The invention provides a 2 inch, 4 inch sapphire substrate defect repair processing method, wafer waxing machine will first choose the patch are affixed substrate in a ceramic plate, the ceramic plate into a homemade wandering star wheel, grinding through the double-sided grinding equipment, the grinding fluid allocation ratio of silicon carbide abrasive powder suspension solution: Deionized water =1Kg:0.1L:1L~5L, the suspension for the quality of sodium nitrite and triethanolamine is the ratio of the mixed solution of 1:9, grinding equipment lower speed is set to 20 rpm, the hanging wall is set to 15 rpm, grinding fluid flow is set to 300mL/ minutes, the pressure weight of ceramic disc is 5.7KG processing time for 10 minutes; the substrate after polishing by degumming, cleaning, annealing, polishing; the sapphire substrate after the repair, the quality indicators have reached the industry standard, quality Standards meet customer needs, no scrap treatment, good quality rate has been significantly improved, greatly reducing costs.
【技术实现步骤摘要】
一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法
本专利技术涉及晶体加工
,具体涉及一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法。
技术介绍
蓝宝石晶体具有优良的光学性能、物理性能和稳定的化学性能,广泛应用于高亮度LED衬底材料、各种光学元器件等领域。蓝宝石晶体具有以下几个优良特征:1.高光学透射率,蓝宝石晶体有很好的透光性能,其透光范围为0.15~7.5微米,覆盖了紫外、可见、近红外、中红外等波段;2.高耐磨性,膨胀系数仅为5X10-6/度,熔点为2050°C,工作温度可达1900°C,具有优秀的耐热冲击和耐高温性能;3.很好的机械性能,其硬度可达莫氏9级,同时还有很好的抗压强度、压缩强度和弯曲强度,同时具有抗电磁干扰、电磁兼容性能,抗辐射性能、电绝缘性能。随着蓝宝石应用领域的发展,对2吋、4吋蓝宝石衬底的市场需求越来越多,其产品质量、成本要求也越来越高。通常在加工过程中,蓝宝石衬底产生背面缺陷的产品占整个不良率的3%,产生背面缺陷的产品无法满足客户要求只能做报废处理,大幅增加了加工成本。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法,对背面缺陷的产品进行修复,提供良品率、降低加工成本。本专利技术通过以下技术方案实现的:一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法,其特征在于,包括以下工艺步骤:(1)贴片:选用晶片贴片上蜡机,将衬底正面粘贴在陶瓷盘上,然后将表面残留胶擦拭干净;(2)制备研磨液:采用碳化硅研磨粉、悬浮剂与去离子水混合制备研磨液,配置比例为碳化硅研磨粉:悬浮液:去离子水=1Kg:0.1L:1L~5L,搅拌速 ...
【技术保护点】
一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法,其特征在于,包括以下工艺步骤:(1)贴片:选用晶片贴片上蜡机,将衬底正面粘贴在陶瓷盘上,然后将表面残留胶擦拭干净;(2)制备研磨液:采用碳化硅研磨粉、悬浮剂与去离子水混合制备研磨液,配置比例为碳化硅研磨粉:悬浮液:去离子水=1Kg:0.1L:1L~5L,搅拌速度为600转/分钟,研磨时间至少为10分钟使研磨液均匀分布;(3)装配载具:将陶瓷盘放入载具,即自制的游星轮中,使陶瓷盘能够自转,陶瓷盘与游星轮同时放入双面研磨设备的下盘上,均匀分布摆置;(4)研磨:双面研磨设备的下盘速度设定为20转/分钟,上盘设定为15转/分钟,确保上盘悬空于陶瓷盘上,不得接触陶瓷盘表面,研磨液流量设定为300mL/分钟,压力为陶瓷盘的自重即为5.7KG,加工时间为10分钟;(5)将研磨后的衬底进行脱胶、清洗、退火、抛光即得蓝宝石衬底成品。
【技术特征摘要】
1.一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法,其特征在于,包括以下工艺步骤:(1)贴片:选用晶片贴片上蜡机,将衬底正面粘贴在陶瓷盘上,然后将表面残留胶擦拭干净;(2)制备研磨液:采用碳化硅研磨粉、悬浮剂与去离子水混合制备研磨液,配置比例为碳化硅研磨粉:悬浮液:去离子水=1Kg:0.1L:1L~5L,搅拌速度为600转/分钟,研磨时间至少为10分钟使研磨液均匀分布;(3)装配载具:将陶瓷盘放入载具,即自制的游星轮中,使陶瓷盘能够自转,陶瓷盘与游星轮同时放入双面研磨设备的下盘上,均匀分布摆置;(4)研磨:双面研磨设备的下盘速度设定为20转/分钟,上盘设定为15转/分钟,确保上盘悬空于陶瓷盘上,不得接触陶瓷盘表面,研磨液流量设定为300mL/分钟,压力为陶瓷盘的自重即为5.7KG,加工时间为10分钟;(5)将研磨后的衬底进行脱胶、清洗、退火、抛光即得蓝宝石衬底成品。2.根据权利要求1所述的一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法,其特征在于,所述碳化硅研磨粉的型号为320#。3.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡孔林,吕讯,
申请(专利权)人:江苏吉星新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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