多图像传感器模组的形成方法技术

技术编号:15650946 阅读:287 留言:0更新日期:2017-06-17 04:02
本发明专利技术提供一种多图像传感器模组的形成方法,其特征在于,所述方法包括:提供包含若干图像传感器的晶圆;切割晶圆形成:一体的多图像传感器;所述多图像传感器之间分别保留切割道区域;对一体的多图像传感器进行装配形成多图像传感器模组。

【技术实现步骤摘要】
多图像传感器模组的形成方法
本专利技术涉及半导体制造领域,尤其涉及一种多摄像头模组的装配方法。
技术介绍
随着消费电子产品的日新月异,适用于便携式电子装置的单图像传感器模组在部分细分市场上已不具有优势,对焦能力、动态平衡在一定情况下已难以适应需求。便携式电子装置已出现了多图像传感器模组,多图像传感器模组主要应用在智能手机的主摄像头中,但在多图像传感器模组的装配中会存在图像传感器芯片的感光面不对齐,有高低及偏差角度的问题,在定位精度及装配精度上难以控制,会在后续的成像过程中带来无法解决的难题。此外在图像传感器芯片的形成过程中,需要在像素阵列大部分表面形成彩色滤光膜,在部分区域不形成彩色滤光膜,现有的做法在工艺难度及工艺成本上较高。综上所述,新的多图像传感器模组的形成方法为业内亟需寻找的课题。
技术实现思路
基于以上考虑,本专利技术提供一种多图像传感器模组的形成方法,所述方法包括:提供包含若干图像传感器的晶圆;切割晶圆形成:一体的多图像传感器;所述多图像传感器之间分别保留切割道区域;对一体的多图像传感器进行装配形成多图像传感器模组。优选的,提供镜筒框架,所述镜筒框架分别装配对应于图像传感器的若干镜头组;将一体的多图像传感器与镜筒框架装配形成多图像传感器模组。优选的,所述多图像传感器中,所述图像传感器的宽边区域相邻于另一图像传感器的宽边区域,所述宽边区域为像素阵列距离图像传感器边缘距离最大的边之间的区域。优选的,所述方法还包括:于部分图像传感器上形成彩色滤光膜,于另一部分图像传感器上不形成彩色滤光膜。优选的,所述方法还包括:S1:于多个图像传感器表面形成第一平坦层;S2:于第一平坦层表面形成第一彩色膜;通过曝光、显影于部分图像传感器的像素单元上保留部分第一彩色膜区域,去除其他区域的第一彩色膜;S3:重复S2的步骤进一步形成第二彩色膜区域、第三彩色膜区域;所述第一彩色膜区域、第二彩色膜区域、第三彩色膜区域组成彩色滤光膜;S4:于未覆盖有彩色滤光膜的另一部分图像传感器上形成透光膜;S5:形成微透镜层。优选的,其特征在于,于彩色滤光膜和透光膜上形成第二平坦层,进一步形成微透镜。通过该多图像传感器模组的形成方法,能保证图像传感器之间的定位和装配精度,避免图像传感器感光面的不对齐、角度偏差,避免多图像传感器模组因装配精度造成成像性能下降。该图像传感器在形成彩色滤光膜和透光层中,可定义对应的区域分别通过曝光、显影形成,简化了工艺步骤,并且通过减少掩膜降低了工艺成本。本专利技术的各个方面将通过下文中的具体实施例的说明而更加清晰。附图说明通过参照附图阅读以下所作的对非限制性实施例的详细描述,本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显。图1为本专利技术多图像传感器模组的形成方法一实施例中涉及的晶圆部分结构示意图;图2为本专利技术多图像传感器模组的形成方法一实施例中涉及的切割完成的多图像传感器示意图;图3为本专利技术多图像传感器模组的形成方法一实施例的多图像传感器模组的示意图;图4至图13为本专利技术多图像传感器模组的形成方法的一实施例中涉及的部分工艺步骤示意图。在图中,贯穿不同的示图,相同或类似的附图标记表示相同或相似的装置(模块)或步骤。具体实施方式在以下优选的实施例的具体描述中,将参考构成本专利技术一部分的所附的附图。所附的附图通过示例的方式示出了能够实现本专利技术的特定的实施例。示例的实施例并不旨在穷尽根据本专利技术的所有实施例。可以理解,在不偏离本专利技术的范围的前提下,可以利用其他实施例,也可以进行结构性或者逻辑性的修改。因此,以下的具体描述并非限制性的,且本专利技术的范围由所附的权利要求所限定。本专利技术提供一种多图像传感器模组的形成方法,包括:S10提供包含若干图像传感器的晶圆;S20切割晶圆形成:一体的多图像传感器;所述多图像传感器之间分别保留切割道区域;S30对一体的多图像传感器进行装配形成多图像传感器模组。下面结合图1至图3对本专利技术一种多图像传感器模组的形成方法做具体说明,图1为本专利技术多图像传感器模组的形成一实施例中涉及的晶圆部分结构示意图,图2为本专利技术多图像传感器模组的形成方法一实施例中涉及的切割完成的多图像传感器示意图;图3为本专利技术多图像传感器模组的形成方法一实施例的多图像传感器模组的示意图。图像传感器晶圆现有技术中采用6英寸、8英寸、12英寸的大小,在一块晶圆上根据单个die芯片的尺寸设计不同能形成多达几百、几千个芯片;图1中为一片晶圆上的部分区域,晶圆1上形成有若干图像传感器10,相邻的图像传感器10之间具有切割道区域20;沿切割道切割晶圆,保留部分切割道区域20形成多个图像传感器相连的结构,图2中,相邻的两个图像传感器10的切割道区域20保留;图3中,提供镜筒框架30,所述镜筒框架30分别装配对应于图像传感器10的若干镜头组(未标明);镜筒框架为一体结构;将一体的多图像传感器与镜筒框架装配形成多图像传感器模组。请进一步参考图2,图2中图像传感器10的宽边区域12相邻于另一图像传感器10’的宽边区域12’,所述宽边区域12或12’为像素阵列11、11’距离图像传感器边缘距离最大的边之间的区域。通过该多图像传感器模组的形成方法,能保证图像传感器之间的定位和装配精度,避免图像传感器感光面的不对齐、角度偏差,避免多图像传感器模组因装配精度造成成像性能下降。请继续参考图4至图13,图4至图13为本专利技术多图像传感器模组的形成方法的一实施例中涉及的部分工艺步骤示意图;本专利技术中,在形成图像传感器中,于部分图像传感器像素上形成彩色滤光膜,于另一部分图像传感器像素不形成彩色滤光膜。具体步骤包括:图4中,提供图像传感器10,图像传感器10包括若干像素,图像传感器分为第一区域110和第二区域120,S1:于多个图像传感器表面形成第一平坦层130;图5、图6中S2:于第一平坦层130表面形成第一彩色膜200;通过曝光、显影于部分图像传感器的像素单元上保留部分第一彩色膜区域201,去除其他区域的第一彩色膜;图7至图10中S3:重复S2的步骤进一步形成第二彩色膜区域301、第三彩色膜区域401;所述第一彩色膜区域201、第二彩色膜区域301、第三彩色膜区域401组成彩色滤光膜;其中,第一彩色膜200、第二彩色膜300、第三彩色膜400为红色、绿色、蓝色中的一种,形成该三种色彩的无先后顺序。请参考图11、图12,进一步形成透光层500,于未覆盖有彩色滤光膜的另一部分图像传感器上形成透光膜501;图13中于彩色滤光膜及透光膜表面形成第二平坦层600;进一步形成微透镜层(未标明)。该图像传感器在形成彩色滤光膜和透光层中,可定义对应的区域分别通过曝光、显影形成,简化了工艺步骤,并且通过减少掩膜降低了工艺成本。对于本领域技术人员而言,显然本专利技术不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本专利技术的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本专利技术。因此,无论如何来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的。此外,明显的,“包括”一词不排除其他元素和步骤,并且措辞“一个”不排除复数。装置权利要求中陈述的多个元件也可以由一个元件来实现。第一,第二等词语用来表示名称,而并不表示任何特定的顺序。本文档来自技高网...
多图像传感器模组的形成方法

