基板固定装置、基板作业装置以及基板固定方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板固定装置、基板作业装置以及基板固定方法，在作业位置对由一对搬运部件从下方支撑并沿搬运路径进行搬运的膜状基板进行支撑固定时，可良好地矫正基板的外周部的翘曲。具备使背撑部件（41）和基板按压部件（431、432）中的至少一方升降的升降驱动部，升降驱动部使背撑部件（41）上升及/或使基板按压部件（431、432）与一对输送机（225、226）一起下降，从而由背撑部件（41）从下方支撑基板（FB）并使基板（FB）从一对输送机（225、226）向上方离开，并且由基板按压部件（431、432）向下方按压基板（FB）的外周部表面。

【技术实现步骤摘要】
基板固定装置、基板作业装置以及基板固定方法
本专利技术涉及一种在作业位置由背撑部件支撑固定膜状的基板的基板固定技术以及利用该基板固定技术对固定于作业位置的基板进行元件安装、检查、涂敷液涂敷、膏印刷等基板作业的基板作业装置。
技术介绍
柔性基板等膜状的基板（以下简称为“基板”）比较薄、容易发生翘曲变形。因此，提出了多个在对基板进行元件安装等作业的位置即作业位置上矫正基板的翘曲的技术。例如，在日本特开2004－296632号公报所记载的专利技术中，在托承部件的托承面上载置有基板后，按压部件下降，从上方以面状压入该基板而使其压靠于托承面上。由此，矫正基板的翘曲变形。并且，在该状态下真空吸引单元工作，从而将基板真空吸附固定于托承面上。但是，日本特开2004－296632号公报所记载的专利技术是在基板的元件搭载部位上安装元件的装置，目的在于防止该元件搭载部位上的基板的翘曲。即，按压部件具有全面地覆盖基板的元件搭载部位的范围的大小的按压面，仅压入基板表面中的元件搭载部位而进行翘曲矫正，并且由与真空吸引单元连接的吸附槽吸附基板。之后，使按压部件从基板退避而进行元件安装。因此，即使向基板表面按压基板按压部件而矫正了翘曲，当使基板按压部件从基板表面退避时，在基板的外周部发生翘曲，而且由于该翘曲而使基板周边附近的吸引力降低，使翘曲进一步扩大。即，对于元件搭载部位的周边区域即基板的外周部处的翘曲完全没有考虑。因此，在基准标记位于构成从下表面进行抵接的吸附槽的外侧的基板周边部分的基板上表面的情况下，由于该部分的翘曲而有时无法进行准确的识别，无法准确地检测基板位置、基板的方向，在安装机中无法在准确的位置上进行元件搭载。另外，在将日本特开2004－296632号公报所记载的基板固定装置搭载于印刷机、基板检查机的情况下，可认为在印刷机中无法在准确的位置进行印刷，在基板检查机中无法进行准确的基板检查。特别是，在将一对输送机等搬运部件沿基板的宽度方向分离配置而对基板的宽度方向的下表面端部分别进行支撑并向作业位置搬运的基板作业装置中，基板的外周部处的翘曲变形存在变大的倾向，在识别基准标记时对此进行矫正成为较大的技术课题。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述课题而作出，其目的在于提供如下一种技术以及利用该技术进行基板作业的基板作业装置：对由一对搬运部件从下方进行支撑并沿搬运路径进行搬运的膜状的基板，在作业位置处进行支撑并吸引固定时，可良好地矫正基板的外周部的翘曲。本专利技术所涉及的基板固定装置中，对由彼此分离配置的一对搬运部件从下方支撑并沿搬运路径进行搬运的膜状的基板，在搬运路径的途中的作业位置进行支撑并固定，该基板固定装置的特征在于，具备：背撑部件，从上方俯视观察时，位于一对搬运部件之间，并且位于被搬运到所述作业位置的基板的下方；基板按压部件，位于被搬运到作业位置的基板的外周部表面的上方；以及升降驱动部，使背撑部件以及基板按压部件中的至少一方升降，升降驱动部使背撑部件上升及/或使基板按压部件与一对搬运部件一起下降，从而由背撑部件从下方支撑基板并使基板从一对搬运部件向上方离开，并且由基板按压部件向下方按压基板的外周部表面而矫正基板的外周部的翘曲。另外，本专利技术所涉及的基板作业装置的特征在于，具备：基板搬运部，由彼此分离配置的一对搬运部件从下方支撑并沿搬运路径搬运膜状的基板；基板固定部，具有与上述基板固定装置相同的结构，对由基板搬运部搬运到搬运路径的途中的作业位置的基板进行支撑固定；以及基板作业部，对由基板固定部固定的基板的表面中的、除由基板按压部件按压的区域以外的表面区域实施规定的作业。