用于收纳基板的容器制造技术

一种用于收纳基板的容器，包含一界定一容室的外壳，及一支撑单元。该支撑单元包括多个位于该容室内的承托架，每一承托架具有一弯弧形的架体，及至少一连接于该架体的抵撑结构。该架体具有两彼此间隔相对的臂部，及一连接于所述臂部之间的弯弧部，且所述臂部与该外壳连接。该抵撑结构设于该弯弧部且偏靠于外侧缘处，所述承托架的架体在一上下方向相间隔地排列，且借由所述抵撑结构支撑相邻的架体以使相邻的所述架体的弯弧部保持固定间隔。

【技术实现步骤摘要】
用于收纳基板的容器
本技术涉及一种容器，特别是涉及一种用于收纳基板的容器。
技术介绍
一般用于制造集成电路的基板，即晶圆，在储存、运送或不同制程间的传送过程中需要较佳的保护，以避免微粒污染或受损破裂。通常用以容置基板的容器可以同时收纳多个基板，而在容器内需设有层状间隔的支撑结构，以将所述基板间隔开而避免基板相碰撞；并且让自动化的取/放片设备容易将基板由容器中取出，或将处理过的基板放入容器中。常见的支撑结构，例如固定设置于容器壳体的内壁面的多个肋片以支撑基板。但是这样的结构设计存在许多应用上的限制，例如在烘烤时，由于热空气只能经由单一的门体开口进行对流，因此会使得容器内的基板不易受到均匀加热，除可能因此造成烘烤效果不佳之外，严重时甚至可能造成基板因不同位置热膨胀程度不同而破裂。而若是在容器原本门体开口之外的位置，如容器的后壁面，增设可改善对流效果的门/窗机构，则又会因而使得该处的肋片失去支撑而容易产生变形或震动，并造成其所支撑的基板也因支撑不平均或不稳固而变形甚或破裂。同时，现有容器的支撑结构中的肋片造型多呈U形，因此仅能对基板靠近容器后壁及侧壁的后半部周缘提供支撑，而无法对基板中央及前半部周缘提供支撑，因而使得基板中央及前半部会受到重力的作用而产生下垂变形。且此一问题还会随着基板尺寸/直径的增加或是基板厚度的薄化而加剧，严重时甚至会造成自动取放片装置在伸入容器进行取片时擦撞到基板下垂变形的部份而导致基板受到损伤甚至破裂。此外，现有容器的支撑结构中的肋片多为固定式的结构设计，使得设计及制造时必须要针对各种不同容量的容器分别设计、制作模具；而当容器成品中部分肋片损坏时，或是有更新、更好或可满足不同需求的设计时，又无法个别更换，只能重新设计及制造整个容器，因而提高了制造的成本及库存的需求。由于容器的结构设计需考虑包括上述例子在内的各种问题及需求，故针对现有的容器结构仍有改善的空间。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种具有可相堆栈的多个承托架且相邻承托架的架体间可由抵撑结构支撑的容器。本技术的用于收纳基板的容器在一些实施态样中，包含一界定一容室的外壳，及一支撑单元。该支撑单元包括多个位于该容室内的承托架，每一个承托架具有一弯弧形的架体，及至少一连接于该架体的抵撑结构。该架体具有两彼此间隔相对的臂部，及一连接于所述臂部之间的弯弧部，且所述臂部与该外壳连接。该抵撑结构设于该弯弧部且偏靠于外侧缘处，所述承托架的所述架体在一上下方向相间隔地排列，且借由所述抵撑结构支撑相邻的所述架体以使相邻的所述架体的所述弯弧部保持固定间隔。在一些实施态样中，每两相邻的所述承托架的所述抵撑结构在该上下方向相抵接。在一些实施态样中，该抵撑结构具有一连接于该弯弧部处的外侧缘的支撑部，每两相邻的所述承托架的所述支撑部在该上下方向相抵接。在一些实施态样中，该抵撑结构还具有一限位部，该限位部与该支撑部在该上下方向分别凸出该弯弧部相反两侧，且上下相错位，而使每两相邻的所述承托架其中一者的该限位部与其中另一者的该支撑部在朝向该弯弧部曲率中心的方向上相抵靠。在一些实施态样中，该限位部具有一卡槽，该支撑部具有一卡块，每两相邻的所述承托架其中一者的该支撑部的该卡块卡置于其中另一者的该限位部的该卡槽。