【技术保护点】
一种多图像传感器模组的形成方法,其特征在于,所述方法包括:提供包含若干图像传感器的晶圆;切割晶圆形成:一体的多图像传感器;所述多图像传感器之间分别保留切割道区域;对一体的多图像传感器进行装配形成多图像传感器模组。

【技术特征摘要】
1.一种多图像传感器模组的形成方法,其特征在于,所述方法包括:提供包含若干图像传感器的晶圆;切割晶圆形成:一体的多图像传感器;所述多图像传感器之间分别保留切割道区域;对一体的多图像传感器进行装配形成多图像传感器模组。2.根据权利要求1所述的多图像传感器模组的形成方法,其特征在于,所述方法还包括:提供镜筒框架,所述镜筒框架分别装配对应于图像传感器的若干镜头组;将一体的多图像传感器与镜筒框架装配形成多图像传感器模组。3.根据权利要求1所述的多图像传感器模组的形成方法,其特征在于,所述多图像传感器中,所述图像传感器的宽边区域相邻于另一图像传感器的宽边区域,所述宽边区域为像素阵列距离图像传感器边缘距离最大的边之间的区域。4.根据权利要求1所述的多图像传感器模组的形成方法,其特...

【专利技术属性】
技术研发人员:李杰
申请(专利权)人:格科微电子上海有限公司
类型:发明
国别省市:上海,31

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