处理装置以及处理系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及处理装置和处理系统，其目的在于防止处理装置的非熟练作业者作业效率下降。本实用新型专利技术的处理装置通过外装部件(100a)的入口处外装部件(50a)上的入口导入处理对象物，在收纳在该外装部件(100a)内部的处理部中对所述处理对象物实施规定处理后，从外装部件的出口处外装部件(60a)上的出口排出经过处理的处理对象物，所述外装部件(100a)为中空结构，从外部遮蔽所述处理部的周围区域之中沿着所述处理对象物从入口处移动到出口处的移动路径的整个外周部分，该入口处和该出口处设有开口。

【技术实现步骤摘要】
处理装置以及处理系统
本专利技术涉及处理装置和处理系统。
技术介绍
以往的处理装置通常用处理部接受从外部导入的处理对象物，在该处理部中实施规定处理之后，排出该处理对象物。例如，专利文献1公开一种激光加工装置，该激光加工装置用光源发射的光(加工光)照射加工对象物(处理对象物)，对加工对象物上的ITO薄膜实施图案加工，或者对以金属薄板形成的加工对象物本身进行切削加工。在该激光加工装置中，加工对象物被卷成卷状保管在加工对象物供给部中。从该加工供给部中拉出该加工对象物，将该加工对象物中的被加工部分移动到激光加工装置的加工区域。而后用扫描振镜(光扫描装置)二维扫描光源发射的激光光束，对加工对象物实施加工处理。加工处理之后，进一步拉出加工对象物，将下一个被加工部分移动到激光加工装置的加工区域，同时，用激光加工装置的加工物卷入部卷入经过处理的加工部分。而在一般情况下，不仅上述激光加工装置，在工厂内等实施各种处理的处理装置均需要作业者实行某些作业。关于作业者实行的某些作业，例如有在处理之前将处理对象物设置到处理装置上、或者将经过处理的处理对象物从处理装置中取出、监视处理装置的处理动作、解除处理装置故障的保守业务、维修等各种作业。作业者如果不熟悉这些处理装置，会使得作业效率降低。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术提供一种处理装置，用于将处理对象物导入处理部，由该处理部对该处理对象物实施规定处理后，排出经过该规定处理的处理对象物，所述处理装置的特征在于，具有内部收纳所述处理部的第一外装部件，该第一外装部件为中空结构，从外部遮蔽所述处理部的周围区域之中沿着所述处理对象物从入口处移动到出口处的移动路径的整个外周部分，该入口处和该出口处上设有开口。本专利技术的效果在于，能够防止处理装置的非熟练作业者作业效率下降。附图说明图1是实施方式涉及的激光图案加工装置的主要部分的结构示意图。图2是图1所示激光图案加工装置中一例激光发振器的结构示意图。图3是图1所示激光图案加工装置中光扫描装置的一变形例的结构示意图。图4是图1所示激光图案加工装置中一例加工对象输送部的结构示意图。图5是图1所示激光图案加工装置中加工对象输送部的俯视图。图6是图1所示激光图案加工装置中另一例加工对象输送部的结构示意图。图7是图1所示激光图案加工装置中载体位于主扫描方向上不同位置时的激光光路示意图。图8是图1所示激光图案加工装置的外观立体图。图9是图1所示激光图案加工装置的外观正视图。图10是作业者能够联想到的加工对象物在图1所示激光图案加工装置中的动作和处理流程的示意图。图11是作业者能够联想到的作业处理系统中依次对加工对象物实施规定处理时加工对象物的动作和处理流程的示意图。具体实施方式以下描述一例用本专利技术涉及的处理装置作为光加工装置的激光图案加工装置的实施方式。本专利技术涉及的激光图案加工装置的加工对象物是在基体上形成ITO薄膜，通过激光(加工光)照射该加工对象物上的ITO薄膜，去除一部分ITO薄膜，对ITO薄膜实施图案加工。但是，本专利技术涉及的光加工装置不受本实施方式1涉及的激光图案加工装置的限制，同样可以适用于加工其他图案的加工装置、切削加工等其他加工处理装置、或者实行处理对象物检查处理等检查装置等等。图1是本实施方式的激光图案加工装置的主要部分的结构示意图。本实施方式的激光图案加工装置具备激光输出部1、激光扫描部2、加工对象输送部3、以及控制部4。激光输出部1具有作为光源的激光起振器11和光扩束器12。光扩束器12用来扩大从激光起振器11输出、作为加工光的激光L的光束直径。激光扫描部2具有作为会聚部的fθ透镜22，该fθ透镜22用来将通过扫描振镜(galvanometericscanner)21、22扫描的激光L会聚到加工对象物35表面(被加工面)或者基体与ITO薄膜之间的界面等加工对象物内部(与加工对象物表面相距规定深度的部位)，其中的扫描振镜21、22是用来通过步进电机21b驱动转动反射激光L的X轴向扫描用和Y轴向扫描用的两个Galvano反射镜21a，用以使得激光L在X轴向和Y轴向进行扫描的光扫描装置。激光输出部1的激光发振器11受到激光驱动部10的控制。具体为，激光驱动部10控制与激光扫描部2的扫描振镜21的扫描动作联动的激光发振器11的发光。可以使用对基体的热作用引起的损耗较少的100ns以下的脉冲发振发生的脉冲光纤激光器作为激光发振器11，也可以使用其它光源。图2是本实施方式1的激光发振器11的一例结构模块图。本实施方式1的激光发振器11是被称为MOPA(MasterOscillatorPowerAmplifier)的脉冲光纤激光器。该激光发振器11用脉冲发生器73使得光源LD74脉冲发振，生成光源光。激光发振器11包含用光纤增幅器进行多阶段增幅的脉冲引擎部70、引导从脉冲引擎部70输出的激光L的输出光纤71、以及用准直光学系统83作为平行光束形成部而使得激光L大致成为平行光束射出的输出头部72。本实施方式1中，只有输出头部72被设置在激光输出部1中。脉冲引擎部70包含具有光纤78、励起LD76、耦合器77的前置增幅部、以及具有光纤82、励起LD80、耦合器81的主增幅部。光纤为光纤芯掺稀土元素的双包层结构，通过来自励起LD76的励起光的吸收，在光纤的输出端和入射端设置的反射镜之间来回反射，直到激光发振。图2中标记75表示遮挡逆向光的隔离部，标记79表示用来去除ASE光的带通滤波器。本实施方式1用近红外的1064nm作为光源LD74的波长。除此之外，也可以根据加工对象物的材料，选择第二高谐波的532nm、第三高谐波的355nm等各种合适的波长。此外，激光发振器11还可以使用固体激光器，如用励起光照射以钒酸钇结晶形成激光媒体，产生激光振发的YVO4等。激光扫描部2的扫描振镜21中，用来转动X轴向扫描用和Y轴向扫描用的各Galvano反射镜21a的各台步进电机21b受扫描振镜控制部20控制。扫描振镜控制部20根据构成加工图案的布线要素数据(线始点坐标和线终点坐标)，来控制各台步进电机21b，改变相对于Galvano反射镜21a反射面的倾斜角度(反射面相对于入射反射面的激光的光轴的倾斜角度)，使该倾斜角度在平行于X轴向的方向或者平行于Y轴向的方向上变化。这样便使得各Galvano反射镜21a从扫描开始倾斜角度到扫描结束倾斜角度的转动，能够与线要素的始点和终点的X-Y坐标相对应。本实施方式1中的X轴向扫描和Y轴向扫描均采用扫描振镜作为光扫描装置，但是本专利技术并不受此限制，允许使用众所周知的光扫描装置。还可以对X轴向扫描用的光扫描装置和Y轴向扫描用的光扫描装置采用不同的光扫描装置。例如如图3所示，以扫描振镜21作为Y轴向扫描用的扫描装置，而对X轴向的扫描则以用电机91驱动多面镜91a转动的多面镜扫描器91作为扫描装置。此时如图3所示，基于经过多面镜91a反射的激光L经由透镜92入射光学传感器93受光的受光时间，来实行X轴向的光扫描控制。载体25可以在主扫描方向(X轴向)移动，该载体25上搭载激光扫描部2。载体25被安装在同步带27上，该同步带27被挂设在驱动滑轮27a和从动滑轮27b之间。驱动与驱动滑轮27a相连接的同步电机26，带动同步带27，使得本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种处理装置，用于将处理对象物导入处理部，由该处理部对该处理对象物实施规定处理后，排出经过该规定处理的处理对象物，所述处理装置的特征在于，具有内部收纳所述处理部的第一外装部件，该第一外装部件为中空结构，从外部遮蔽所述处理部的周围区域之中沿着所述处理对象物从入口处移动到出口处的移动路径的整个外周部分，该入口处和该出口处上设有开口。

