The invention provides a renewable folding filter medium. One kind of heat resistant filter element renewable clean room environment is disclosed, including folding filter media and frame, the folded filter medium is not releasing heat according to the folding filter medium ISO 14644 renewable 1 standard is higher than that of ISO 6 environmental particles, the folded filter medium with up to at least a temperature of 190 DEG C for anti melting or anti combustion, the folded filter medium includes at least first adsorbent layer and two layer, second heat resistant grid, the filter element comprises a temperature resistant sealant.
【技术实现步骤摘要】
可再生折叠过滤介质本申请是中国专利申请No.201080016341.8的分案申请,该母案的申请日是2010年3月2日,专利技术名称为“可再生折叠过滤介质”。
本专利技术涉及可再生折叠过滤介质。
技术介绍
在涉及洁净室和微电子工业的领域中,通过分子过滤器和过滤器元件来实现对于酸、碱、可凝结物、掺杂剂、氧化剂和挥发性有机化合物(VOC)形式的空传(airborne)分子污染物(AMC)的移除。AMC可导致工艺晶片、电路板、工具、设备等的腐蚀。AMC还可导致掺杂错误、成核错误、光刻工艺相关缺陷,晶片、光学器件、透镜的起雾以及可导致生产中的产率损失或生产设备受损的许多其它问题。可选择使用多种过滤技术,但是它们通常可被分为5种构造。吸附剂粉末浆料涂布的非织造织物是廉价的并具有低压降,但是由于吸附剂存在量少以及大部分吸附剂被粘合剂覆盖而导致其吸附性能差。该类型通常并不适合洁净室应用。块状吸附剂堆积床和板可能是最公知的并且可得到宽范围的性价比组合。它们通常是大且重的系统,进行改变需要大量劳力,但是对于具有相对高的污染水平或在必须长时间维持高过滤效率时的应用特别有效。但是,性能可随过滤器的制造和安装方式而大幅度变化。除尘、旁路和高压降也可能是此类型过滤器的关注点。完全由碳纤维制成的织物:碳纤维过滤器的一个主要缺点在于,它们过脏以致于无法在没有针对这些纤维所脱落的颗粒的下游过滤器时用于先进洁净室环境。碳是导电材料并且在生产电子组件的设施中碳的脱落会导致严重的问题。蜂窝过滤器是在保持低压降的同时达到相对高效率的另一类型,但是由于吸附剂的存在量少导致大部分时间的吸附性能差。除 ...
【技术保护点】
一种用于洁净室环境的耐热可再生过滤元件,包括折叠过滤介质和框架,其特征在于‑所述折叠过滤介质是不会释放出根据ISO 14644‑1标准的高于ISO 6类环境的颗粒的耐热可再生折叠过滤介质,所述折叠过滤介质具有在高达至少190℃的温度下的抗熔融性或抗燃烧性,和‑所述折叠过滤介质包括○至少吸附剂第一层,所述吸附剂第一层为活性炭或聚合物的吸附剂第一层,其中,■所述活性炭或聚合物与●耐热双组分纤维,或●耐热纤维和粘合剂一起包封在○两个第二耐热层之间,所述第二耐热层为耐热非织造织物的第二耐热层,○耐热栅格设置在任意一个所述第二层的至少一侧上或引入所述第一层中以防止所述折叠过滤介质在通过1个大气压下125℃以上的加热空气流进行再生时发生变形;以及‑所述过滤元件包括耐温密封剂,所述密封剂为耐热粘合剂以确保介质避免旁路泄漏并在再生循环期间抵抗材料应力。
【技术特征摘要】
2009.03.02 SE 0950106-5;2009.03.02 US 61/156,5501.一种用于洁净室环境的耐热可再生过滤元件,包括折叠过滤介质和框架,其特征在于-所述折叠过滤介质是不会释放出根据ISO14644-1标准的高于ISO6类环境的颗粒的耐热可再生折叠过滤介质,所述折叠过滤介质具有在高达至少190℃的温度下的抗熔融性或抗燃烧性,和-所述折叠过滤介质包括○至少吸附剂第一层,所述吸附剂第一层为活性炭或聚合物的吸附剂第一层,其中,■所述活性炭或聚合物与●耐热双组分纤维,或●耐热纤维和粘合剂一起包封在○两个第二耐热层之间,所述第二耐热层为耐热非织造织物的第二耐热层,○耐热栅格设置在任意一个所述第二层的至少一侧上或引入所述第一层中以防止所述折叠过滤介质在通过1个大气压下125℃以上的加热空气流进行再生时发生变形;以及-所述过滤元件包括耐温密封剂,所述密封剂为耐热粘合剂以确保介质避免旁路泄漏并在再生循环期间抵抗材料应力。2.根据权利要求1所述的过滤元件,其中,在所述过滤介质内的不同层中选择并使用至少两种不同的吸附剂以与待移除的挥发性有机化合物的预期混合物相匹配。3.根据权利要求2所述的过滤元件,其中,所述过滤介质的层为非织造织物层/第一吸附剂、和纤维/第二吸附剂、和纤维/第三吸附剂、和纤维/非织造织物层的组合;或非织造织物层/第一吸附剂、第二吸附剂、第三吸附剂、和纤维/非织造织物层的组合;或非织造织物层/第一吸附剂、和纤维/非织造织物层/第二...
【专利技术属性】
技术研发人员:克里斯蒂安·林达尔,纪尧姆·加莱,米卡埃尔·福斯隆德,
申请(专利权)人:康斐尔有限公司,
类型:发明
国别省市:瑞典,SE
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