一种减小蒸镀掩膜板变形的方法技术
【技术实现步骤摘要】
一种减小蒸镀掩膜板变形的方法
：本专利技术涉及一种减小蒸镀掩膜板变形的方法。
技术介绍
：目前蒸镀用掩膜板由于自身重力的原因，水平放置时会因为重力的作用发生下垂，随着掩膜板尺寸越大，下垂的情况越严重，从而严重影响蒸镀精度，导致大量产品不良。
技术实现思路
：本专利技术提供一种减小蒸镀掩膜板变形的方法，其能够克服现有蒸镀用掩膜板由于自身重力的原因，水平放置时会因为重力的作用发生下垂的缺陷。本专利技术采用如下技术方案：一种减小蒸镀掩膜板变形的方法，包括如下步骤：步骤一：将基板、与基板紧贴于一起且位于基板下方的蒸镀掩膜板、以及磁铁设置于腔室中，其中磁铁放置于腔室底部，基板和蒸镀掩膜板放置于磁铁的上方且与磁铁相间隔开；步骤二：将蒸镀掩膜板底部的磁性和磁铁顶部的磁极设置为相同的磁极；步骤三：根据磁极之间同性相斥，磁铁对蒸镀掩膜板整体有个向上的无形抬力来对冲重力对蒸镀掩膜板的引力，从而极大的较少蒸镀掩膜板因重力导致的变形。本还专利技术采用如下技术方案：一种减小蒸镀掩膜板变形的方法，包括如下步骤：步骤一：将基板、与基板紧贴于一起且位于基板下方的蒸镀掩膜板、以及磁铁设置于腔室中，其中磁铁放置于腔室顶部，基板和蒸镀掩膜板放置于磁铁的下方且与磁铁相间隔开；步骤二：将基板顶部的磁性和磁铁底部的磁极设置为相反的磁极；步骤三：根据磁极之间异性相吸，磁铁对蒸镀掩膜板整体有个向上的无形抬力来对冲重力对蒸镀掩膜板的引力，从而极大的较少蒸镀掩膜板因重力导致的变形。本专利技术具有如下有益效果：本专利技术利用磁性材料制作蒸镀掩膜板，同时在腔室底部（或顶部）安装磁性材料，利用磁性材料同极相斥、异极相...
【技术保护点】
一种减小蒸镀掩膜板变形的方法，其特征在于：包括如下步骤步骤一：将基板（1）、与基板（1）紧贴于一起且位于基板（1）下方的蒸镀掩膜板（2）、以及磁铁（3）设置于腔室中，其中磁铁（3）放置于腔室底部，基板（1）和蒸镀掩膜板（2）放置于磁铁（3）的上方且与磁铁（3）相间隔开；步骤二：将蒸镀掩膜板（2）底部的磁性和磁铁（3）顶部的磁极设置为相同的磁极；步骤三：根据磁极之间同性相斥，磁铁（3）对蒸镀掩膜板（2）整体有个向上的无形抬力来对冲重力对蒸镀掩膜板（2）的引力，从而极大的较少蒸镀掩膜板（2）因重力导致的变形。
【技术特征摘要】
1.一种减小蒸镀掩膜板变形的方法，其特征在于：包括如下步骤步骤一：将基板（1）、与基板（1）紧贴于一起且位于基板（1）下方的蒸镀掩膜板（2）、以及磁铁（3）设置于腔室中，其中磁铁（3）放置于腔室底部，基板（1）和蒸镀掩膜板（2）放置于磁铁（3）的上方且与磁铁（3）相间隔开；步骤二：将蒸镀掩膜板（2）底部的磁性和磁铁（3）顶部的磁极设置为相同的磁极；步骤三：根据磁极之间同性相斥，磁铁（3）对蒸镀掩膜板（2）整体有个向上的无形抬力来对冲重力对蒸镀掩膜板（2）的引力，从而极大的较少蒸镀掩膜板（2）因重力导致的变...
【专利技术属性】
技术研发人员：李欣，陈亮，曹顺有，
申请(专利权)人：南京攀诺德自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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