压印装置和物品的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及压印装置和物品的制造方法。用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置包括多个对准观察仪和控制单元。控制单元基于来自多个对准观察仪的输出控制基板的压射区域与模具的对准。多个对准观察仪中的每一个输出指示选自压射区域中的多个第一标记中的第一标记与选自模具上的多个第二标记中的第二标记的相对位置的信息。控制单元基于从多个对准观察仪输出的多条信息中排除了不正确信息的信息控制压射区域与模具的对准。

【技术实现步骤摘要】
压印装置和物品的制造方法
本公开涉及压印装置和物品的制造方法。
技术介绍
用于通过使用模具形成图案的压印装置受到关注。压印装置使模具与供给到基板上的压印材料接触并且在这种状态下使压印材料硬化。在通过使用压印装置在定义了压射区域的基板上形成附加层时，必须使模具与基板的压射区域对准。可通过用对准观察仪(alignmentscope)检测在基板上形成以指示压射区域的位置的标记与在模具上形成以指示模具的位置的标记的相对位置，执行对准。一般地，在一个压射区域中形成多个标记，并且，还在模具上形成多个标记。压射区域中的标记中的一个和模具上的标记中的一个构成标记对，并且，对于各标记对检测压射区域中的标记与模具上的标记之间的相对位置。为了有效地检测多个标记对的相对位置，压印装置可包含多个对准观察仪。日本专利No.4185941公开了包括多个对准观察仪的压印装置。从对准观察仪输出的诸如图像信号的信息可包含各种不正确信息。例如，压射区域中的标记可具有起因于可产生不正确信息的处理的变形和不均匀厚度。并且，当异物粒子附着到基板或模具时，可产生不正确信息。即使不正确信息包含于从对准观察仪输出的用于对准压射区域和模具的多个标记对的多条信息中，常规的压印装置也没有执行不使用不正确信息的处理。因此，可能基于受基于不正确信息检测的不正确的相对位置影响的不正确的对准信息，控制压射区域和模具的对准。这可导致压射区域和模具的对准精度低。
技术实现思路
根据本公开的一个方面的用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置包括：多个对准观察仪和控制单元，控制单元基于来自所述多个对准观察仪的输出控制基板的压射区域与模具的对准，其中，所述多个对准观察仪中的每一个输出指示选自压射区域中的多个第一标记中的第一标记与选自模具上的多个第二标记中的第二标记的相对位置的信息，并且其中，控制单元基于从所述多个对准观察仪输出的多条信息中排除了不正确信息的信息来控制压射区域与模具的对准。从参照附图对示例性实施例的以下描述，本专利技术的其它特征将变得清晰。附图说明图1A是示意性地示出根据本公开的实施例的压印装置的构成的示图。图1B是示意性地示出根据本公开的另一实施例的压印装置的构成的示图。图2是示出由压射区域中的标记(第一标记)和模具上的标记(第二标记)构成的标记对的示图。图3A是示出压射区域中的标记(第一标记)的例子的线/空间图案的示图。图3B是示出模具上的标记(第二标记)的例子的线/空间图案的示图。图3C是示出通过对准第一标记和第二标记获取的波纹的示图。图3D是示出波纹信号的示图。图3E是示出基于图3C中的波纹计算的指标的例子的示图。图4A是示出压射区域的布局的例子的示图。图4B是示出压射区域的布局的另一例子的示图。图5是根据本公开的实施例的压印操作的流程图。图6是根据变更例的压印操作的流程图。图7A是示出波纹信号的例子的示图。图7B是示出通过傅立叶变换从波纹信号导出的一次分量的示图。图7C是示出波纹信号的二次分量的示图。图7D是示出波纹信号的三次分量的示图。图7E是示出波纹信号的四次分量的示图。图7F是示出波纹信号的五次分量的示图。图8是示出粗检标记对和精检标记对的示图。图9是示出两个压射区域的示图。具体实施方式以下将参照附图描述本公开的实施例。图1A示意性地示出根据本公开的实施例的压印装置NIL(纳米压印光刻)的构成。图1B示意性地示出根据本公开的另一实施例的压印装置NIL的构成。关于用于硬化压印材料的硬化单元7和对准观察仪6的部署，图1A中的压印装置NIL和图1B中的压印装置NIL不同。压印装置NIL被配置为使得模具2(具体而言，为模具2的构图部分P)与基板1上的压印材料接触并且使压印材料硬化以形成压印材料的图案。在本说明书和附图中，在与处理目标基板1的表面平行的面是X-Y面的XYZ坐标系中表示方向。与XYZ坐标系中的X轴、Y轴和Z轴平行的方向分别被称为X方向、Y方向和Z方向，并且，关于X轴的旋转、关于Y轴的旋转和关于Z轴的旋转分别被称为θX、θY和θZ。关于X轴、Y轴和Z轴的控制或驱动分别是关于与X轴平行的方向、与Y轴平行的方向和与Z轴平行的方向的控制或驱动。关于θX轴、θY轴和θZ轴的控制或驱动分别是和关于与X方向平行的轴的旋转、关于与Y方向平行的轴的旋转和关于与Z方向平行的轴的旋转有关的控制或驱动。压印材料是通过硬化能量硬化的可固化成分。压印材料要么处于硬化状态要么处于未硬化状态。硬化能量的例子包括电磁波和热。电磁波的例子包括选自大于或等于10纳米(nm)且小于或等于1毫米(mm)的波长的光(例如，红外线、可见光和紫外线)。可固化成分的典型例子是当被光照射或被加热时硬化的成分。通过光硬化的光可固化成分可至少包含聚合性化合物和光聚合引发剂。光可固化成分可另外包含非聚合性化合物或溶剂。非聚合性化合物的例子可以为选自敏化剂(sensitizer)、氢供体、内脱模剂、表面活性剂、抗氧化剂和聚合物的至少一种类型。压印装置NIL可包含基板保持单元11、基板驱动单元12、模具保持单元3、模具驱动单元13、分配器(供给单元)15、多个对准观察仪6、硬化单元7、形状校正单元30和控制单元20。基板保持单元11保持基板1。基板驱动单元12驱动基板保持单元11以关于多个轴(例如，X轴、Y轴和θZ轴这三个轴)驱动基板1。模具保持单元3保持模具2。模具驱动单元13驱动模具保持单元3，以关于多个轴(例如，X轴、Y轴、Z轴、θX轴、θY轴和θZ轴这六个轴)驱动模具2。模具驱动单元13关于Z轴对模具2的驱动包含用于使得基板1上的压印材料与模具2的构图部分P接触的驱动和用于使模具2的构图部分P与基板1上的硬化压印材料分离(释放)的驱动。分配器15是用于将压印材料供给到基板1上的供给单元。多个对准观察仪6中的每一个输出指示选自基板1的压射区域(压射区)中的多个第一标记5的第一标记5与选自模具2上的多个第二标记4的第二标记4的相对位置的信息。压射区域指的是通过模具2与压印材料的接触和压印材料的硬化在其中一次形成图案的基板1的区域。指示所述相对位置的信息的例子包含关于第一标记5和第二标记4的图像数据以及关于由第一标记5和第二标记4形成的光学图像的图像数据。例如，各对准观察仪6可输出指示一个第一标记5和一个第二标记4的相对位置的信息。如图1A示意性地示出的那样，对准观察仪6的至少一部分可被部署在设置于模具保持单元3中的开口中。作为替代方案，如图1B示意性地示出的那样，对准观察仪6可被部署为与模具保持单元3分开。在图1B示意性地示出的例子中，光学系统8可被部署在模具2与多个对准观察仪6之间。光学系统8的例子可以是成像光学系统和/或中继光学系统。在模具2的构图部分P通过模具驱动单元13与通过分配器15供给到基板1的压射区域上的压印材料接触的状态下，硬化单元7(照射单元)向压印材料供给用于硬化压印材料的能量。在本例子中，能量是光，诸如紫外线。在图1A示意性地示出的例子中，硬化单元7被部署在模具保持单元3的开口之上。在图1B中的示意性例子中，硬化单元7被部署为通过部署在模具保持单元3的开口之上的反射镜18照射模具2下面的压印材料。形状校正单元30校正模具2的构图部分P的形状。例如，形状校正单本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，其特征在于该装置包括：多个对准观察仪；和控制单元，控制单元基于来自所述多个对准观察仪的输出控制基板的压射区域与模具的对准，其中，所述多个对准观察仪中的每一个输出指示选自压射区域中的多个第一标记中的第一标记与选自模具上的多个第二标记中的第二标记的相对位置的信息，并且其中，控制单元基于从所述多个对准观察仪输出的多条信息中排除了不正确信息的信息来控制压射区域与模具的对准。

【技术特征摘要】
2015.11.30 JP 2015-2337561.一种用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，其特征在于该装置包括：多个对准观察仪；和控制单元，控制单元基于来自所述多个对准观察仪的输出控制基板的压射区域与模具的对准，其中，所述多个对准观察仪中的每一个输出指示选自压射区域中的多个第一标记中的第一标记与选自模具上的多个第二标记中的第二标记的相对位置的信息，并且其中，控制单元基于从所述多个对准观察仪输出的多条信息中排除了不正确信息的信息来控制压射区域与模具的对准。2.根据权利要求1所述的压印装置，其中，控制单元基于通过处理从各个对准观察仪输出的信息获取的信号的对比度、畸变和强度中的至少一个识别不正确信息。3.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述多个第一标记中的每一个包含第一粗检标记和第一精检标记，其中，所述多个第二标记中的每一个包含第二粗检标记和第二精检标记，其中，指示相对位置的信息包含指示第一粗检标记与第二粗检标记的相对位置的第一信息以及指示第一精检标记与第二精检标记的相对位置的第二信息，并且其中，控制单元基于第一相对位置和第二相对位置之间的差异识别不正确信息，所述第一相对位置是基于第一信息获取的压射区域与模具的相对位置，所述第二相对位置是基于第二信息获取的压射区域与模具的相对位置。4.根据权利要求1所述的压印装置，其中，通过基于从对准观察仪输出的信息获取指示用对准观察仪观察的第一标记与第二标记的相对位置的检测结果，控制单元基于从所述多个对准观察仪输出的多条信息获取多个检测结果，并且将导致与所述多个检测结果的平均值相差超过预定基准的值的检测结果的信息识别为不正确信息。5.根据权利要求1所述的压印装置，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤浩司，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP