固支梁直接加热式微波信号检测器制造技术

本发明专利技术的固支梁直接加热式微波信号检测器由六端口固支梁耦合器，通道选择开关，微波频率检测器，微波相位检测器，直接加热式微波功率传感器级联构成；六端口固支梁耦合器由共面波导，介质层，空气层和固支梁构成；六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口及到第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度分别相同，待测信号经第一端口输入，并由第二端口输出直接加热式微波功率传感器，由第四端口，第六端口输出微波相位检测器，由第三端口，第五端口输出到通道选择开关；通道选择开关的第七端口和第八端口接直接加热式微波功率传感器，通道选择开关的第九端口，第十端口接微波频率检测器；实现了对微波信号的功率、相位、频率同时检测。

【技术实现步骤摘要】
固支梁直接加热式微波信号检测器
本专利技术提出了固支梁直接加热式微波信号检测器，属于微电子机械系统的

技术介绍
在现代化的技术背景下，微波信号检测在相移键控(PSK)、锁相环(PLL)、微波定位、天线相位方向图的测试及测量各种微波器件的相位特性等等方面都有极其广泛的应用。这些系统在实际应用中迫切需要重量轻、体积小、功耗低、集成度高的电子设备。而现有的微波功率、相位、频率检测器都为分立电路且体积较大，为此急需一种可对三种微波参量实现集成检测的系统来满足微波通讯领域的应用需求。本专利技术即是基于Si工艺设计一种单个芯片同时实现检测微波功率、相位、频率的固支梁直接加热式微波信号检测器。
技术实现思路
技术问题：本专利技术的目的是提供一种固支梁直接加热式微波信号检测器，应用六端口固支梁耦合器端口来耦合连接不同的检测功能模块，从而实现了一个芯片同时对微波信号的功率、相位、频率三种微波参量的检测、具有低功耗、低成本的益处。技术方案：本专利技术的固支梁直接加热式微波信号检测器由六端口固支梁耦合器，通道选择开关，微波频率检测器，微波相位检测器，直接加热式微波功率传感器组成；固支梁直接加热式微波信号检测器，其特征在于该相位检测器由六端口固支梁耦合器，通道选择开关，微波频率检测器，微波相位检测器，第一直接加热式微波功率传感器级联构成；其中，六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口以及第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度相同，待测信号经第一端口输入，并由第二端口输出到第一直接加热式微波功率传感器，由第四端口和第六端口输出到微波相位检测器，由第三端口和第五端口输出到通道选择开关；通道选择开关的第七端口和第八端口分别接第二直接加热式微波功率传感器和第三直接加热式微波功率传感器；通道选择开关的第九端口和第十端口接微波频率检测器，从而实现了对微波信号功率、相位、频率的检测。其中，六端口固支梁耦合器由共面波导，介质层，空气层和横跨在其上方固支梁构成；共面波导制作在SiO2层上，固支梁的锚区制作在共面波导上，固支梁的下方沉积有介质层，并与空气层、固支梁共同构成耦合电容结构，两个固支梁之间的共面波导长度为λ/4；有益效果：1)本专利技术的固支梁直接加热式微波信号检测器将微波信号的功率、相位、频率三种测模块集成到一起，应用六端口固支梁耦合器的固支梁来耦合输入信号到不同的检测功能模块，实现了一个芯片同时对微波信号的功率、相位、频率三种微波参量的检测、具有低功耗、低成本的益处；2)本专利技术的固支梁直接加热式微波信号检测器采用直接加热式微波功率传感器检测微波信号的功率，具有较高的灵敏度且无直流功耗；3)本专利技术中的微波相位检测模块采用两个Wilkinson功率合成器，一个Wilkinson功率分配器和两个直接加热式微波功率传感器实现0-360°的相位检测。附图说明图1为本专利技术固支梁直接加热式微波信号检测器的原理框图，图2为六端口固支梁耦合器的俯视图，图3为图2六端口固支梁耦合器的AA’方向剖面图，图4为通道选择开关的俯视图，图5为图4通道选择开关的AA’方向剖面图，图6为Wilkinson功率分配/合成器的俯视图，图7为直接加热式微波功率传感器的俯视图，图8为图7直接加热式微波功率传感器的AA’方向剖面图，图9为图7直接加热式微波功率传感器的BB’方向剖面图。图中包括：六端口固支梁耦合器1，通道选择开关2，微波频率检测器3，微波相位检测器4，第一直接加热式微波功率传感器5-1，第二直接加热式微波功率传感器5-2，第三直接加热式微波功率传感器5-3，第四直接加热式微波功率传感器5-4，第五直接加热式微波功率传感器5-5，第六直接加热式微波功率传感器5-6，第一Wilkinson功率合成器6-1，第二Wilkinson功率合成器6-2，第三Wilkinson功率合成器6-3，Wilkinson功率分配器7，Si衬底8，SiO2层9，共面波导10，锚区11，介质层12，固支梁13，悬臂梁14，空气层15，空气桥16，非对称共面带线17，隔离电阻18，隔直电容上极板19，输出电极20，半导体臂21，金属臂22，热端23，冷端24，隔直电容下极板25，衬底薄膜结构26，终端电阻27，下拉电极28，第一端口1-1，第二端口1-2，第三端口1-3，第四端口1-4，第五端口1-5，第六端口1-6，第七端口2-1，第八端口2-2，第九端口2-3，第十端口2-4，第十一端口6-1，第十二端口6-2，第十三端口6-3。具体实施方式本专利技术固支梁直接加热式微波信号检测器由六端口固支梁耦合器1，通道选择开关2，微波频率检测器3，微波相位检测器4，第一直接加热式微波功率传感器5-1级联构成；六端口固支梁耦合器1由共面波导10，介质层12，空气层15和横跨在其上方固支梁13构成；共面波导10制作在SiO2层9上，固支梁13的锚区11制作在共面波导10上，固支梁13的下方沉积有介质层12，并与空气层15、固支梁13共同构成耦合电容结构，两个固支梁13之间的共面波导10长度为λ/4；通道选择开关2由共面波导10，锚区11，介质层12，悬臂梁14，下拉电极28构成；悬臂梁14的锚区11制作在共面波导10上，悬臂梁下方制作下拉电极28，并与下拉电极28上方介质层12共同构成开关结构；微波频率检测器3由第三Wilkinson功率合成器6-3和第六直接加热式微波功率传感器5-6级联构成；微波相位检测器4由第四直接加热式微波功率传感器5-4和第五直接加热式微波功率传感器5-5，第一Wilkinson功率合成器6-1，第二Wilkinson功率合成器6-2，Wilkinson功率分配器7构成；Wilkinson功率合成器，Wilkinson功率分配器的拓扑结构相同，由共面波导10、空气桥16、非对称共面带17和隔离电阻18构成，信号从第十一端口6-1输入为Wilkinson功率分配器7，信号从第十二端口6-2，第十三端口6-3输入为Wilkinson功率合成器六端口固支梁耦合器1的第一端口到第三端口、第四端口以及第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度分别相同；待测信号经六端口固支梁耦合器1的第一端口输入，并由第二端口输出到第三直接加热式微波功率传感器5-3，由第四端口和第六端口输出到微波相位检测器4，由第三端口和第五端口输出到通道选择开关2；通道选择开关2的第七端口2-1和第八端口2-2接第二直接加热式微波功率传感器5-2和第三直接加热式微波功率传感器5-3，通道选择开关2的第九端口和第十端口接微波频率检测器3；实现了一个芯片同时对微波信号的功率、相位、频率三种微波参量的检测、具有低功耗、低成本的益处。其微波功率、相位、频率的检测原理可以解释如下：功率检测：如图5所示微波功率从输入端口输入，通过共面波导10输入到终端电阻27消耗转化成热量；半导体臂21和金属臂22构成热电偶，热电偶的中间区域作为热端23，热电偶的边缘区域作为冷端24；根据Seebeck效应，通过测量输出电极20的热电势可知输入微波功率大小；隔直电容上极板19，隔直电容下极板25及介质层11构成隔直电容来防止输出电极20短路；热电偶的热端21背部将衬底减薄构成衬底薄膜结构26用以提高检测灵敏度。频率检测：如图1所示微本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固支梁直接加热式微波信号检测器，其特征在于该相位检测器由六端口固支梁耦合器(1)，通道选择开关(2)，微波频率检测器(3)，微波相位检测器(4)，第一直接加热式微波功率传感器(5‑1)级联构成；其中，六端口固支梁耦合器(1)的第一端口(1‑1)到第三端口(1‑3)、第四端口(1‑4)以及第一端口(1‑1)到第五端口(1‑5)、第六端口(1‑6)的功率耦合度相同，待测信号经第一端口(1‑1)输入，并由第二端口(1‑2)输出到第一直接加热式微波功率传感器(5‑1)，由第四端口(1‑4)和第六端口(1‑6)输出到微波相位检测器(4)，由第三端口(1‑3)和第五端口(1‑5)输出到通道选择开关(2)；通道选择开关(2)的第七端口(2‑1)和第八端口(2‑2)分别接第二直接加热式微波功率传感器(5‑2)和第三直接加热式微波功率传感器(5‑3)；通道选择开关(2)的第九端口(2‑3)和第十端口(2‑4)接微波频率检测器(3)，从而实现了对微波信号功率、相位、频率的检测；其中，六端口固支梁耦合器(1)由共面波导(10)，介质层(12)，空气层(15)和横跨在其上方固支梁(13)构成；共面波导(10)制作在SiO...

【技术特征摘要】
1.一种固支梁直接加热式微波信号检测器，其特征在于该相位检测器由六端口固支梁耦合器(1)，通道选择开关(2)，微波频率检测器(3)，微波相位检测器(4)，第一直接加热式微波功率传感器(5-1)级联构成；其中，六端口固支梁耦合器(1)的第一端口(1-1)到第三端口(1-3)、第四端口(1-4)以及第一端口(1-1)到第五端口(1-5)、第六端口(1-6)的功率耦合度相同，待测信号经第一端口(1-1)输入，并由第二端口(1-2)输出到第一直接加热式微波功率传感器(5-1)，由第四端口(1-4)和第六端口(1-6)输出到微波相位检测器(4)，由第三端口(1-3)和第五端口(1-5)输出到通道选择开关(2)；通道选择开关(2)的第七端口(2-1)和第八端口(2-2)分别接第二直接加热式微波功率传感器(5-2)和第三直接加热式微波功率传感器(5-3)；通道选择开关(2)的第九端口(2-3)和第十端口(2-4)接微波频率检测器(3)，从而实现了对微波信号功率、相位、频率的检测；其中，六端口固支梁耦合器(1)由共面波导(10)，介质层(12)，空气层(15)和横跨在其上方固支梁(13)构成；共面波导(10)制作在SiO2层(9)上，固支梁(13)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，闫浩，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32