制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置及方法，它包括下调节支架（2），下调节支架（2）连接中间调节托盘（15），中间调节托盘（15）上固定有减振筒（16）,探针棒（7）穿过减振筒（16）且探针棒（7）与减振筒（16）不接触，探针棒（7）的两端分别伸出减振筒（16），探针棒（7）与减振筒（16）之间填充有硅胶（17）；解决了现有技术的装置在制作扫描隧道显微镜的探针中，要产生氢气，氢气从探针棒附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中时，探针棒附近的液面产生波动，使探针棒产生垂直于探针轴线的横向振动，影响探针的针尖在探针轴线上，影响探针的针尖制作质量等技术问题。

【技术实现步骤摘要】
制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置及方法
本专利技术属于扫描显微镜探针制备技术，尤其涉及一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置及方法。
技术介绍
制作扫描隧道显微镜探针的普通装置(见图1)包括支架、下调节架、下调节托盘；上调节架、导电板、探针夹、电池、导线、导电环和烧杯；下调节架和上调节架均与支架连接，导电板与上调节架联接，探针夹与导电板联接；导电环在烧杯中，不锈钢的导电环的中心有孔，导电环固定在下调节托盘上，下调节托盘与下调节架联接；电池的正、负极通过导线分别导电板和导电环连接。用制作扫描隧道显微镜探针的普通装置制作扫描隧道显微镜的探针时，探针棒的上端通过探针夹固定在导电板上，烧杯中有NaOH的水溶液的电解液，探针棒的下端伸入NaOH的水溶液中并穿过导电环上的孔，探针棒为0.1〜1.5mm直径的钨丝，导电环在NaOH的水溶液中且在NaOH的水溶液的液面附近；探针棒经电解后，导电环孔中的钨丝变尖，探针棒变为探针。用制作扫描隧道显微镜探针的普通装置制作扫描隧道显微镜的探针中，要产生氢气，氢气从探针棒附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中时，探针棒附近的液面产生波动，使探针棒产生垂直于探针轴线的横向振动，影响探针的针尖在探针轴线上，影响探针的针尖制作质量。
技术实现思路
：本专利技术要解决的技术问题是：提供一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置及方法，以解决现有技术用制作扫描隧道显微镜探针的普通装置制作扫描隧道显微镜的探针中，要产生氢气，氢气从探针棒附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中时，探针棒附近的液面产生波动，使探针棒产生垂直于探针轴线的横向振动，影响探针的针尖在探针轴线上，影响探针的针尖制作质量等技术问题。本专利技术技术方案：一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置，它包括中间调节托盘、减振筒和硅胶，下调节支架连接中间调节托盘，中间调节托盘上固定有减振筒,探针棒穿过减振筒且探针棒与减振筒不接触，探针棒的两端分别伸出减振筒，探针棒与减振筒之间填充有硅胶。所述减振筒的上空心圆柱的高度和直径大于下空心圆柱的高度和直径。探针棒和减振筒之间有0.1〜0.5毫米的缝隙。探针棒的两端分别伸出减振筒的长度为1〜5毫米。制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置的减振方法，它包括：将探针棒7在具有探针棒减振装置的制作扫描隧道显微镜探针的装置中制作成探针14后，探针棒7变为探针14，探针14在减振筒16中，再从探针夹6和减振筒16中取出探针14，再清洗探针14上的硅胶17，得到清洁的探针14。本专利技术的有益效果：本专利技术在制作扫描隧道显微镜探针的普通装置的基础上，增加探针棒减振装置，形成具有探针棒减振装置的制作扫描隧道显微镜探针的装置；探针棒的两端之间的部分在硅胶中，硅胶吸收探针棒的横向振动和沿探针轴线的纵向振动，使探针棒的振动减小或消除。本专利技术的探针棒减振装置中，探针棒减振装置不仅限于对钨丝的探针棒的减振，也可用于铂铱合金丝的探针棒的减振。本专利技术的优点：1．氢气从探针棒附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中时，液面产生波动，影响探针的针尖制作质量，使用探针棒减振装置后，硅胶吸收探针棒的横向振动和沿探针轴线的纵向振动，使探针棒的振动减小或消除，有利于电解所得探针的针尖在探针轴线上，提高探针的针尖制作质量。2．探针棒的两端之间的部分在硅胶中，探针棒的减振不妨碍探针的制作。3．硅胶是粘性流体，粘度可以调节，可通过调节粘度，满足探针棒的减振需要。本专利技术解决了现有技术用制作扫描隧道显微镜探针的普通装置制作扫描隧道显微镜的探针中，要产生氢气，氢气从探针棒附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中时，探针棒附近的液面产生波动，使探针棒产生垂直于探针轴线的横向振动，影响探针的针尖在探针轴线上，影响探针的针尖制作质量等技术问题。