The invention provides a MEMS resonator including: main board, which is formed on the main substrate receiving center; quality of body, which has the elastic support on both sides of the main substrate of one end of the driving unit, and a central part; one side of the receiver configuration on the main substrate, and the voltage on both sides one end of the body is applied to mass produce the driving torque, thereby moving relative to the main body position of the substrate quality; and, including tuning, tuning unit with respect to a pair of symmetrical elastic member second is arranged, and with beams, the beams to change the length of the elastic member second is driven by each the tuning of the operation unit, so as to control the frequency.
【技术实现步骤摘要】
MEMS谐振器
本专利技术涉及一种MEMS谐振器,且更具体地,涉及这样一种MEMS谐振器:当向致动器施加电压来人为地限制支承质量体的弹簧时,上述MEMS谐振器可通过控制刚度来调整谐振频率的方法在不持续施加电压的状态下保持调谐状态(tuningstate)。
技术介绍
一般地,微机电系统(MEMS:Micro-Electro-MechanicalSystem)技术用于通过处理硅、晶体(crystal)、或玻璃来制造微型机械结构,例如超高密度集成电路。通过硅处理技术开始的MEMS技术能够通过应用半导体精细加工技术实现以低成本大量生产超小尺寸产品,其中,半导体精细加工技术是用于在结构上重复例如沉积和蚀刻的处理过程,从而使尺寸、成本和功率损耗都能显著减少。具体地,MEMS谐振器广泛地应用于各种场合,例如,加速系统、惯性传感器例如角速度系统、RF滤波器、质量检测传感器以及微透镜扫描仪(microlensscanner)。MEMS谐振器由质量体、弹簧以及阻尼器组成,并且检测由于从外部输入的物理量,例如,质量体的振幅和谐振频率,即谐振特性引起的转换系数。然而,当MEMS谐振器由于制造过程的误差或者操作环境,即,外部温度或压力而导致其自身的频率发生变化时,存在缺陷。然而,现有的调整频率方法是复杂且昂贵的,并且在电调谐类型中,存在需要持续施加电压的缺陷。上述在背景部分所公开的信息仅用于增强本专利技术背景的理解,并且因此,其可包括不形成本国内本领域内的普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
一种MEMS谐振器配置成在通过施加电压至致动器来限制连接至质量体的弹簧时,通过控 ...
【技术保护点】
一种MEMS谐振器,包括:主基板,其在所述主基板的中心形成接收部;质量体,其位于所述主基板的接收部的中心,并且具有在所述主基板的两侧、通过第一弹性构件和第二弹性构件弹性地支承的一个端部和中心部;驱动单元,其配置在所述主基板的接收部的一侧,并且通过施加至所述质量体的一个端部的两侧的电压产生驱动扭矩,从而相对于所述主基板移动所述质量体的位置;以及调谐部,其包括相对于所述第二弹性构件对称设置的一对调谐单元,所述一对调谐单元对应于所述质量体的中心部的两侧,分别配置在所述接收部,并且所述调谐部具有梁构件,所述梁构件通过每个调谐单元的致动操作来改变所述第二弹性构件的长度,从而控制频率。
【技术特征摘要】
2015.12.11 KR 10-2015-01774651.一种MEMS谐振器,包括:主基板,其在所述主基板的中心形成接收部;质量体,其位于所述主基板的接收部的中心,并且具有在所述主基板的两侧、通过第一弹性构件和第二弹性构件弹性地支承的一个端部和中心部;驱动单元,其配置在所述主基板的接收部的一侧,并且通过施加至所述质量体的一个端部的两侧的电压产生驱动扭矩,从而相对于所述主基板移动所述质量体的位置;以及调谐部,其包括相对于所述第二弹性构件对称设置的一对调谐单元,所述一对调谐单元对应于所述质量体的中心部的两侧,分别配置在所述接收部,并且所述调谐部具有梁构件,所述梁构件通过每个调谐单元的致动操作来改变所述第二弹性构件的长度,从而控制频率。2.根据权利要求1所述的MEMS谐振器,其中所述调谐单元包括:辅助基板,其对应于所述质量体的中心部,配置在所述主基板的接收部的内部;第一致动器,其配置在所述辅助基板和所述主基板之间的所述接收部中,并且根据施加电压驱动相对于位于所述接收部的中心的片梭位于两侧的每个接触端,从而控制所述片梭的移动;第二致动器,其在所述第二弹性构件的相反侧位于所述第一致动器的后部,并且配置有多个加热线上的驱动梁,所述加热线通过施加电压进行伸展从而作用在所述片梭的后端;以及梁构件,其设置成使其能够与在所述辅助基板和所述主基板之间的接收部内部的...
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