光罩检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光罩检测装置，包含转动平台、承载平台、影像撷取模块及检测处理模块。转动平台的一面设置发光单元。承载平台设在转动平台设有发光单元的一面上，承载平台承载光罩，而发光单元照射光罩对应转动平台的一面。影像撷取模块对应光罩的另一面，且位于承载平台的上方，以采集光罩的校正前影像。检测处理模块接收并判断校正前影像中的光罩是否符合预设放置位置，若不符合则产生校正信号，使转动平台依据校正信号水平转动校正角度，若符合则产生检测信号，使影像撷取模块采集光罩的全幅检测影像，检测处理模块通过接收且读取全幅检测影像上的条形码图标而取得光罩信息，并检测全幅检测影像中的微粒以产生检测信息。

【技术实现步骤摘要】
光罩检测装置
本技术涉及一种光罩检测装置，特别涉及一种可通过转动平台对光罩的放置位置进行校正，且利用大面积背光打光方式，采集清楚的光罩的全幅检测影像进行检测的光罩检测装置。
技术介绍
就现有的半导体元件制造技术来说，半导体元件的电路图案是通过光罩将电路图案转印至晶圆的表面上形成的。由于半导体元件的微小化，在制造半导体元件的过程中，光罩的缺陷将会大大影响硅晶圆表面的电路图案的质量，例如造成电路图案的扭曲或变形；目前最常见的造成光罩缺陷的原因在于光罩的表面附有微粒。承上述，如何在光罩的使用之前，将表面附有微粒的光罩检测出来，将是此相关产业亟需思考并解决的一大课题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种光罩检测装置，用以解决
技术介绍
中所面临的问题。为了实现以上目的，本技术提供一种光罩检测装置，包含转动平台、承载平台、影像撷取模块及检测处理模块。转动平台的一面设置发光单元。承载平台设在转动平台设有发光单元的一面上，承载平台承载光罩，而发光单元照射光罩对应转动平台的一面。影像撷取模块对应光罩的另一面，且位于承载平台的上方，以采集光罩的校正前影像。接收并判断校正前影像中的光罩是否符合预设放置位置，若不符合则产生校正信号，使转动平台依据校正信号水平转动校正角度，若符合则产生检测信号，使影像撷取模块采集光罩的全幅检测影像，接收且读取全幅检测影像上的条形码图示而取得光罩信息，并检测全幅检测影像中的微粒以产生检测信息的检测处理模块，其连接转动平台及影像撷取模块。较佳地，光罩上的至少二个邻近角落处可分别具有定位图示。较佳地，光罩检测装置还可包含接收全幅检测影像及检测信息，且据以显示检测画面的显示模块，其连接检测处理模块。较佳地，光罩检测装置还可包含输送导轨，其连接转动平台，使转动平台沿着输送导轨往复位移。较佳地，发光单元可为背光板。较佳地，校正角度可为0至360度。较佳地，检测信息可包含微粒位置、微粒尺寸或其组合。综上所述，本技术的光罩检测装置通过影像撷取模块所采集的校正前影像及后续采集的校正后影像，以供检测处理模块据以判断，从而具有校正光罩至正确放置位置的功效；进一步地，通过发光单元对光罩进行大面积打光，可使对光罩采集的全幅检测影像更为清楚，从而达到精密检测的目的，且具有增进检测效率的优点。附图说明图1为本技术的光罩检测装置的示意图。图2为本技术的光罩检测装置的方块图。图3为本技术的光罩检测装置的光罩的示意图。符号说明100：光罩检测装置101：条形码图示102：定位图示110：转动平台111：发光单元120：承载平台121：光罩130：影像撷取模块140：检测处理模块150：显示模块160：输送导轨。具体实施方式为利审查员了解本技术的特征、内容与优点及其所能达成的功效，兹将本技术配合图式，并结合实施例的表达形式详细说明如下，而其中所使用的附图，其主旨仅为示意及辅助说明书之用，未必为本技术施后的真实比例与精准配置，故不应就所附的附图的比例与配置关系解读、局限本技术于实际实施上的权利范围。本技术的优点、特征以及达到的技术方法将参照例示性实施例及所附图式进行更详细地描述而更容易理解，且本技术或可以不同形式来实现，故不应被理解仅限于此处所陈述的实施例，相反地，对所属
具有通常知识者而言，所提供的实施例将使本揭露更加透彻与全面且完整地传达本技术的范畴，且本技术将仅为所附加的申请专利范围所定义。请参阅图1及2，图1为本技术的光罩检测装置的示意图；图2为本技术的光罩检测装置的方块图。如图所示，本技术的光罩检测装置100包含了转动平台110、承载平台120、影像撷取模块130及检测处理模块140。其中，转动平台110用以带动承载平台120一同转动以进行校正，影像撷取模块130则在各阶段采集对应的影像，而检测处理模块140则电性连接所述转动平台110及影像撷取模块130，并在各阶段产生对应的信号用来控制转动平台110、影像撷取模块130或其他模块元件动作。更详细地说，本技术的光罩检测装置100所包含的转动平台110的一面设置有发光单元111；发光单元111可为背光板，以对光罩121进行大面积打光，但并不以此为限。