附图说明图1为制作扫描隧道显微镜探针的普通装置及制作探针的示意图；图2为图1的A-A剖面放大图；图3为探针棒；图4为探针；图5为具有探针棒减振装置的制作扫描隧道显微镜探针的装置及探针棒在减振筒中的示意图；图6为图5的B-B剖面放大图；图7为探针在减振筒中的示意图；图8为减振筒结构示意图；图9为图8的俯视图。图中：1支架；2下调节架；3下调节托盘；4上调节架；5导电板；6探针夹；7探针棒；8探针轴线；9电池；10导线；11导电环；12烧杯；13电解液；14探针；15中间调节托盘；16减振筒；17硅胶；18上空心圆柱；19下空心圆柱。具体实施方式：现有技术制作扫描隧道显微镜探针的普通装置及制作探针如图1〜4所示；具有本专利技术探针棒减振装置的制作扫描隧道显微镜探针装置及探针棒在减振筒中如图5〜6所示；探针在减振筒中如图7所示；减振筒如图8〜9所示。在本专利技术探针棒减振装置中，具有探针棒减振装置的制作扫描隧道显微镜探针的装置(见图5)包括支架1、下调节架2、下调节托盘3；上调节架4、导电板5、探针夹6、电池9、导线10、导电环11、烧杯12、中间调节托盘15、减振筒16和硅胶17，其中，中间调节托盘15、减振筒16和硅胶17组成探针棒减振装置；下调节架2和上调节架4均与支架1连接，导电板5与上调节架4联接，探针夹6与导电板5联接；导电环11在烧杯12中，不锈钢的导电环11的中心有孔，导电环11固定在下调节托盘3上，下调节托盘3与下调节架2联接；电池9的正、负极通过导线10分别导电板5和导电环11连接；中间调节托盘15与下调节架2连接，减振筒16固定在中间调节托盘15上，探针棒7穿过减振筒16，探针棒7与减振筒16不接触，探针棒7和减振筒16之间有缝隙，在探针棒7和减振筒16之间充满硅胶17，探针棒7的两端不在硅胶17中，探针棒7的两端之间的部分在硅胶17中。在探针棒减振装置中，减振筒16的上空心圆柱18分别比下空心圆柱19的高度和直径大(见图8和图9)；上空心圆柱18的直径大，有利于注入硅胶17；下空心圆柱19的直径小，有利于阻止硅胶17从下空心圆柱19与探针棒7之间的缝隙泄漏。探针棒7和减振筒16之间有0.1〜0.5的缝隙。探针棒7的两端分别伸出减振筒16的长度1〜5毫米。在探针棒减振装置中，探针棒减振装置不仅限于对钨丝的探针棒7的减振，也可用于铂铱合金丝的探针棒7的减振。在探针棒减振装置中，探针棒7在具有探针棒减振装置的制作扫描隧道显微镜探针的装置中制作成探针14后，探针棒7变为探针14，探针14在减振筒16中，再从探针夹6和减振筒16中取出探针14，由于硅胶17是粘性流体，可方便从减振筒16中取出探针14，再清洗探针14上的硅胶17，得到清洁的探针14。在探针棒减振装置中，通过调节硅胶17的粘度，满足探针棒7的减振需要。探针棒减振装置的工作原理：用具有探针棒减振装置的制作扫描隧道显微镜探针的装置制作扫描隧道显微镜的探针14中，要产生氢气，氢气从探针棒7附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中时，探针棒7附近的液面产生波动，会使探针棒7产生垂直于探针轴线8的横向振动，由于硅胶17是粘性流体，硅胶17产生阻尼力，并吸收探针棒7的横向振动，使探针棒7的横向振动减小或消除，同时，硅胶17也吸收探针棒7沿探针轴线8的纵向振动，使探针棒7的纵向振动减小或消除；减小或消除探针棒7的振动，保持探针棒7的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置，它包括中间调节托盘（15）、减振筒（16）和硅胶（17），其特征在于：下调节支架（2）连接中间调节托盘（15），中间调节托盘（15）上固定有减振筒（16）,探针棒（7）穿过减振筒（16）且探针棒（7）与减振筒（16）不接触，探针棒（7）的两端分别伸出减振筒（16），探针棒（7）与减振筒（16）之间填充有硅胶（17）。

【技术特征摘要】
1.一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置，它包括中间调节托盘（15）、减振筒（16）和硅胶（17），其特征在于：下调节支架（2）连接中间调节托盘（15），中间调节托盘（15）上固定有减振筒（16）,探针棒（7）穿过减振筒（16）且探针棒（7）与减振筒（16）不接触，探针棒（7）的两端分别伸出减振筒（16），探针棒（7）与减振筒（16）之间填充有硅胶（17）。2.根据权利要求1所述的一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置，其特征在于：所述减振筒（16）的上空心圆柱（18）的高度和直径大于下空心圆柱（19）的高度和直径。3.根据权利要求1所述的一种制...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁召，许筱晓，
申请(专利权)人：贵州大学，
类型：发明
国别省市：贵州,52