而且，本专利技术所涉及的基板固定方法中，对由彼此分离配置的一对搬运部件从下方支撑并沿搬运路径搬运的膜状的基板，在搬运路径的途中的作业位置进行支撑并固定，该基板固定方法的特征在于，具备如下工序：支撑工序，代替一对搬运部件，在基板从上述一对搬运部件向上方离开的状态下，由在作业位置处从上方俯视观察时位于一对搬运部件之间的背撑部件从下方支撑被搬运到作业位置的基板；以及矫正工序，由基板按压部件向下方按压由背撑部件支撑的基板的外周部表面而矫正基板的外周部的翘曲。附图说明图1是表示具备作为本专利技术的基板固定装置的第一实施方式的基板固定部的基板作业装置的概略结构的俯视图。图2是表示基板作业装置中的基板搬运部和基板固定部的结构的局部立体图。图3A、图3B以及图3C是示意性地表示基板固定部的动作的图。图4A、图4B以及图4C是表示本专利技术的基板固定装置的第二实施方式的图。图5是表示具备作为本专利技术的基板固定装置的第三实施方式的基板固定部的基板作业装置的图。图6A、图6B、图6C以及图6D是示意性地表示第三实施方式的基板固定部的动作的图。附图标记说明1：表面安装机（基板作业装置）2：基板搬运部4：基板固定部6：头单元（基板作业部）22：主搬运机构41：背撑部件221、222：输送机框（搬运框）225、226：输送机（搬运部件）431～434：基板按压部件441、442：缓冲部件471、472：可动部件CL：空隙CY：缸（升降驱动部）FB：基板P2：作业位置TP：搬运路径X：搬运方向具体实施方式图1是表示具备作为本专利技术的基板固定装置的第一实施方式的基板固定部的基板作业装置的概略结构的俯视图。另外，图2是表示基板作业装置中的基板搬运部和基板固定部的结构的局部立体图。而且，图3A、图3B以及图3C是示意性地表示基板固定部的动作的图。另外，这些附图和之后说明的各图中，为了明确各图的方向关系，示出了XYZ直角坐标轴。图1所示的基板作业装置是在膜状的基板FB上安装元件的表面安装机1。表面安装机1中，在基台1上配置有基板搬运部2，能够沿搬运方向X搬运基板FB。本实施方式的基板搬运部2中，从搬运方向X的上游侧（图1、图2的左手侧）朝向下游侧（图1、图2的右手侧）一列地配置搬入机构21、主搬运机构22以及搬出机构23，能够将基板FB从图1和图2的左手侧向右手侧沿搬运路径TP搬运。在这些搬入机构21、主搬运机构22以及搬出机构23的各个机构上连接有驱动马达（省略图示），由控制表面安装机1整体的控制器3进行驱动控制。由此，如图2所示，在搬入机构21的基板停止位置P1处于停止的基板FB朝向作业位置P2沿搬运路径TP被搬运。该作业位置P2上设有基板固定部4，支撑固定被搬运来的基板FB。并且，收容于元件收容部5中的元件由头单元6安装于上述基板FB上。当对基板FB的元件安装完成时，解除基板固定部4对基板FB的固定，由主搬运机构22和搬出机构23搬出元件安装后的基板FB。另外，在本说明书中，以基板FB的前端位置作为基准确定了基板FB的位置。另外，关于基板搬运部2和基板固定部4的结构和动作在后面详述。在基板搬运部2的Y轴方向的两侧配置有上述的元件收容部5，在这些元件收容部5能够安装一个或多个带式供料器51。另外，在元件收容部5中，与各带式供料器51对应地配置有带盘（省略图示），该带盘卷绕有以一定间距收纳保持有电子元件的料带，能够由各带式供料器51供给电子元件。头单元6能够遍及基台11的规定范围在基台11上方沿X轴方向和Y轴方向移动。另外，在本实施方式中，在头单元6中，沿X轴方向（基板搬运部2搬运基板FB的搬运方向）等间隔呈列状地配置八本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板固定装置，对由彼此分离配置的一对搬运部件从下方支撑并沿搬运路径进行搬运的膜状的基板，在所述搬运路径的途中的作业位置进行支撑并固定，所述基板固定装置的特征在于，具备：背撑部件，从上方俯视观察时，位于所述一对搬运部件之间，并且位于被搬运到所述作业位置的基板的下方；基板按压部件，位于被搬运到所述作业位置的基板的外周部表面的上方；升降驱动部，使所述背撑部件以及所述基板按压部件中的至少一方升降；以及支撑所述一对搬运部件中的一方的第一搬运框和支撑所述一对搬运部件中的另一方的第二搬运框，作为所述基板按压部件，具有与所述搬运路径平行地分别延伸设置的第一基板按压部件和第二基板按压部件，所述第一基板按压部件以向上方离开所述一对搬运部件中的一方的状态安装于所述第一搬运框上，并且所述第二基板按压部件以向上方离开所述一对搬运部件中的另一方的状态安装于所述第二搬运框上，所述升降驱动部使所述背撑部件上升及/或使所述基板按压部件与所述一对搬运部件一起下降，从而在由所述背撑部件从下方支撑所述基板并使所述基板从所述一对搬运部件向上方离开的状态下由所述第一基板按压部件和所述第二基板按压部件向下方按压所述背撑部件支撑范围以外的所述基板的外周部表面而矫正所述基板的外周部的翘曲。...

