【技术实现步骤摘要】
叉指换能器的多层金属电极结构
本技术涉及声表面波器件,具体涉及一种叉指换能器的多层金属电极结构。
技术介绍
在过去的几十年里,声表面波器件得到了迅速的发展。在通讯,传感等领域得到了广泛的应用。随着应用范围的不断扩展。人们对于高功率耐受性声表面波器件的渴望越来越强烈。在SAW器件制作过程中,电信号和声信号的转换由叉指换能器来承担。铝具有很高的电导率,声阻抗小,易加工。被广泛采用作叉指换能器的材料,使器件具有较小的插入损耗,高的矩形度,高Q值。图1是现有技术的示意图。如图1所示,现有方案为在胆酸锂或铌酸锂上蒸发沉积Ti,接着直接蒸发Al。现有的铝电极材料都是采用电子束蒸镀的方式沉积。铝的自扩散系数高,高频重复应力会使得铝原子沿着晶界迁移,引起铝膜形成空洞和小丘导致器件失效。各种合金和过渡层已经被用来提高器件的抗电迁移性能和功率耐受性。但是合金膜工艺复杂,器件功率耐受性还不够高。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术公开了一种叉指换能器的多层金属电极结构。本技术的技术方案如下:一种叉指换能器的多层金属电极结构,包括压片基底;所述压片基地之上固定有多个电极;相邻电极之间的距离为固定值;所述电极包括由下至上的第一层、第二层和第三层;所述第一层的材料为Ti,厚度为0~10nm;所述第二层材料为Ni,厚度为0~10nm;所述第三层的材料为Al,厚度为90~150nm。本技术的有益技术效果是:本本技术提供了一种抗应力迁移、低电阻的高频声表面波器件多层金属电极结构,能显著增加器件的功率耐受性,器件损耗显著降低。附图说明图1是现有技术的示意图。图2是本技术的结构示意图。具体实施方 ...
【技术保护点】
一种叉指换能器的多层金属电极结构,其特征在于,包括压片基底(1);所述压片基地之上固定有多个电极;相邻电极之间的距离为固定值;所述电极包括由下至上的第一层(2)、第二层(3)和第三层(4);所述第一层(2)的材料为Ti,厚度为0~10nm;所述第二层(3)材料为Ni,厚度为0~10nm;所述第三层(4)的材料为Al,厚度为90~150nm。
【技术特征摘要】
1.一种叉指换能器的多层金属电极结构,其特征在于,包括压片基底(1);所述压片基地之上固定有多个电极;相邻电极之间的距离为固定值;所述电极包括由下至上的第一层(2)、第二层...
【专利技术属性】
技术研发人员:陆增天,李起,毛宏庆,王绍安,吴庄飞,李壮,
申请(专利权)人:无锡市好达电子有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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