简易型炉管碎片清理装置制造方法及图纸

技术编号:15621826 阅读:256 留言:0更新日期:2017-06-14 04:58
本实用新型专利技术涉及晶体硅太阳能电池制作设备技术领域,尤其是涉及一种简易型炉管碎片清理装置,包括支撑座及转动设置在支撑座一端的拨片,支撑座下底面铰接有连杆,连杆远离支撑座的一端铰接有推杆,推杆的一端与拨片铰接,支撑座上开设有定位孔,定位孔内设有限位销,限位销位于支撑座的一端设有螺帽,螺帽抵设在支撑座的上表面,推杆沿其长度方向设有第一限位孔和第二限位孔,当限位销穿过定位孔设置在第一限位孔时,本实用新型专利技术结构简单,操作方便,能够随支撑座拿出同时将炉管内的碎片进行清理,避免了清洗石英炉管内碎片的办法只有停产降温,用普通吸尘器清理石英炉管内碎片,该办法既耽误生产进程和产量,又存在污染石英炉管的风险的问题。

【技术实现步骤摘要】
简易型炉管碎片清理装置
本技术涉及晶体硅太阳能电池制作设备
,尤其是涉及一种简易型炉管碎片清理装置。
技术介绍
太阳能晶片在PECVD工序为晶体硅太阳能生产线中等离子体增强化学气相沉积工序,是以石墨舟为载体将去磷硅玻璃后的硅片放入石英炉管中,在400℃~450℃下进行沉积一层氮化硅的过程。目前,生产线一般使用管式设备,管式PECVD设备中的石英管为卧式炉管,长度约1.8m~2.2m,内有长约20mm的热电偶探测仪。太阳能晶片在石英炉管中易产生碎片,若不及时清理,碎片易压在石英炉管内热电偶探头上导致热电偶测温不准确,碎片还容易与石英管中的石墨舟接触,导致石墨舟短路。目前清洗石英炉管内碎片的办法只有停产降温,用普通吸尘器清理石英炉管内碎片,该办法既耽误生产进程和产量,又存在污染石英炉管的风险。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:为了解决清洗石英炉管内碎片的办法只有停产降温,用普通吸尘器清理石英炉管内碎片,该办法既耽误生产进程和产量,又存在污染石英炉管的风险的问题,现提供了一种简易型炉管碎片清理装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种简易型炉管碎片清理装置,包括支撑座及转动设置在支撑座一端的拨片,所述支撑座下底面铰接有连杆,所述连杆远离支撑座的一端铰接有推杆,所述推杆的一端与所述拨片铰接,所述支撑座上开设有定位孔,所述定位孔内设有限位销,所述限位销的一端设有螺帽,所述螺帽抵设在支撑座的上表面,所述推杆沿其长度方向设有第一限位孔和第二限位孔,当限位销穿过定位孔设置在第一限位孔时,此时支撑座与拨片相互水平设置,当限位销穿过定位孔设置在第二限位孔时,此时支撑座与拨片相互垂直设置。在放入炉管内前,限位销是位于第一限位孔内,此时支撑座是与拨片保持水平状态;在硅片处理完成之后,将支撑座由炉管内拿出时,通过控制限位销插入至第二限位孔内,此时支撑座是与拨片保持垂直状态,在支撑座拿出的同时拨片对炉管内底板的碎片一并带出,起到对炉管的清理。进一步地,所述拨片的下表面设有用于限位拨片的限位块,所述限位块位于所述拨片靠近推杆的一端,当限位块与所述支撑座时,此时支撑座与拨片相互保持垂直状态。为了能够在清理碎片时,能够快速定位拨片,通过限位块与支撑座接触,使得限位销能够快速插入到第二限位孔内。本技术的有益效果是:本技术简易型炉管碎片清理装置在使用时,在放入炉管内前,限位销是位于第一限位孔内,此时支撑座是与拨片保持水平状态;在硅片处理完成之后,将支撑座由炉管内拿出时,通过控制限位销插入至第二限位孔内,此时支撑座是与拨片保持垂直状态,在支撑座拿出的同时拨片对炉管内底板的碎片一并带出,起到对炉管的清理,本技术结构简单,操作方便,能够随支撑座拿出同时将炉管内的碎片进行清理,避免了清洗石英炉管内碎片的办法只有停产降温,用普通吸尘器清理石英炉管内碎片,该办法既耽误生产进程和产量,又存在污染石英炉管的风险的问题。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术简易型炉管碎片清理装置未使用时的主视图;图2是本技术简易型炉管碎片清理装置未使用时的左视图;图3是本技术简易型炉管碎片清理装置在拨片拨碎片时的主视图;图4是本技术简易型炉管碎片清理装置在拨片拨碎片时的左视图。图中:1、支撑座,101、定位孔,2、拨片,3、连杆,4、推杆,401、第一限位孔,402、第二限位孔,5、限位销,501、螺帽,6、限位块。具体实施方式现在结合附图对本技术做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本技术的基本结构,因此其仅显示与本技术有关的构成。实施例如图1、2、3和4所示,一种简易型炉管碎片清理装置,包括支撑座1及转动设置在支撑座1一端的拨片2,所述支撑座1下底面铰接有连杆3,所述连杆3远离支撑座1的一端铰接有推杆4,所述推杆4的一端与所述拨片2铰接,所述支撑座1上开设有定位孔101,所述定位孔101内设有限位销5,所述限位销5的一端设有螺帽501,所述螺帽501抵设在支撑座1的上表面,所述推杆4沿其长度方向设有第一限位孔401和第二限位孔402,当限位销5穿过定位孔101设置在第一限位孔401时,此时支撑座1与拨片2相互水平设置,当限位销5穿过定位孔101设置在第二限位孔402时,此时支撑座1与拨片2相互垂直设置。所述拨片2的下表面设有用于限位拨片2的限位块6,所述限位块6位于所述拨片2靠近推杆4的一端,当限位块6与所述支撑座1时,此时支撑座1与拨片2相互保持垂直状态。上述简易型炉管碎片清理装置在使用时,支撑座1的上表面用于放置了石英舟,再在石英舟上盛放硅片,具体操作步骤如下:首先在将支撑座1放入炉管前,先将限位销5插入到支撑座1上定位孔101内,同时将限位销5插入到推杆4的第一限位孔401内,此时支撑座1与拨片2保持水平状态;当硅片处理完成后,将支撑座1由炉管内拿出时,通过工具将限位销5拔出第一限位孔401,当限位销5脱离第一限位孔401时,拨片2及推杆4在重力作用下向下转动,再推杆4转动时带动连杆3一起转动,限位块6与支撑座1接触,并在限位块6的作用下对拨片2进行限位,支撑座1与拨片2保持垂直状态,再将限位销5插入到第二限位孔402内,限位销5的螺母抵住支撑座1的上表面,此时将在支撑座1拿出的同时拨片2对炉管内底部的碎片一并带出,起到对炉管的清理。上述依据本技术的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。本文档来自技高网...
简易型炉管碎片清理装置

