扫描电镜用多功能非标样品台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种扫描电镜用多功能非标样品台，包括基座，其特征是：在所述基座上设置多个放置样品或者小样品台的螺纹孔；在所述基座的一侧安装能够升降和相对基座平移的调节板，调节板和基座之间为用于夹持样品的间隙。所述基座底部与电镜样品仓中的马达相连接。所述调节板上远离基座的一侧设置平移螺杆，调节板的底部设置升降螺杆。所述基座的形状为长方形。本实用新型专利技术所述样品台不仅能够满足常规样品的放置，对于底部不平，尤其是超薄样品的放置更能有优势，同时可以放置各种类型、各种高度的样品，节约抽真空时间，提高检测效率。

【技术实现步骤摘要】
扫描电镜用多功能非标样品台
本技术涉及一种扫描电镜用样品台，尤其是一种扫描电镜用多功能非标样品台。
技术介绍
扫描电镜在材料分析及检测中是一种重要的分析仪器。扫描电子显微镜利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。样品室是电子束系统的重要组成部分，除了放置样品外，还要在合适位置安放各种信号探测器。而其中的样品台，是一个复杂而精密的组件，靠马达带动可以实现X、Y、Z向的步进式移动以及转动,应能可靠地承载或夹持样品，并使样品能够实现平移、倾斜和旋转等动作，以便对样品上每一特定位置或特定方位进行分析。由于扫描电镜观察的试样种类繁多，形状各异，对于一些底部不平或者一些超薄样品，不能站立摆放试样，无法用双面导电胶带将试样固定在样品台上，从而不能实现样品台的移动或旋转，给扫描电镜分析造成诸多不便；同时对于需要检测各种类型的样品，由于其高度不一致，避免在观察较低样品时，较高的样品会碰到探测器，往往要分不同批次进行测试，每次放置样品都需要花费不少的时间去抽真空，降低了检测效率。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种扫描电镜用多功能非标样品台，该样品台不仅能够满足常规样品的放置，对于底部不平，尤其是超薄样品的放置更能有优势，同时可以放置各种类型、各种高度的样品，节约抽真空时间，提高检测效率。按照本技术提供的技术方案，所述扫描电镜用多功能非标样品台，包括基座，其特征是：在所述基座上设置多个放置样品或者小样品台的螺纹孔；在所述基座的一侧安装能够升降和相对基座平移的调节板，调节板和基座之间为用于夹持样品的间隙。进一步的，所述基座底部与电镜样品仓中的马达相连接。进一步的，所述基座底部通过U型槽与电镜样品仓中的马达相连接。进一步的，所述调节板上远离基座的一侧设置平移螺杆，调节板的底部设置升降螺杆。进一步的，所述基座的形状为长方形。进一步的，所述基座的尺寸为70mm×50mm×8mm，基座上螺纹孔的直径为3mm；所述调节板采用金属板，尺寸为70mm×50mm×8mm，调节板的升降范围为基座以上0～8mm，平移范围为基座侧面0～10mm。进一步的，所述基座底部的U型槽的材质为铜合金。本技术具有以下优点：（1）样品台不仅能够满足常规样品的放置，对于底部不平，尤其是超薄样品的放置更能有优势；（2）本技术所述样品台可以放置各种类型、各种高度的样品，节约抽真空时间，提高检测效率。附图说明图1为本技术所述扫描电镜用多功能非标样品台的结构示意图。图2为所述样品台基座底部U型槽的示意图。具体实施方式下面结合具体附图对本技术作进一步说明。如图1～图2所示：所述扫描电镜用多功能非标样品台包括基座1、螺纹孔2、调节板3、平移螺杆4、升降螺杆5、U型槽6等。如图1所示，本技术所述扫描电镜用多功能非标样品台，包括基座1，基座1底部中央设置U型槽6，基座1通过U型槽6与电镜样品仓中的马达相连接；在所述基座1上设置6个螺纹孔2，螺纹孔2可以用于放置样品或者小样品台。在所述基座1的一侧安装能够升降和相对基座1平移的调节板3；所述调节板3上远离基座1的一侧设置平移螺杆4，用于实现调节板3相对基座1之间的水平移动；所述调节板3的底部设置升降螺杆5，用以实现调节板3的升降动作。所述基座1的形状为长方形，尺寸为70mm×50mm×8mm，基座1上螺纹孔2的直径为3mm；所述调节板3采用金属板，尺寸为70mm×50mm×8mm，调节板3的升降范围为基座1以上0～8mm，平移范围为基座1侧面0～10mm；所述基座1底部的U型槽6材质为铜合金。本技术的工作过程如下：本技术应用于扫描电镜检测时放置样品，具体应用情况如下：试样做完预处理后，放置于基座1上或者以基座1的螺纹孔2中安装小样品台，将试样放置于小样品台上。对于底部不平的试样，通过调节升降螺杆5来实现调节板3的升降高度，使试样的高度统一。对于超薄样品，通过调节平移螺杆4调整调节板3和基座1之间的水平位置，将超薄样品夹持于调节板3和基座1之间的间隙，在试样台移动和倾斜的过程中不会滑动，而且可以放置不同高度的试样，提高检测效率。样品室抽真空，达到设备所需真空程度后，加电压进行试样观察。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描电镜用多功能非标样品台，包括基座（1），其特征是：在所述基座（1）上设置多个放置样品或者小样品台的螺纹孔（2）；在所述基座（1）的一侧安装能够升降和相对基座（1）平移的调节板（3），调节板（3）和基座（1）之间为用于夹持样品的间隙。

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜用多功能非标样品台，包括基座（1），其特征是：在所述基座（1）上设置多个放置样品或者小样品台的螺纹孔（2）；在所述基座（1）的一侧安装能够升降和相对基座（1）平移的调节板（3），调节板（3）和基座（1）之间为用于夹持样品的间隙。2.如权利要求1所述的扫描电镜用多功能非标样品台，其特征是：所述基座（1）底部与电镜样品仓中的马达相连接。3.如权利要求1所述的扫描电镜用多功能非标样品台，其特征是：所述基座（1）底部通过U型槽（6）与电镜样品仓中的马达相连接。4.如权利要求1所述的扫描电镜用多功能非标样品台，其特征是：所述调节板（3）上远离基座（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟文华，吕新峰，曾伟传，
申请(专利权)人：无锡市产品质量监督检验中心，
类型：新型
国别省市：江苏,32