物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够减少物理量的检测精度的下降的物理量传感器、具备该物理量传感器的物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：基座基板(2)；可动部(53)，其被配置成能够相对于基座基板(2)进行位移；检测电极(61)，其被设置于基座基板(2)的可动部(53)侧，且与可动部(53)对置配置；导电膜(59)，其被设置于可动部(53)的基座基板(2)侧，且与检测电极(61)对置配置，检测电极(61)与导电膜(59)的功函数差为0.4eV以下。

【技术实现步骤摘要】
物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体
本专利技术涉及物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。
技术介绍
例如，专利文献1中记载的物理量传感器(加速度传感器)具有：基座基板；能够相对于基座基板进行跷跷板式摆动的可动部；设置于基座基板上且与可动部对置配置的电极，在可动部和电极之间形成有静电电容。在此类物理量传感器中，通过施加加速度而使可动部进行跷跷板式摆动，由此，使电容变化，因此，基于电容的变化来检测所施加的加速度。然而，在此类结构中，由于可动部的材料与电极的材料不同(例如，可动部由硅构成，电极由Pt构成。)，因此在可动部的功函数(带电量)和电极的功函数之间将产生差，对应于该功函数差，静电电容－电压特性(以下称为“CV特性”)例如会如图1所示那样偏移。此外，在可动部过度位移而与电极接触时，会产生接触带电，可动部有可能粘贴在基座基板上。因此，在专利文献1的物理量传感器中，存在加速度的检测精度下降的问题。专利文献1：日本特开2013－40856号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供能减少物理量的检测精度的下降的物理量传感器、具备该物理量传感器的物理量传感器装置、电子设备以及移动体。这样的目的由下述的本专利技术来实现。本专利技术的物理量传感器的特征在于，具有：基板；可动部，其被配置成能够相对于所述基板进行位移；电极，其被设置于所述基板的所述可动部侧，且与所述可动部对置配置；导电部，其被设置于所述可动部的所述基板侧，且与所述电极对置配置，所述电极与所述导电部的功函数差为0.4eV以下。由此，可以得到能够减少物理量的检测精度的下降的物理量传感器。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，所述电极以及所述导电部为相同材料。由此，能够容易地减小所述电极与所述导电部的功函数差。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，所述可动部具有：第一可动部，其位于一侧；第二可动部，其位于另一侧，且在施加有所述基板与所述可动部的排列方向的加速度时的转矩大于所述第一可动部，所述第一可动部以及所述第二可动部相对于所述基板进行跷跷板式摆动。由此，成为能够检测可动部的厚度方向的加速度的物理量传感器。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，所述电极具有：第一电极，其与所述第一可动部对置配置；第二电极，其与所述第二可动部对置配置。由此，能够更高精度地检测可动部的厚度方向的加速度。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，所述可动部具有：基部，其能够相对于所述基板而沿着所述可动部的面内方向进行位移；可动电极部，其以从所述基部突出的方式被设置。由此，成为能够检测可动部的面内方向的加速度的物理量传感器。在本专利技术的物理量传感器中，优选为，所述电极为与所述可动部为相同电位。由此，能够减少可动部向基板的粘贴。本专利技术的物理量传感器装置的特征在于，具有：本专利技术的物理量传感器；电子部件，其与所述物理量传感器电连接。由此，可以得到具有高可靠性的物理量传感器装置。本专利技术的电子设备的特征在于，具有本专利技术的物理量传感器。由此，可以得到具有高可靠性的电子设备。本专利技术的移动体的特征在于，具有本专利技术的物理量传感器。由此，可以得到具有高可靠性的移动体。附图说明图1为表示静电电容－电压特性的曲线图。图2为本专利技术的第一实施方式涉及的物理量传感器的俯视图。图3为图2中的A－A线剖视图。图4为用于说明功能元件片的制造方法的剖视图。图5为用于说明功能元件片的制造方法的剖视图。图6为用于说明功能元件片的制造方法的剖视图。图7为用于说明功能元件片的制造方法的剖视图。图8为用于说明图2所示的物理量传感器的驱动的示意图。图9为本专利技术的第二实施方式涉及的物理量传感器的俯视图。图10为图9中的B－B线剖视图。图11为本专利技术的第三实施方式涉及的物理量传感器的俯视图。图12为图11中的C－C线剖视图。图13为本专利技术的第四实施方式涉及的物理量传感器装置的剖视图。图14为表示应用本专利技术的电子设备的便携式(或笔记本式型)个人计算机的结构的立体图。