【技术特征摘要】
2013.02.06 JP 2013-0213071.一种基板固定装置，对由彼此分离配置的一对搬运部件从下方支撑并沿搬运路径进行搬运的膜状的基板，在所述搬运路径的途中的作业位置进行支撑并固定，所述基板固定装置的特征在于，具备：背撑部件，从上方俯视观察时，位于所述一对搬运部件之间，并且位于被搬运到所述作业位置的基板的下方；基板按压部件，位于被搬运到所述作业位置的基板的外周部表面的上方；升降驱动部，使所述背撑部件以及所述基板按压部件中的至少一方升降；以及支撑所述一对搬运部件中的一方的第一搬运框和支撑所述一对搬运部件中的另一方的第二搬运框，作为所述基板按压部件，具有与所述搬运路径平行地分别延伸设置的第一基板按压部件和第二基板按压部件，所述第一基板按压部件以向上方离开所述一对搬运部件中的一方的状态安装于所述第一搬运框上，并且所述第二基板按压部件以向上方离开所述一对搬运部件中的另一方的状态安装于所述第二搬运框上，所述升降驱动部使所述背撑部件上升及/或使所述基板按压部件与所述一对搬运部件一起下降，从而在由所述背撑部件从下方支撑所述基板并使所述基板从所述一对搬运部件向上方离开的状态下由所述第一基板按压部件和所述第二基板按压部件向下方按压所述背撑部件支撑范围以外的所述基板的外周部表面而矫正所述基板的外周部的翘曲。2.根据权利要求1所述的基板固定装置，其中，所述背撑部件在上表面具有吸引孔，由所述上表面支撑并吸附固定被搬运到所述作业位置的基板的下表面。3.根据权利要求1或2所述的基板固定装置，其中，所述升降驱动部在所述背撑部件的外侧使所述基板按压部件与所述一对搬运部件一起升降。4.根据权利要求1或2所述的基板固定装置，其中，所述第一基板按压部件在从所述一对搬运部件中的一方向上方离开了比所述基板的厚度与翘曲量相加所得的值大的距离的状态下安装于第一搬运框上，所述第二基板按压部件在从所述一对搬运部件中的另一方向上方离开了比所述基板的厚度与翘曲量相加所得的值大的距离的状态下安装于第二搬运框上。5.根据权利要求1所述的基板固定装置，其中，所述第一基板按压部件经由第一缓冲部件安装于所述第一搬运框上，所述第二基板按压部件经由第二缓冲部件安装于所述第二搬运框上。6.根据权利要求1所述的基板固定装置，其中，所述基板固定装置具备：第一可动部件，被支撑为在搬运所述基板的搬运方向上的所述背撑部件的上游侧相对于所述第一搬运框和所述第二搬运框移动自如；第二可动部件，被支撑为在所述搬运方向上的所述背撑部件的下游侧相对于所述第一搬运框和所述第二搬运框移动自如；以及切换驱动部，使所述第一可动部件和所述第二可动部件移动而切换所...

【专利技术属性】
技术研发人员：岸本洋平，
申请(专利权)人：雅马哈发动机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP