一种空气隔离器制造技术

技术编号:15621656 阅读:100 留言:0更新日期:2017-06-14 04:54
本实用新型专利技术涉半导体设备领域,尤其涉及一种空气隔离器,应用于维护包括一腔体的一外延生长设备,包括外盖,外盖底部设置有用于与腔体对接的一对接口并将隔离气体充盈在外盖与腔体之间,外盖上还开设有一进气口,进气口用于接收外部导入的隔离气体,外盖上还开设有供维护人员的手臂进入的至少一个操作口,至少一个操作口的开口尺寸供维护人员的手臂进入,能够保证维护人员在维护外延生长设备时,腔体与空气隔绝,进而使得腔体上表面石英不会被氧化,以保证高温计的测试结果以及产品的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种空气隔离器
本技术涉及半导体设备领域,尤其涉及一种空气隔离器。
技术介绍
外延生长设备是半导体领域常用的晶圆设备。外延生长设备的腔体常常需要维护保养,每次保养往往会使得腔体暴露在空气中例如12小时导致在UpDome(腔体上表面石英)形成SiO2膜层影响高温计测试异常,从而影响产品品质。
技术实现思路
针对上述问题,本技术提出了一种空气隔离器,应用于维护包括一腔体的一外延生长设备;包括:外盖,底部设置有用于与所述腔体对接的一对接口;所述外盖上还开设有一进气口,所述进气口用于接收外部导入的隔离气体并将所述隔离气体充盈在所述外盖与所述腔体之间;所述外盖上还开设有至少一个操作口,至少一个所述操作口的开口尺寸供维护人员的手臂进入。上述的空气隔离器,其中,所述操作口由柔性遮盖物进行密封。上述的空气隔离器,其中,还包括:一提手,设置于所述外盖的顶部。上述的空气隔离器,其中,还包括:一过滤器,通过一管道与所述进气口连接。上述的空气隔离器,其中,还包括:阀门,设置于所述管道上,用于控制所述管道的通断。上述的空气隔离器,其中,所述隔离气体为氮气。有益效果:本技术提出的一种空气隔离器使得能够保证维护人员在维护外延生长设备时,腔体与空气隔绝,进而使得腔体上表面石英不会被氧化,以保证高温计的测试结果以及产品的质量。附图说明图1为本技术一实施例中空气隔离器的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术进行进一步说明。在一个较佳的实施例中,如图1所示,提出了一种空气隔离器,可以应用于维护包括一腔体的一外延生长设备;可以包括:外盖10,底部可以设置有用于与腔体对接的一对接口(附图中未显示);外盖10上还可以开设有一进气口11,进气口11可以用于接收外部导入的隔离气体并将隔离气体充盈在外盖10与腔体之间;外盖10上还可以开设有供维护人员的手臂进入的至少一个操作口12,至少一个操作口12的开口尺寸供维护人员的手臂进入。在一个较佳的实施例中,如图1所示,操作口可以由柔性遮盖物(附图中未显示)进行密封。具体地,柔性遮盖物可以是由可延展的材料制成,但优选地应为非透气性材料,使得外盖10内的隔离气体不易逃逸至外盖10外部,同时外部空气也不易进入外盖10内对腔体内的石英进行氧化;维护人员的手臂进入操作口12时与柔性遮盖物接触可以使得柔性遮盖物变形,进而使得手臂进入操作口12后操作口仍然处于密封状态。在一个较佳的实施例中,如图1所示,还可以包括:一提手13,可以设置于外盖10的顶部,可以供维护人员提拉和携带。在一个较佳的实施例中,如图1所示,还可以包括:一过滤器20,可以通过一管道21与进气口11连接,可以用于对流经过滤器20的气体进行过滤,过滤器20若为过滤杂质的过滤器,则能够最大程度地保证腔体内的洁净,若为还原性的过滤器,则能够降低气体的氧化性。上述实施例中,优选地,如图1所示,还可以包括:阀门(附图中未显示),可以设置于管道21上,可以用于控制管道21的通断。在一个较佳的实施例中,隔离气体可以为氮气。综上所述,本技术提出的一种空气隔离器,应用于维护包括一腔体的一外延生长设备,包括外盖,外盖底部设置有用于与腔体对接的一对接口,外盖上还开设有一进气口,进气口用于接收外部导入的隔离气体,外盖上还开设有供维护人员的手臂进入的至少一个操作口,能够保证维护人员在维护外延生长设备时,腔体与空气隔绝,进而使得腔体上表面石英不会被氧化,以保证高温计的测试结果以及产品的质量。通过说明和附图,给出了具体实施方式的特定结构的典型实施例,基于本技术精神,还可作其他的转换。尽管上述技术提出了现有的较佳实施例,然而,这些内容并不作为局限。对于本领域的技术人员而言,阅读上述说明后,各种变化和修正无疑将显而易见。因此,所附的权利要求书应看作是涵盖本技术的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容,都应认为仍属本技术的意图和范围内。本文档来自技高网...
一种空气隔离器

【技术保护点】
一种空气隔离器,应用于维护包括一腔体的一外延生长设备;其特征在于,包括:外盖,底部设置有用于与所述腔体对接的一对接口;所述外盖上还开设有一进气口,所述进气口用于接收外部导入的隔离气体并将所述隔离气体充盈在所述外盖与所述腔体之间;所述外盖上还开设有至少一个操作口,至少一个所述操作口的开口尺寸供维护人员的手臂进入。

【技术特征摘要】
1.一种空气隔离器,应用于维护包括一腔体的一外延生长设备;其特征在于,包括:外盖,底部设置有用于与所述腔体对接的一对接口;所述外盖上还开设有一进气口,所述进气口用于接收外部导入的隔离气体并将所述隔离气体充盈在所述外盖与所述腔体之间;所述外盖上还开设有至少一个操作口,至少一个所述操作口的开口尺寸供维护人员的手臂进入。2.根据权利要求1所述的空气隔离器,其特征在于,所述操作口...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨辉沈开春刘品
申请(专利权)人:中航重庆微电子有限公司
类型:新型
国别省市:重庆,50

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