一种用于低压扩散的密封装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于低压扩散的密封装置，包括石英管1、石英炉门5及密封圈3；所述的石英管管口位置外层设有一圈隔热材料层（2）；所述的石英炉门（5）由两部分构成，即与石英管（1）管径相匹配的内圆柱（4），以及炉盖（6）；所述的炉门与石英管闭合时，密封圈与隔热层相接触，不直接与高温炉管相接触。本实用新型专利技术的有益效果是使密封圈不与高温炉管直接接触，而与隔热材料层相接触，并且通过内圆柱隔热层隔离炉门口的热量，使炉口位置温度降低，从而密封圈可以在正常的温度范围内使用，减少了密封圈的老化和损坏，同时也可以达到了良好的密封效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于低压扩散的密封装置
本技术涉及晶硅太阳能制造领域，具体地涉及一种用于低压扩散的密封装置。
技术介绍
目前，产业化生产的晶硅太阳能电池片的制备工艺流程一般情况下依次为：清洗制绒、扩散制结、刻蚀、PECVD镀膜、丝网印刷、烧结和分类检测。其中，扩散制结是最关键的工序之一。扩散的不均匀性会直接影响电池片电性能参数的正态分布，导致低效电池片比例升高，特别是高方阻的电池片，扩散不均匀性对电池片性能的影响将更加明显。扩散后方阻均匀性好将有利于后续工艺的相互匹配，使得电池片的整体电性能更加稳定。而通过实验表明，扩散炉内的压强越低，炉管内湍流现象产生减少，管内气氛均匀性增加，有利于提高扩散方阻的均匀性。而传统的常压扩散对管内压强没有要求，密封性较差，而低压扩散需要真空泵持续抽真空，所以对密封性的要求大大提升，如果密封不良，一方面无法形成低压扩散所需要的低压环境；另一方面，在外部大气压力作用下，反应管外气体、杂质等可进入反应管中，影响PN结制备的质量。又由于扩散的特殊性，即高温低压，所以采用传统的加密封圈实现密封时，密封圈直接跟炉管接触很容易因温度过高而老化甚至损坏，导致密封失效。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于低压扩散的密封装置，达到低压高温环境下可以有效的实现密封效果。本技术采用的技术解决方案是：提供一种用于低压扩散的密封装置，包括石英管（1）、石英炉门（5）及密封圈（3）；所述的石英管管口位置外层设有一圈隔热材料层（2）；所述的隔热层的厚度为5-10cm，宽度为10-50cm，并高于石英管口5-10cm；所述石英炉门由两部分构成，即比石英管管径小1-5cm的内圆柱（4）以及比隔热层2大5-20cm的炉盖（6）；所述炉门与石英管闭合时，隔热层与炉盖相连处有密封圈；所述的内圆柱（4）为隔热材料。本技术的有益效果是使密封圈不与高温炉管直接接触，而与隔热材料层相接触，并且通过内圆柱隔热层隔离炉门口的热量，使炉口位置温度降低，从而密封圈可以在正常的温度范围内使用，减少了密封圈的老化和损坏，同时也可以达到了良好的密封效果。附图说明图1本技术中密封装置的结构示意图图中：1表示石英管；2表示隔热材料层；3表示密封圈；4表示内圆柱；5表示石英炉门；6表示炉盖。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。在本实施例中，一种用于低压扩散的密封装置包括：石英管（1）、石英炉门（5）及密封圈（3）；所述的石英管（1）管口位置外层焊接一圈隔热材料；所述的隔热层（2）的厚度为10cm，宽度为30cm，并超过石英管口10cm；所述石英炉门（3）由两部分构成，即与石英管管径相匹配的内圆柱（4），以及比隔热层略大的金属炉盖（5），两部分焊接在一起；所述炉门与石英管闭合时，隔热层与炉盖相连处有密封圈（6）；所述的内圆柱（4）为隔热材料。最后所应说明的是，以上实施例仅用于说明本技术的技术方案而非限制，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本技术的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本技术技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本技术的权利要求范围中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于低压扩散的密封装置，包括石英管（1）、石英炉门（5）及密封圈（3），其特征在于：所述的石英管管口位置外层设有一圈隔热材料层（2）；所述的石英炉门（5）由两部分构成，即与石英管（1）管径相匹配的内圆柱（4），以及炉盖（6）；所述的炉门与石英管闭合时，密封圈与隔热层相接触，不直接与高温炉管相接触。

【技术特征摘要】
1.一种用于低压扩散的密封装置，包括石英管（1）、石英炉门（5）及密封圈（3），其特征在于：所述的石英管管口位置外层设有一圈隔热材料层（2）；所述的石英炉门（5）由两部分构成，即与石英管（1）管径相匹配的内圆柱（4），以及炉盖（6）；所述的炉门与石英管闭合时，密封圈与隔热层相接触，不直接与高温炉管相接触。2.根据权利要求1所述的一种用于低压...

【专利技术属性】
技术研发人员：周军勇，周喜明，王庆钱，
申请(专利权)人：浙江鸿禧能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33