铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置制造方法及图纸

技术编号:15696402 阅读:142 留言:0更新日期:2017-06-24 12:05
铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,包括放卷机构和收卷机构,放卷机构和收卷机构之间设有若干滚轮,铜铟镓硒卷材通过滚轮走卷,每两根相邻的所述滚轮之间都设有基底加热板,基底加热板内设有U型加热管,设有对滚轮进行加热的辅助加热装置。本实用新型专利技术采用的辅助加热装置对滚轮进行加热,避免了腔体中存在的Cu、In、Ga、Se尘粒因为基板和辅助滚的温度差而沉积于辅助滚上,使走卷的过程中铜铟镓硒卷材背面不会凸点,表面光洁度好。

Roller auxiliary heating device for copper indium gallium selenium vacuum evaporation equipment

Roller auxiliary heating device plating equipment CIGS vacuum evaporation, including the unwinding mechanism and the winding mechanism is provided with a plurality of rollers and the unwinding mechanism between the rolling mechanism, copper indium gallium selenium roll through rollers go roll, substrate heating plate is arranged between the two adjacent rollers each, substrate heating plate a U type heating pipe, an auxiliary heating device for roller. The auxiliary heating device of the utility model is used for heating roller, avoid the cavity in the presence of Cu, In, Ga, Se dust because of temperature difference between substrate and roll and roll on the deposition in the moving and rolling process, copper indium gallium selenium will not roll back the convex point, good surface finish.