在一些实施态样中，每一个支撑部还具有两个彼此间隔连接于该弯弧部的连接臂，及一连接于所述连接臂底端的连接梁，且该卡块朝向该弯弧部处的内侧缘方向凸出于该连接梁表面。在一些实施态样中，该支撑部还具有两个分别由所述连接臂表面朝向该弯弧部处的内侧缘方向凸出的支撑柱，且该限位部在该上下方向的投影位于所述支撑柱之间，而使每两相邻的所述承托架其中一者的该限位部位于其中另一者的该支撑部的所述支撑柱之间，且所述支撑柱抵于所述相邻承托架的所述弯弧部之间。在一些实施态样中，该外壳包括一壳体及一门体，该壳体具有一底壁、一与该底壁上下相对的顶壁、两分别连接该底壁与该顶壁两侧的侧壁，及一连接该底壁、该顶壁及所述侧壁的后壁，并界定一与该后壁相对的前开口，该门体可拆卸地与该壳体相组合以封闭该前开口，且与该壳体共同界定该容室。在一些实施态样中，该后壁形成一与该前开口相对的后开口，且该外壳还包括一可拆卸地与该后壁相组合用以封闭该后开口的后盖。在一些实施态样中，该后开口形成于该后壁的中间部位且沿该上下方向延伸。在一些实施态样中，每一个承托架具有两个连接于该架体的该抵撑结构，且所述抵撑结构分别位于靠近所述侧壁与该后壁的交接处或位于靠近该后开口两侧处。在一些实施态样中，该支撑单元还包括多个分别设于所述侧壁处且在该上下方向排列的第一固定结构，且每一个承托架的该架体还具有两个分别设于所述臂部的第二固定结构，所述第二固定结构分别与所述侧壁上对应的所述第一固定结构相结合固定。在一些实施态样中，该支撑单元还包括两个设有所述第一固定结构的转接板。在一些实施态样中，所述转接板为可拆地分别固定于所述侧壁。在一些实施态样中，每一组相对应的该第一固定结构与该第二固定结构互为凹凸相配合以相互卡合或嵌合固定的结构。在一些实施态样中，每一个第一固定结构呈沿前后方向延伸的长条形凹槽状，且每一个第二固定结构呈长条形片状并连接于对应的该臂部的外侧缘并与该臂部垂直连接，以卡置于对应的该第一固定结构中。在一些实施态样中，每一个第一固定结构为一沿前后方向延伸并由该侧壁或该转接板表面向该容室方向凸伸的长条形片体，且每一个第二固定结构为一由对应的该臂部处的外侧缘往该臂部内凹设的凹槽，以容置对应的该第一固定结构。在一些实施态样中，每一个承托架的该架体呈C形且该弯弧部处的内侧缘具有单一曲率，所述臂部各具有一连接该弯弧部的延伸段及一连接该延伸段的尾段，该延伸段处的内侧缘由该弯弧部处的内侧缘弯曲延伸并具有相同曲率，该延伸段处的外侧缘由连接该弯弧部处的外侧缘直线延伸，且该尾段处的外侧缘由连接该延伸段处的外侧缘直线延伸，以对应与该外壳连接，而该尾段处的内侧缘由该延伸段处的内侧缘渐往平行外侧缘方向延伸，使得该延伸段的宽度由连接该弯弧部的一端往连接该尾段的一端渐宽，且该尾段的宽度大于等于该延伸段的最大宽度。在一些实施态样中，每一个承托架的该架体还具有至少一与该弯弧部连接且位于所述臂部之间朝向该容室中央凸伸的中间托部。在一些实施态样中，该架体具有多个中间托部时，所述中间托部靠近该容室中央的一端是相互连接。本技术至少具有以下功效：借由抵撑结构可使相堆栈的承托架的架体之间有良好支撑而不易变形，以使相邻架体的弯弧部保持固定间隔，而能提供基板更为平均而稳固的支撑，使容器中所容纳的基板不致过度变形而损坏，同时也可避免基板因过度变形而遭受自动取放片设备的擦撞而受损甚或破裂。并可增设后开口以在烘烤制程中提供良好的对流效果，但却不致因此而降低后开口附近各承托架的架体的支撑稳定性。此外，所述承托架借由两转接板与该外壳连接，且所述转接板可拆卸，能依据使用需求更换不同层数的支撑单元，以适用不同厚度或尺寸的基板，也可减少备料、库存的成本。再者，所述承托架具有相同结构，可以各自成形后，再堆栈组装，也方便制造及库存。附图说明本技术的其它的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：图1是本技术用于收纳基板的容器的一第一实施例的一立体图；图2是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于收纳基板的容器，包含：一界定一容室的外壳，及一支撑单元，其特征在于：该支撑单元包括多个位于该容室内的承托架，每一个承托架具有一弯弧形的架体，及至少一连接于该架体的抵撑结构，该架体具有两彼此间隔相对的臂部，及一连接于所述臂部之间的弯弧部，且所述臂部与该外壳连接，该抵撑结构设于该弯弧部且偏靠于外侧缘处，所述承托架的所述架体在一上下方向相间隔地排列，且借由所述抵撑结构支撑相邻的所述架体以使相邻的所述架体的所述弯弧部保持固定间隔。

