The present invention provides a mask assembly. The mask assembly includes a carbon fiber material layer has a first hollow area; the first metal layer, at least one side surface is arranged on the carbon fiber material layer, and the first metal layer has second hollow area corresponding to the first hollow area. Since the carbon fiber material layer has the characteristics of low expansion and high strength, resulting in the application of the mask assembly not only reduces the influence of temperature changes in the process of its reliability, but also reduces the temperature changes in the size change of the mask component hollowed out pattern; and the first metal layer can make the mask the component has a smooth surface, which can avoid the evaporation, sputtering or printing preparation process when the material accumulation on the surface of the mask assembly, which eliminates the need for follow-up to remove the accumulation of material scraping process and scraping process of damage, make the mask assembly at the same time to meet the needs of high precision and high strength.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及掩膜
,具体而言,涉及一种掩膜组件。
技术介绍
目前,用于蒸镀工艺的蒸镀罩主要是直接采用金属丝网或是进行金属电铸形成网版的方式。然而,上述方式均具有尺寸安定性的问题,其根本的原因是由于金属或丝网材料具有弹性,从而在蒸镀过程中上述材料会随使用时间及温度产生一定的变形量或是弹性疲劳的现象,导致蒸镀罩的寿命减少,或蒸镀罩中镂空图案的尺寸随之产生对位差异,尤其是在大面积组件的生产制作上,微量的尺寸变化会导致整体面积的累积变化量超过设计误差。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种掩膜组件,以解决现有技术中蒸镀罩的寿命较低且蒸镀罩中镂空图案的尺寸已发生变化的问题。为了实现上述目的,根据本专利技术的一个方面,提供了一种掩膜组件,包括:碳纤维材料层,具有第一镂空区域;第一金属层,设置于碳纤维材料层的至少一侧表面,且第一金属层具有与第一镂空区域对应的第二镂空区域。进一步地,上述碳纤维材料层为碳纤维布或碳纤维膜。进一步地,上述掩膜组件还包括第二金属层,第二金属层设置于碳纤维材料层和第一金属层对应第一镂空区域和第二镂空区域的表面上。进一步地,上述第一金属层和/或第二金属层的热膨胀系数为0~5ppm/℃。进一步地,上述第一金属层和/或第二金属层为磁性金属层。进一步地,上述第一金属层和/或第二金属层为铁镍合金层。进一步地,在碳纤维材料层的延伸方向上,第二金属层的厚度为0.5~30μm。进一步地,上述第一金属层的厚度为5~50μm。进一步地,上述掩膜组件的厚度为30~150μm。进一步地,上述掩膜组件还包括与碳纤维材料层和/或第一金属层连接的固定框。应用本 ...
【技术保护点】
一种掩膜组件,其特征在于,包括:碳纤维材料层(10),具有第一镂空区域;第一金属层(20),设置于所述碳纤维材料层(10)的至少一侧表面,且所述第一金属层(20)具有与所述第一镂空区域对应的第二镂空区域。
【技术特征摘要】
1.一种掩膜组件,其特征在于,包括:碳纤维材料层(10),具有第一镂空区域;第一金属层(20),设置于所述碳纤维材料层(10)的至少一侧表面,且所述第一金属层(20)具有与所述第一镂空区域对应的第二镂空区域。2.根据权利要求1所述的掩膜组件,其特征在于,所述碳纤维材料层(10)为碳纤维布或碳纤维膜。3.根据权利要求1所述的掩膜组件,其特征在于,所述掩膜组件还包括第二金属层(30),所述第二金属层(30)设置于所述碳纤维材料层(10)和所述第一金属层(20)对应所述第一镂空区域和所述第二镂空区域的表面上。4.根据权利要求3所述的掩膜组件,其特征在于,所述第一金属层(20)和/或第二金属层(30)的热膨胀系数为0~5ppm/℃。5.根据权利要求4所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:周淑金,
申请(专利权)人:张家港康得新光电材料有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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