承载平台120设于转动平台110设有发光单元111的一面上，承载平台120承载着光罩121，光罩121距离发光单元111一定距离，而发光单元111则照射光罩121对应转动平台110的一面。影像撷取模块130对应光罩121的另一面，且位于承载平台120的上方，用于采集光罩121的校正前影像；然而，影像撷取模块130并不只对光罩121采集校正前影像，而后影像撷取模块130将对光罩121采集全幅检测影像；影像撷取模块130还可以在采集全幅检测影像之前采集至少一张校正后影像；对此将于后续内容中进行详细说明。检测处理模块140接收并判断校正前影像中的光罩121是否符合预设放置位置，若不符合则产生校正信号，使转动平台110根据校正信号，水平转动校正角度，校正角度为0至360度；若符合则产生检测信号，使影像撷取模块130采集光罩121的全幅检测影像，检测处理模块140接收且读取全幅检测影像上的条形码图示取得光罩信息，并检测全幅检测影像中的微粒以产生检测信息。当转动平台110水平转动校正角度后，影像撷取模块130可采集校正后的光罩121的校正后影像，当检测处理模块140接收并判断校正后影像中的光罩121符合预设放置位置时，将产生检测信号以使影像撷取模块130采集光罩121的全幅检测影像；若校正后影像中的光罩121不符合预设放置位置时，将再产生校正信号至转动平台110。因此，当检测处理模块140判断校正前的光罩121不符合预设放置位置时，需执行至少一次由转动平台110转动校正，再以影像撷取模块130采集校正后影像供检测处理模块140判断是否校正至预设放置位置的校正动作，方能完成光罩121的放置位置的校正；换言之，在校正光罩121的放置位置的校正过程中，转动平台110将执行至少一次的转动，影像撷取模块130则采集至少一次的校正后影像。在实际操作本技术的光罩检测装置100时，需通过机械手臂或人工运送方式将待检测的光罩121放至于承载平台120之上；而无论是以机械手臂或人工运送，光罩121相对于承载平台120的放置位置皆有可能具有误差。因此，本技术光罩检测装置100需先对光罩121进行校正检测；首先，影像撷取模块130将采集光罩121的校正前影像；检测处理模块140将接收影像撷取模块130所采集的校正前影像，并对校正前影像进行分析判断。其中，若判断结果其符合预设放置位置，即光罩121的放置位置并未具有误差时，检测处理模块140将会对应产生检测信号，并将检测信号传送至影像撷取模块130，影像撷取模块130将依据检测信号对光罩121采集全幅检测影像，并将全幅检测影像提供给检测处理模块140进行检测分析。若判断结果为不符合预设放置位置时，则表示光罩121相对承载平台120的放置位置存在误差，故需进行校正；检测处理模块140将对应产生校正信号，并传送校正信号至转动平台110，以驱使转动平台110根据校正信号转动一校正角度。影像撷取模块130将在转动平台11本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光罩检测装置，其特征在于，包含：转动平台，其一面设置有发光单元；承载平台，是设在所述转动平台设有所述发光单元的一面上，所述承载平台承载光罩，而所述发光单元是照射所述光罩对应所述转动平台的一面；影像撷取模块，是对应所述光罩的另一面，且位于所述承载平台的上方，以采集所述光罩的校正前影像；以及接收并判断所述校正前影像中的所述光罩是否符合预设放置位置，若不符合则产生校正信号，使所述转动平台依据所述校正信号水平转动校正角度，若符合则产生检测信号，使所述影像撷取模块采集所述光罩的全幅检测影像，接收且读取所述全幅检测影像上的条形码图示而取得光罩信息，并检测所述全幅检测影像中的微粒以产生检测信息的检测处理模块，连接所述转动平台及所述影像撷取模块。

【技术特征摘要】
2015.11.09 TW 1042179141.一种光罩检测装置，其特征在于，包含：转动平台，其一面设置有发光单元；承载平台，是设在所述转动平台设有所述发光单元的一面上，所述承载平台承载光罩，而所述发光单元是照射所述光罩对应所述转动平台的一面；影像撷取模块，是对应所述光罩的另一面，且位于所述承载平台的上方，以采集所述光罩的校正前影像；以及接收并判断所述校正前影像中的所述光罩是否符合预设放置位置，若不符合则产生校正信号，使所述转动平台依据所述校正信号水平转动校正角度，若符合则产生检测信号，使所述影像撷取模块采集所述光罩的全幅检测影像，接收且读取所述全幅检测影像上的条形码图示而取得光罩信息，并检测所述全幅检测影像中的微粒...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志强，
申请(专利权)人：艾斯迈科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71