【技术特征摘要】
2016.02.23 TW 1051052491.一种用于收纳基板的容器，包含：一界定一容室的外壳，及一支撑单元，其特征在于：该支撑单元包括多个位于该容室内的承托架，每一个承托架具有一弯弧形的架体，及至少一连接于该架体的抵撑结构，该架体具有两彼此间隔相对的臂部，及一连接于所述臂部之间的弯弧部，且所述臂部与该外壳连接，该抵撑结构设于该弯弧部且偏靠于外侧缘处，所述承托架的所述架体在一上下方向相间隔地排列，且借由所述抵撑结构支撑相邻的所述架体以使相邻的所述架体的所述弯弧部保持固定间隔。2.根据权利要求1所述容器，其特征在于：每两相邻的所述承托架的所述抵撑结构在该上下方向相抵接。3.根据权利要求2所述容器，其特征在于：该抵撑结构具有一连接于该弯弧部处的外侧缘的支撑部，每两相邻的所述承托架的所述支撑部在该上下方向相抵接。4.根据权利要求3所述容器，其特征在于：该抵撑结构还具有一限位部，该限位部与该支撑部在该上下方向分别凸出该弯弧部相反两侧，且上下相错位，而使每两相邻的所述承托架其中一者的该限位部与其中另一者的该支撑部在朝向该弯弧部曲率中心的方向上相抵靠。5.根据权利要求4所述容器，其特征在于：该限位部具有一卡槽，该支撑部具有一卡块，每两相邻的所述承托架其中一者的该支撑部的该卡块卡置于其中另一者的该限位部的该卡槽。6.根据权利要求5所述容器，其特征在于：每一个支撑部还具有两个彼此间隔连接于该弯弧部的连接臂，及一连接于所述连接臂底端的连接梁，且该卡块朝向该弯弧部处的内侧缘方向凸出于该连接梁表面。7.根据权利要求6所述容器，其特征在于：该支撑部还具有两个分别由所述连接臂表面朝向该弯弧部处的内侧缘方向凸出的支撑柱，且该限位部在该上下方向的投影位于所述支撑柱之间，而使每两相邻的所述承托架其中一者的该限位部位于其中另一者的该支撑部的所述支撑柱之间，且所述支撑柱抵于所述相邻承托架的所述弯弧部之间。8.根据权利要求1至7中任一权利要求所述容器，其特征在于：该外壳包括一壳体及一门体，该壳体具有一底壁、一与该底壁上下相对的顶壁、两分别连接该底壁与该顶壁两侧的侧壁，及一连接该底壁、该顶壁及所述侧壁的后壁，并界定一与该后壁相对的前开口，该门体可拆卸地与该壳体相组合以封闭该前开口，且与该壳体共同界定该容室。9.根据权利要求8所述容器，其特征在于：该后壁形成一与该前开口相对的后开口，且该外壳还包括一可拆卸地与该后壁相组合用以封闭该后开口的后盖。10.根据权利要求9所述容器，其特征在于：该后开口形成于该后壁的中间部位且沿该上下方向延伸。11.根据权利要求10所述容器，其特征在于：每一个承托架具有两个连接于该架体的该抵撑结构，且所述抵撑结构分别位于靠近所述侧壁与该后壁的交接处或位于靠近该后开口两侧处。12.根据权利要求1所述容器，其特征在于：该外壳包括一壳体及一门体，该壳体具有一底壁、一与该底壁上下相对的顶壁、两分别连接该底壁与该顶壁两侧的侧壁，及一连接该底壁、该顶壁及所述侧壁的后壁，并界定一与该后壁相对的前开口，该门体可拆卸地...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱铭隆，陈延方，
申请(专利权)人：中勤实业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71