【技术特征摘要】
2015.09.15 JP 2015-1820311.一种处理装置，用于将处理对象物导入处理部，由该处理部对该处理对象物实施规定处理后，排出经过该规定处理的处理对象物，所述处理装置的特征在于，具有内部收纳所述处理部的第一外装部件，该第一外装部件为中空结构，从外部遮蔽所述处理部的周围区域之中沿着所述处理对象物从入口处移动到出口处的移动路径的整个外周部分，该入口处和该出口处上设有开口。2.一种处理装置，用于将处理对象物导入处理部，由该处理部对该处理对象物实施规定处理后，排出经过该规定处理的处理对象物，所述处理装置的特征在于，具有内部收纳所述处理部的第一外装部件，所述第一外装部件构成为，从外部遮蔽所述处理部的周围区域之中沿着所述处理对象物从入口处移动到出口处的移动路径的外周部分中至少侧面部分，但不从外部遮蔽该入口处和该出口处，进而，与所述处理装置的设置场所的地面、壁面或者屋顶面中至少一个面一起，构成在所述入口处和所述出口处设有开口的中空结构。3.根据权利要求1或2所述的处理装置，其特征在于，进一步具有设于所述第一外装部件的所述入口处和所述出口处中至少一方上的第二外装部件，所述第二外装部件的外壁表面颜色亮度低于所述第一外装部件的外壁表面颜色亮度。4.根据权利要求3所述的处理装置，其特征在于，所述第一外装部件的外壁表面颜色...

【专利技术属性】
技术研发人员：西村裕太，
申请(专利权)人：株式会社理光，
类型：新型
国别省市：日本,JP