【技术保护点】
一种简易型炉管碎片清理装置,其特征在于:包括支撑座(1)及转动设置在支撑座(1)一端的拨片(2),所述支撑座(1)下底面铰接有连杆(3),所述连杆(3)远离支撑座(1)的一端铰接有推杆(4),所述推杆(4)的一端与所述拨片(2)铰接,所述支撑座(1)上开设有定位孔(101),所述定位孔(101)内设有限位销(5),所述限位销(5)的一端设有螺帽(501),所述螺帽(501)抵设在支撑座(1)的上表面,所述推杆(4)沿其长度方向设有第一限位孔(401)和第二限位孔(402),当限位销(5)穿过定位孔(101)设置在第一限位孔(401)时,此时支撑座(1)与拨片(2)相互水平设置,当限位销(5)穿过定位孔(101)设置在第二限位孔(402)时,此时支撑座(1)与拨片(2)相互垂直设置。

【技术特征摘要】
1.一种简易型炉管碎片清理装置,其特征在于:包括支撑座(1)及转动设置在支撑座(1)一端的拨片(2),所述支撑座(1)下底面铰接有连杆(3),所述连杆(3)远离支撑座(1)的一端铰接有推杆(4),所述推杆(4)的一端与所述拨片(2)铰接,所述支撑座(1)上开设有定位孔(101),所述定位孔(101)内设有限位销(5),所述限位销(5)的一端设有螺帽(501),所述螺帽(501)抵设在支撑座(1)的上表面,所述推杆(4)沿其长度方向设有第一限位孔(401)和第二限位孔(40...

【专利技术属性】
技术研发人员:姚伟忠汤平
申请(专利权)人:常州亿晶光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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