一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法，涉及真空蒸发镀膜领域，能够解决现有的线蒸镀源或者面蒸镀源在蒸镀过程中对待蒸镀基板上不同蒸镀区域的蒸镀膜层厚度不均匀的问题。包括蒸镀坩埚，还包括设置在蒸镀坩埚出口侧的多个蒸镀喷嘴，多个蒸镀喷嘴至少排列为一排。蒸镀坩埚内部包括有蒸镀材料空腔，蒸镀坩埚出口侧的侧壁设置有连通蒸镀材料空腔的贯通腔，蒸镀喷嘴包括喷头以及与喷头固定连接的活动部，喷头通过贯通腔与蒸镀材料空腔相连通，活动部设置于贯通腔内并可在贯通腔内转动，以使得喷头在活动部的带动下摆动。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法
本专利技术涉及真空蒸发镀膜领域，尤其涉及一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法。
技术介绍
真空蒸镀是指在真空环境中，将待成膜物质加热蒸发或升华后，使其在低温工件或基片表面凝结或沉积，形成镀层的工艺。在有机显示领域，有机显示器件的镀膜工艺好坏是影响有机显示器件功能优劣的关键因素。对于中小尺寸有机显示器件的小世代线，通常采用点蒸镀源进行蒸镀，承载中小尺寸有机显示器件的基板在蒸镀过程中匀速旋转以使得基板上各不同位置处的材料蒸镀均匀。对于较大尺寸有机显示器件的大世代线，若采用点蒸镀源进行蒸镀，则蒸镀效率太低难以保证产线需求，因此，需要采用线蒸镀源或者面蒸镀源对较大尺寸有机显示器件进行蒸镀。采用线蒸镀源或者面蒸镀源对较大尺寸有机显示器件进行蒸镀时，线蒸镀源或者面蒸镀源通过在蒸镀坩埚上排列固定的多个蒸镀喷嘴同时将加热气化的蒸镀材料在线(线蒸镀源)或面(面蒸镀源)的范围内喷出，承载较大尺寸有机显示器件的基板在蒸镀过程中匀速水平通过线蒸镀源或者面蒸镀源的蒸镀喷嘴上方即可完成较大尺寸有机显示器件的蒸镀。由于线蒸镀源或者面蒸镀源上不同位置的蒸镀喷嘴分别对应待蒸镀基板上的固定的蒸镀区域，因此，极易导致待蒸镀基板上与各蒸镀喷嘴对应区域以及相邻蒸镀喷嘴之间所对应的区域的蒸镀膜层厚度不均匀，这种蒸镀膜层厚度的不均匀性会导致有机显示器件的亮度和色彩不均匀，从而影响有机显示器件成品的最终显示性能。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法，能够解决现有的线蒸镀源或者面蒸镀源在蒸镀过程中对待蒸镀基板上不同蒸镀区域的蒸镀膜层厚度不均匀的问题。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：本专利技术实施例的一方面，提供一种蒸镀源，包括蒸镀坩埚，还包括设置在蒸镀坩埚出口侧的多个蒸镀喷嘴，多个蒸镀喷嘴至少排列为一排。蒸镀坩埚内部包括有蒸镀材料空腔，蒸镀坩埚出口侧的侧壁设置有连通蒸镀材料空腔的贯通腔，蒸镀喷嘴包括喷头以及与喷头固定连接的活动部，喷头通过贯通腔与蒸镀材料空腔相连通，活动部设置于贯通腔内并可在贯通腔内转动，以使得喷头在活动部的带动下摆动。可选的，活动部为活动轴，活动轴一端设置于贯通腔侧壁、另一端固定连接在喷头侧壁上，活动轴平行于蒸镀坩埚出口侧所在的平面。优选的，活动部为活动球，活动球内部中空且表面加工有开口，喷头通过活动球与蒸镀材料空腔相连通。其中，活动球的直径大于贯通腔在蒸镀坩埚出口侧上、下表面的直径且小于贯通腔在蒸镀坩埚出口侧中心横截面的直径。优选的，蒸镀喷嘴的最大摆动角度小于等于90°。进一步的，相邻两个蒸镀喷嘴的间距为10mm-200mm。优选的，多个蒸镀喷嘴至少排列为两排时，相邻两排的蒸镀喷嘴交错设置。进一步的，本专利技术实施例的蒸镀源，还包括控制器，控制器分别与每一个蒸镀喷嘴相连接，分别控制每一个蒸镀喷嘴的活动部在贯通腔内的转动。本专利技术实施例的另一方面，提供一种蒸镀装置，包括上述的蒸镀源。本专利技术实施例的再一方面，提供一种蒸镀方法，应用于上述蒸镀装置，包括，加热蒸镀坩埚，使蒸镀坩埚内的蒸镀材料受热气化；控制活动部转动，以使得喷头在活动部的带动下摆动。进一步的，当蒸镀喷嘴至少排列为两排时，控制活动部转动具体为：控制同一排的多个活动部沿第一方向转动，控制相邻排的多个活动部沿第一方向或与第一方向相反的第二方向转动。本专利技术实施例提供一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法，包括蒸镀坩埚，还包括设置在蒸镀坩埚出口侧的多个蒸镀喷嘴，多个蒸镀喷嘴至少排列为一排。蒸镀坩埚内部包括有蒸镀材料空腔，蒸镀坩埚出口侧的侧壁设置有连通蒸镀材料空腔的贯通腔，蒸镀喷嘴包括喷头以及与喷头固定连接的活动部，喷头通过贯通腔与蒸镀材料空腔相连通，活动部设置于贯通腔内并可在贯通腔内转动，以使得喷头在活动部的带动下摆动。在蒸镀坩埚出口侧侧壁设置连通蒸镀材料空腔的贯通腔，通过将蒸镀喷嘴的活动部设置于贯通腔内并可在贯通腔内转动，使得与蒸镀材料空腔相连通的喷头在活动部转动的带动下，以活动部为顶点摆动方向。从而降低待蒸镀基板上与蒸镀喷嘴对应区域以及相邻蒸镀喷嘴之间所对应的区域的蒸镀膜层厚度差异，提高待蒸镀基板上各处蒸镀材料膜厚的均匀性，提高有机显示器件的光学均匀性和整体显示性能。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种蒸镀源的结构示意图；图2为图1的俯视图；图3为图1中区域X的局部放大图之一；图4为本专利技术实施例提供的一种蒸镀源中活动部为活动轴且活动轴的轴线与同排多个蒸镀喷嘴之间连线垂直的结构示意图；图5为图1中区域X的局部放大图之二；图6为本专利技术实施例提供的一种蒸镀源中相邻两排蒸镀喷嘴交错设置的结构示意图；图7为本专利技术实施例提供的一种蒸镀源中还设置有控制器的结构示意图；图8为本专利技术实施例提供的一种蒸镀方法的流程图之一；图9为本专利技术实施例提供的一种蒸镀方法的流程图之二；图10为本专利技术实施例提供的一种蒸镀源的蒸镀喷嘴摆动方式；图11为本专利技术实施例提供的；另一种蒸镀源的蒸镀喷嘴摆动方式。附图标记：10-蒸镀坩埚；11-蒸镀材料空腔；20-振幅喷嘴；21-喷头；22-活动部；221-活动轴；222-活动球；30-贯通腔；40-控制器；L-活动球直径；W-相邻两个活动轴之间的距离；X-放大区域，a-活动球上的开口；a1-活动球与喷头连接端的开口；a2-活动球连通蒸镀材料空腔的开口；h1-贯通腔在蒸镀坩埚出口侧上表面的截面直径；h2-贯通腔在蒸镀坩埚出口侧下表面的截面直径；h3-贯通腔在蒸镀坩埚出口侧中心横截面的直径；α-蒸镀喷嘴的最大摆动角度。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术实施例提供一种蒸镀源，如图1所示，包括蒸镀坩埚10，还包括设置在蒸镀坩埚10出口侧的多个蒸镀喷嘴20，如图2所示，多个蒸镀喷嘴20至少排列为一排。如图1所示，蒸镀坩埚10内部包括有蒸镀材料空腔11，蒸镀坩埚10出口侧的侧壁设置有连通蒸镀材料空腔11的贯通腔30，蒸镀喷嘴20包括喷头21以及与喷头21固定连接的活动部22，喷头21通过贯通腔30与蒸镀材料空腔11相连通，活动部22设置于贯通腔30内并可在贯通腔30内转动，以使得喷头21在活动部22的带动下摆动。需要说明的是，第一，蒸镀源包括蒸镀坩埚10，蒸镀坩埚10内侧包括蒸镀材料空腔11，蒸镀材料设置在蒸镀材料空腔11内，对蒸镀坩埚10进行加热后，蒸镀材料在蒸镀材料空腔11内受热气化蒸发，通过设置在蒸镀坩埚10出口侧的蒸镀喷嘴20喷出，并最终落在待蒸镀基板上形成蒸镀膜层。当蒸镀坩埚10出口侧设置有多个蒸镀喷嘴20，并且多个蒸镀喷嘴20排列为一排时，蒸镀材料呈线性喷出，即为线蒸镀源(如图2所示)，当蒸镀坩埚10出口侧设置的多个蒸镀喷嘴20排本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀源，其特征在于，包括蒸镀坩埚，还包括设置在所述蒸镀坩埚出口侧的多个蒸镀喷嘴，多个所述蒸镀喷嘴至少排列为一排；所述蒸镀坩埚内部包括有蒸镀材料空腔，所述蒸镀坩埚出口侧的侧壁设置有连通所述蒸镀材料空腔的贯通腔，所述蒸镀喷嘴包括喷头以及与所述喷头固定连接的活动部，所述喷头通过所述贯通腔与所述蒸镀材料空腔相连通，所述活动部设置于所述贯通腔内并可在所述贯通腔内转动，以使得所述喷头在所述活动部的带动下摆动。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀源，其特征在于，包括蒸镀坩埚，还包括设置在所述蒸镀坩埚出口侧的多个蒸镀喷嘴，多个所述蒸镀喷嘴至少排列为一排；所述蒸镀坩埚内部包括有蒸镀材料空腔，所述蒸镀坩埚出口侧的侧壁设置有连通所述蒸镀材料空腔的贯通腔，所述蒸镀喷嘴包括喷头以及与所述喷头固定连接的活动部，所述喷头通过所述贯通腔与所述蒸镀材料空腔相连通，所述活动部设置于所述贯通腔内并可在所述贯通腔内转动，以使得所述喷头在所述活动部的带动下摆动。2.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，所述活动部为活动轴，所述活动轴一端设置于所述贯通腔侧壁、另一端固定连接在所述喷头侧壁上，所述活动轴平行于所述蒸镀坩埚出口侧所在的平面。3.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，所述活动部为活动球，所述活动球内部中空且表面加工有开口，所述喷头通过所述活动球与所述蒸镀材料空腔相连通；其中，所述活动球的直径大于所述贯通腔在所述蒸镀坩埚出口侧上、下表面的直径且小于所述贯通腔在所述蒸镀坩埚出口侧中心横截面的直径。4.根据权利要求2或3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：上官荣刚，王欣欣，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11