【技术实现步骤摘要】
铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置
本技术涉及太阳能电池生产设备
,特别涉及铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置。
技术介绍
太阳能电池又称为“太阳能芯片”或“光电池”,是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片。它只要被光照到,通过光电效应或者光化学效应直接把光能转化成电能,瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流。太阳能电池的种类很多,其中铜铟镓硒(铜铟镓硒)薄膜太阳电池具有生产成本低、污染小、不衰退、弱光性能好等特点,光电转换效率居各种薄膜太阳能电池之首,接近晶体硅太阳电池,而成本则是晶体硅电池的三分之一,被国际上称为“下一时代非常有前途的新型薄膜太阳电池”。此外,该电池具有柔和、均匀的黑色外观,是对外观有较高要求场所的理想选择,如大型建筑物的玻璃幕墙等,在现代化高层建筑等领域有很大市场。铜铟镓硒太阳能薄膜电池原材料在真空蒸镀设备中处理时,设备的基底加热板在加热过程中会产生大量的热量,温度在500-785摄氏度之间,不锈钢卷位于基板下方,在运动走卷的过程中,辅助滚轮与不锈钢卷相互接触,基底加热板温度热辐射于不锈钢卷上,但因为辅助滚轮不懈怠加热功能,相对辅助滚轮属于低温区,整个蒸发设备在加热共蒸的过程中腔体存在Cu、In、Ga、Se尘粒,因为基板和辅助滚的温度差,会沉积于辅助滚上,在走卷的过程中带入不锈钢卷背面产生凸点,影响工艺制卷的表面光洁度。
技术实现思路
本技术要解决现有技术的问题,提供一种铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,达到防止Cu、In、Ga、Se尘粒堆积在滚轮上,使卷材表面光洁度高的目的。为达到上述目的,本技术采用的技术方案如下:铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,包括放卷机构和收卷机构,放卷机构和收卷机构之间设有若干滚轮,铜铟镓硒卷材通过滚轮走卷,每两根相邻的所述滚轮之间都设有基底加热板,基底加热板内设有U型加热管,设有对滚轮进行加热的辅助加热装置。通过U型加热管的加热,基底加热板温度较高,但其热量一般向上或向下辐射,向两侧滚轮辐射较少,因此一般情况下滚轮温度相对较低,但通过额外设置的辅助加热装置直接对滚轮加热,提高滚轮的温度。优选的,所述辅助加热装置为较长的U型加热管a,设于滚轮与铜铟镓硒卷材接触面的相对侧。优选的,所述辅助加热装置为较短的U型加热管b,设于滚轮与铜铟镓硒卷材接触面的两端。优选的,所述辅助加热装置包括较长的U型加热管a(5)和较短的U型加热管b,U型加热管a设于滚轮与铜铟镓硒卷材接触面的相对侧,U型加热管b设于滚轮与铜铟镓硒卷材接触面的两端。优选的,所述滚轮和基底加热板的排列方向呈向下凸起。优选的,所述滚轮和基底加热板上方设有挡板。即隔绝设备内的蒸汽、热量,也避免外界的灰尘等杂物落入卷材而影响卷材质量。本技术的有益效果在于:本技术采用的辅助加热装置对滚轮进行加热,避免了腔体中存在的Cu、In、Ga、Se尘粒因为基板和辅助滚的温度差而沉积于辅助滚上,使走卷的过程中铜铟镓硒卷材背面不会凸点,表面光洁度好。附图说明图1是本技术的结构示意图。图2是本技术实施方式一中辅助加热装置与滚轮的结构示意图。图3是本技术实施方式二中辅助加热装置与滚轮的结构示意图。图4是本技术实施方式三中辅助加热装置与滚轮的结构示意图。为了使观察效果更佳,附图中未显示设备的挡板、支架等辅助结构。图中:1、放卷机构;2、收卷机构;3、滚轮;4、基底加热板;5、U型加热管a;6、U型加热管b;7、铜铟镓硒卷材。具体实施方式下面通过具体实施方式和附图对本技术作进一步的说明。实施方式一:结合图1和图2所示,铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,包括放卷机构1和收卷机构2,放卷机构1和收卷机构2之间设有若干滚轮3,铜铟镓硒卷材7通过滚轮3走卷,每两根相邻的所述滚轮3之间都设有基底加热板4,基底加热板4内设有U型加热管,设有对滚轮3进行加热的辅助加热装置,辅助加热装置为较长的U型加热管a5,设于滚轮3与铜铟镓硒卷材7接触面的相对侧。实施方式二:结合图1和图3所示,与实施方式一的区别在于,辅助加热装置为较短的U型加热管b6,设于滚轮3与铜铟镓硒卷材7接触面的两端。实施方式三:结合图1和图4所示,结合了实施方式一和实施方式二的辅助加热装置,U型加热管a5设于滚轮3与铜铟镓硒卷材7接触面的相对侧,U型加热管b6设于滚轮3与铜铟镓硒卷材7接触面的两端。在上述三种实施方法中,滚轮3和基底加热板4的排列方向呈向下凸起,且滚轮3和基底加热板4上方设有挡板。此外,辅助加热装置的各个U型加热管可以和基底加热板4中的U型加热管并联。以上所述仅为本技术的具体实施例,但本技术的结构特征并不局限于此,本技术可以用于类似的产品上,任何本领域的技术人员在本技术的领域内,所作的变化或修饰皆涵盖在本技术的专利范围之中。本文档来自技高网...
铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置

【技术保护点】
铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,包括放卷机构(1)和收卷机构(2),放卷机构(1)和收卷机构(2)之间设有若干滚轮(3),铜铟镓硒卷材(7)通过滚轮(3)走卷,其特征在于:每两根相邻的所述滚轮(3)之间都设有基底加热板(4),基底加热板(4)内设有U型加热管,设有对滚轮(3)进行加热的辅助加热装置。

【技术特征摘要】
1.铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,包括放卷机构(1)和收卷机构(2),放卷机构(1)和收卷机构(2)之间设有若干滚轮(3),铜铟镓硒卷材(7)通过滚轮(3)走卷,其特征在于:每两根相邻的所述滚轮(3)之间都设有基底加热板(4),基底加热板(4)内设有U型加热管,设有对滚轮(3)进行加热的辅助加热装置。2.根据权利要求1所述的铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,其特征在于:所述辅助加热装置为较长的U型加热管a(5),设于滚轮(3)与铜铟镓硒卷材(7)接触面的相对侧。3.根据权利要求1所述的铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,其特征在于:所述辅助加热装置为较短的U型加热管b(...

【专利技术属性】
技术研发人员:任宇航林峰罗明新
申请(专利权)人:浙江尚越新能源开发有限公司
类型:新型
国别省市:浙江,33

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1