镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，镀膜阴极端头侧面的水路接口用水端密封盖予以密封，镀膜阴极端头顶面上安装有气路检漏接口与水路检漏接口；所述镀膜阴极端头置入一个中空腔体内，并用真空腔密封盖将所述中空腔体予以密封，所述真空腔密封盖开有孔，以供所述气路检漏接口与水路检漏接口外露，所述孔的周缘与所述镀膜阴极端头的顶面密封连接；所述中空腔体还设有抽真空接口，用于与抽真空装置或真空检漏设备相连通。本发明专利技术提供的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置的检测状态基本等同于实际工作状态，因此可以保证检漏的高准确率，避免镀膜线保养失败而造成的重新维护费时费钱的问题。

Off line vacuum leak detection device for coated cathode end

To provide a coating cathode end of off-line vacuum leak detection device of the invention, water water interface end side coated cathode end of the sealing cover to seal coated cathode end head is mounted on the surface of a gas leak and water leak detection interface interface; the end head in a coated cathode cavity and a vacuum cavity sealing cover the body cavity to seal the vacuum cavity sealing cover is provided with a hole for the gas leak and water leak detection interface interface exposed, a top surface of the hole and the cathode end sealing coating; the hollow cavity is also provided with a vacuum interface, for connected with a vacuum pumping device or vacuum leak detection equipment. Detection of coated cathode end of the invention provides off-line vacuum leak detection device is almost equivalent to the actual working condition, which can ensure high accuracy of detection, re maintenance problems and avoid costly maintenance caused by the failure of coating line.

【技术实现步骤摘要】
镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置
本专利技术涉及一种镀膜阴极端头离线检测装置，同时可以将镀膜阴极端头进行真空处理，使其安装后可快速进入使用状态。
技术介绍
通常在镀膜阴极端头维护后，无法仿真实际使用环境，容易造成维护后的备件安装后造成镀膜线保养失败的问题。镀膜线是真空设备，如果维护后阴极端头出现问题，重复镀膜线保养流程，一般维护流程为24小时。这样就造成了人力、物力严重浪费的问题，并每次会造成公司数十万元的损失。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种结构简单、成本不高、操作简便的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置。为达上述目的，本专利技术一种镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其特征在于：镀膜阴极端头侧面的水路接口用水端密封盖予以密封，镀膜阴极端头顶面上安装有气路检漏接口与水路检漏接口；所述镀膜阴极端头置入一个中空腔体内，并用真空腔密封盖将所述中空腔体予以密封，所述真空腔密封盖开有孔，以供所述气路检漏接口与水路检漏接口外露，所述孔的周缘与所述镀膜阴极端头的顶面密封连接；所述中空腔体还设有抽真空接口，用于与抽真空装置或真空检漏设备相连通。所述的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其中：所述抽真空接口连接有中空波纹管。所述的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其中：所述中空波纹管与所述中空腔体之间还设有中心环密封圈。所述的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其中：在所述镀膜阴极端头的顶面上用螺栓固定有真空检漏注入底座，在所述中空检漏注入底座上设有所述气路检漏接口与水路检漏接口。所述的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其中：所述中空腔密封盖与所述中空腔体之间设有真空腔密封圈。所述的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其中：所述孔的周缘与所述镀膜阴极端头的顶面之间设有端头密封圈。本专利技术镀膜阴极端头离线检测装置与现有技术相比较，取得了如下技术效果：本专利技术达到完全仿真镀膜阴极端头实际使用环境来进行动态及静态检测，并且能够使镀膜阴极端头维护后的水气进行干燥处理，使其尽快进入真空使用状态。下面结合附图对本专利技术作进一步说明。附图说明图1为本专利技术镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置的分解结构示意图；图2为本专利技术镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置的组装剖面图；图3为本专利技术镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置的组装外观立体图。附图标记说明：1-水端密封盖；2-真空腔密封盖；3-真空检漏注入底座；4-真空腔体；5-镀膜阴极端头；6-真空波纹管；7-端头密封圈；8-真空腔密封圈；9-中心环密封圈；10-气路检漏接口；11-水路检漏接口。具体实施方式以下结合附图和实施例，对本专利技术上述的和另外的技术特征和优点作更详细的说明。本专利技术提供的一种镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，如图1、图2、图3所示，包含如下结构：镀膜阴极端头5侧面的水路接口用水端密封盖1予以密封，在所述镀膜阴极端头5上还用螺栓固定有真空检漏注入底座3，在所述中空检漏注入底座3上用螺纹连接有6mm口径的气路检漏接口10与10mm口径的水路检漏接口11，所述气路检漏接口10可用于检测所述镀膜阴极端头5的气路泄露情况，所述水路检漏接口11可用于检测所述镀膜阴极端头5的水路泄露情况；然后将所述镀膜阴极端头5置入中空腔体4内，再用真空腔密封盖2将所述中空腔体4予以密封，所述真空腔密封盖2上开有孔，以供所述气路检漏接口10与水路检漏接口11外露，所述孔的周缘与所述镀膜阴极端头5的顶面密封连接；而且，所述中空腔密封盖2与所述中空腔体4之间用真空腔密封圈8相接，所述孔的周缘与所述中空腔密封盖2之间用端头密封圈7相接，以增强气密效果；所述中空腔体4还设有抽真空接口，所述抽真空接口与中空波纹管6通过中心环密封圈9密接，通过所述中空波纹管6能够与抽真空装置或真空检漏设备相接。安装好以后，先用抽真空装置将中空腔体4内抽成真空状态，然后将真空波纹管6与真空检漏设备相连，接下来，将检测气体(如氦气)分别通入气路检漏接口10与水路检漏接口11，然后通过所述真空波纹管6以及真空检漏设备进行漏率检测，即可检测所述镀膜阴极端头5的气路与水路是否存在泄露。由于本专利技术提供的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置的检测状态基本等同于实际工作状态，因此可以保证检漏的高准确率，避免镀膜线保养失败而造成的重新维护费时费钱的问题。以上说明对本专利技术而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其特征在于：镀膜阴极端头侧面的水路接口用水端密封盖予以密封，镀膜阴极端头顶面上安装有气路检漏接口与水路检漏接口；所述镀膜阴极端头置入一个中空腔体内，并用真空腔密封盖将所述中空腔体予以密封，所述真空腔密封盖开有孔，以供所述气路检漏接口与水路检漏接口外露，所述孔的周缘与所述镀膜阴极端头的顶面密封连接；所述中空腔体还设有抽真空接口，用于与抽真空装置或真空检漏设备相连通。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其特征在于：镀膜阴极端头侧面的水路接口用水端密封盖予以密封，镀膜阴极端头顶面上安装有气路检漏接口与水路检漏接口；所述镀膜阴极端头置入一个中空腔体内，并用真空腔密封盖将所述中空腔体予以密封，所述真空腔密封盖开有孔，以供所述气路检漏接口与水路检漏接口外露，所述孔的周缘与所述镀膜阴极端头的顶面密封连接；所述中空腔体还设有抽真空接口，用于与抽真空装置或真空检漏设备相连通。2.根据权利要求1所述的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其特征在于：所述抽真空接口连接有中空波纹管。3.根据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙学强，
申请(专利权)人：信义玻璃天津有限公司，
类型：发明
国别省市：天津,12