条；所述第二支撑条跨设于所述框架的中空区域，且所述第二支撑条的相对两端固定在所述框架上；其中，所述第二支撑条与所述第一支撑条交叉设置。9.根据权利要求8所述的掩膜组件，其特征在于，所述第二支撑条包括叠层设置的第三子支撑条和第四子支撑条；其中，所述第三子支撑条在所述第四子支撑条上的正投影位于所述第四子支撑条内；所述第四子支撑条的厚度小于所述第三子支撑条的厚度。10.根据权利要求8所述的掩膜组件，其特征在于，所述掩膜板为精细金属掩膜板，所述精细金属掩膜板包括多个相互平行...

【专利技术属性】
技术研发人员：张微，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11