图15为表示应用本专利技术的电子设备的移动电话(也包括PHS)的结构的立体图。图16为表示应用本专利技术的电子设备的数码照相机的结构的立体图。图17为表示应用本专利技术的移动体的汽车的立体图。具体实施方式下面，基于附图所示的实施方式来对本专利技术的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体进行详细说明。第一实施方式首先，对本专利技术的第一实施方式涉及的物理量传感器进行说明。图2为本专利技术的第一实施方式涉及的物理量传感器的俯视图。图3为图2中的A－A线剖视图。图4至图7分别为用于说明功能元件片的制造方法的剖视图。图8为用于说明图2所示的物理量传感器的驱动的示意图。另外，以下，为了便于说明，将图2中的纸面近前侧称为“上”，将纸面纵深侧称为“下”。此外，在各图中，作为互相正交的三个轴，而图示了X轴、Y轴以及Z轴。此外，下面，将与X轴平行的方向称为“X轴方向”，将与Y轴平行的方向称为“Y轴方向”，将与Z轴平行的方向称为“Z轴方向”。另外，Z轴方向沿着铅直方向，XY平面沿着水平面。图2以及图3所示的物理量传感器1为能够测量Z轴方向(铅直方向)的加速度的加速度传感器。此类物理量传感器1具有：由基座基板(基板)2以及盖体3构成的封装件4、被收纳于封装件4的内部空间S中的功能元件片5、被配置于基座基板2上的导体图案6。下面，依次对这些部件进行说明。基座基板在基座基板2上形成有在上表面开口的凹部21。该凹部21作为用于防止功能元件片5与基座基板2的接触的退让部而发挥功能。此外，在基座基板2上形成有在上表面开口且与凹部21连接的三个槽部22、23、24。而且，在该槽部22、23、24内分别配置有布线。这种基座基板2例如由玻璃基板构成，且通过蚀刻等而形成其外形。但是，作为基座基板2，不限于玻璃基板，例如，也可以使用硅基板等。功能元件片功能元件片5被设置于基座基板2的上方。该功能元件片5具有：可动部53；将可动部53以可摆动的方式进行支承的的连结部54、55；对连结部54、55进行支承的支承部51、52。而且，可动部53能够以连结部54、55为轴J，而在使连结部54、55扭转变形的同时相对于支承部51、52进行跷跷板式摆动。可动部53呈在X方向上延伸的长条形状，与轴J相比靠－X方向(一方)侧成为第一可动部531，与轴J相比靠+X方向(另一方)侧成为第二可动部532。此外，第二可动部532与第一可动部531相比在X轴方向上较长，且在施加有铅直方向(Z轴方向)的加速度时的转矩大于第一可动部531。通过该转矩之差，而在施加有铅直方向的加速度时使可动部53绕轴J进行跷跷板式摆动。此外，作为第一、第二可动部531、532的形状，只要具有互不相同的转矩，则没有特别限定，例如，可以为俯视时的形状相同但厚度不同。此外，也可以采用相同形状但在任一方上配置有锤部的方式。此外，为了减小跷跷板式摆动时的阻力，可以在第一、第二可动部531、532上形成狭缝(在厚度方向上贯穿的通孔)。此外，如图3所示，在可动部53的下表面(与凹部21的底面相对的面)，设有导电膜59。导电膜59与可动部53电连接，且与可动部53为相同电位。在本实施方式中，该导电膜59由Pt(铂)构成。但是，作为导电膜59的构成材料，只要具有导电性，则不限于Pt，例如，可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物理量传感器，其特征在于，具有：基板；可动部，其被配置成能够相对于所述基板进行位移；电极，其被设置于所述基板的所述可动部侧，且与所述可动部对置配置；导电部，其被设置于所述可动部的所述基板侧，且与所述电极对置配置，所述电极与所述导电部的功函数差为0.4eV以下。

【技术特征摘要】
2015.09.18 JP 2015-1849581.一种物理量传感器，其特征在于，具有：基板；可动部，其被配置成能够相对于所述基板进行位移；电极，其被设置于所述基板的所述可动部侧，且与所述可动部对置配置；导电部，其被设置于所述可动部的所述基板侧，且与所述电极对置配置，所述电极与所述导电部的功函数差为0.4eV以下。2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述电极以及所述导电部为相同材料。3.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述可动部具有：第一可动部，其位于一侧；第二可动部，其位于另一侧，且在施加有所述基板与所述可动部的排列方向的加速度时的转矩大于所述第一可动部，所述第一可动部以及所述第二可动部相对于所述基板进行跷跷板式摆动。4.如权利要求3所述的物理量传感器，其中，所述电极具有：第一电极，其与所述第一可动部对置配置；第二电极，其与所述第二可动部对置配置。5.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述可动部具有：基部，其能够相对于所述基板而沿着所述可动部的面内方向进行位移；可动电极部，其以从...

【专利技术属性】
技术研发人员：小沟公一郎，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP