彩色滤光基板及其形成方法和光罩技术

本发明专利技术提供一种彩色滤光基板及其形成方法和光罩，其中，彩色滤光基板包括形成于额缘区的不等厚彩色光阻层。所述不等厚彩色光阻层在与开口区彩色光阻位置对应的区域具有第一厚度，所述不等厚彩色光阻层在与开口区光阻垫块相对应位置的区域具有第二厚度，所述第二厚度小于所述第一厚度。这样在所述额缘区不等厚彩色光阻层中第二厚度对应位置处形成间隔柱时，所述间隔柱下方的不等厚彩色光阻层较薄，而所述间隔柱的绝对高度大于开口区光阻垫块上形成的间隔柱，从而使额缘区和开口区间隔柱顶部相对基板上表面的高度相当，进而可以提高显示的均匀度。

Color filter substrate and method of forming the same and photomask

The present invention provides a color filter substrate and a method of forming the same and a photomask, wherein the color filter substrate includes a non-uniform color light resist layer formed in the frontal edge region. The thick color light resistance layer in the opening area and color light resistance corresponding to the position of the region having a first thickness, the thick color light resistance layer has a second thickness in the opening area and resist block corresponding to the region, the second thickness smaller than the first thickness. In the frontal border area at the corresponding position of second unequal thickness color light resistance layer formed in the spacer, thick color light resistance layer of the spacer below is thinner, and the spacer absolute height is greater than the spacing of columns opening area formed photoresist pad, so that the amount of margin open the top of the column spacer region and the upper surface of the substrate is relatively high, which can improve the uniformity of display.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示
，尤其涉及一种彩色滤光基板及其形成方法和光罩。
技术介绍
薄膜晶体管(ThinFilmTransistor，TFT)液晶显示器，能够实现对各个像素的独立精确控制，而且其在亮度、功耗、寿命、体积方面的优势都已超过阴极射线管(CathodeRayTube，CRT)显示器，因此，TFT液晶显示器得到广泛应用。彩色滤光基板(ColorFilter，CF)是TFT液晶显示器的重要组成部件。请参考图1，示出了现有技术一种彩色滤光基板的结构示意图。所述彩色滤光基板包括：玻璃基板10、位于玻璃基板10上的黑色矩阵11、位于黑色矩阵11上的彩色光阻层12、覆盖于所述彩色光阻层12上的透明导电膜13和位于透明导电膜13上的间隔柱14。图2至图5是现有技术一种彩色滤光基板的形成方法中各步骤的结构示意图。参考图2，提供玻璃基板100。继续参考图2，在玻璃基板100上形成黑色矩阵，所述黑色矩阵包括具有开口的开口区A和位于开口区A周围的额缘区B。所述黑色矩阵在额缘区B不具有开口。请参考图3和图4，在所述黑色矩阵上涂布光阻，并通过光罩160对所述光阻进行曝光，从而形成彩色光阻层120。所述彩色光阻层120包括：位于开口区A的第一彩色光阻层120a和位于额缘区120b的第二彩色光阻层120b。需要说明的是，现有技术中所述光罩160具有条状图形，可以在黑色矩阵上形成条形的红色光阻层121、绿色光阻层122和蓝色光阻层123。填充于开口区A中所述开口中的红色光阻层121、绿色光阻层122和蓝色光阻层123可以起到透过相应颜色光线的作用，即实现滤光的功能。请参考图5，在红色光阻层121、绿色光阻层122和蓝色光阻层123上形成间隔柱130。所述间隔柱130包括：位于开口区A的第一间隔柱130a和位于额缘区B的第二间隔柱130b。然而，现有技术形成的彩色滤光基板容易造成显示器周边颜色显示不均的问题，影响液晶显示器的视觉效果。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种彩色滤光基板及其形成方法和光罩，以改善颜色显示不均的问题。本专利技术提供一种彩色滤光基板，其特征在于，包括：基板；形成于基板上的黑色矩阵，所述黑色矩阵包括形成有多个开口的开口区和位于开口区周围的额缘区；形成于所述黑色矩阵上的彩色光阻层；形成于开口区的彩色光阻层包括填充于开口中的多个彩色光阻和覆盖于相邻彩色光阻之间黑色矩阵上的光阻垫块，形成于所述额缘区的彩色光阻层为覆盖在黑色矩阵上的不等厚彩色光阻层，所述不等厚彩色光阻层包括与开口区彩色光阻位置对应的第一厚度区域和与开口区光阻垫块位置相对应的第二厚度区域，所述第一厚度区域的不等厚彩色光阻层具有第一厚度，所述第二厚度区域的不等厚彩色光阻层具有第二厚度，所述第二厚度小于所述第一厚度；形成于彩色光阻层上的间隔柱；所述开口区的间隔柱形成于所述光阻垫块上，所述额缘区的间隔柱形成于第二厚度区域。可选的，所述多个开口呈矩阵式排列，所述开口为沿列向延伸的长方形结构；所述开口区的彩色光阻层包括沿列向延伸的多列条状光阻层，所述条状光阻层覆盖列向数个开口和相邻开口之间的黑色矩阵，填充于所述开口中的条状光阻层为所述彩色光阻，覆盖在相邻开口之间的黑色矩阵上的条状光阻层为所述光阻垫块；所述额缘区的彩色光阻层包括沿列向延伸的多列不等厚彩色光阻层，所述不等厚彩色光阻层为条状光阻层，所述不等厚彩色光阻层中第一厚度区域为沿列向延伸的长方形结构，所述不等厚彩色光阻层中第二厚度区域位于相邻两个第一厚度区域之间。可选的，额缘区所述第二厚度区域沿列向的尺寸为10～150μm。可选的，所述开口区的彩色光阻至少包括红色光阻、绿色光阻和蓝色光阻；所述额缘区不等厚彩色光阻层至少包括红色不等厚光阻层、绿色不等厚光阻层和蓝色不等厚光阻层。可选的，所述开口区的彩色光阻至少包括红色光阻、绿色光阻和蓝色光阻；所述红色光阻、绿色光阻和蓝色光阻成三角型、条型或马赛克型排列。可选的，所述开口区与额缘区间隔柱顶端相对基板上表面的高度差为0～0.4μm。相应的，本专利技术还提供一种彩色滤光基板的形成方法，其特征在于，包括：提供基板；在所述基板上形成具有多个开口的黑色矩阵，所述黑色矩阵包括形成有多个开口的开口区和位于所述开口区周围的额缘区；在所述黑色矩阵上形成彩色光阻层；形成于开口区的彩色光阻层包括填充于开口中的多个彩色光阻和覆盖于相邻彩色光阻之间黑色矩阵上的光阻垫块，形成于所述额缘区的彩色光阻层为覆盖在黑色矩阵上的不等厚彩色光阻层，所述不等厚彩色光阻层包括与开口区彩色光阻位置对应的第一厚度区域和与开口区光阻垫块相对应位置的第二厚度区域，所述第一厚度区域的不等厚彩色光阻层具有第一厚度，所述第二厚度小于所述第一厚度；在所述彩色光阻层上形成间隔柱；所述开口区的间隔柱形成于所述光阻垫块上，所述额缘区的间隔柱形成于第二厚度区域。可选的，在所述基板上形成具有多个开口的黑色矩阵的步骤中：所述多个开口呈矩阵式排列，所述开口为沿列向延伸的长方形结构；在所述黑色矩阵上形成彩色光阻层的步骤包括：在开口区形成沿列向延伸的多列条状光阻层，所述条状光阻层覆盖列向数个开口和相邻开口之间的黑色矩阵，填充于所述开口中的条状光阻层为所述彩色光阻，覆盖在相邻开口之间的黑色矩阵上的条状光阻层为所述光阻垫块；在所述额缘区形成沿列向延伸的多列不等厚彩色光阻层，所述不等厚彩色光阻层为条状光阻层，所述不等厚彩色光阻层中第一厚度区域为沿列向延伸的长方形结构，所述不等厚彩色光阻层中第二厚度区域位于相邻两个第一厚度区域之间。可选的，在所述基板上形成具有多个开口的黑色矩阵的步骤中，在额缘区形成的不等厚彩色光阻层中第二厚度区域沿列向的尺寸为10～150μm。可选的，在所述黑色矩阵上形成彩色光阻层的步骤至少包括：在所述黑色矩阵上涂布红色光阻，通过光刻在所述开口区和额缘区分别形成红色光阻层和红色不等厚光阻层；在所述黑色矩阵上涂布绿色光阻，通过光刻在所述开口区和额缘区分别形成绿色光阻层和绿色不等厚光阻层；在所述黑色矩阵上涂布蓝色光阻，通过光刻在所述开口区和额缘区分别形成蓝色光阻层和蓝色不等厚光阻层；所述红色光阻层包括填充于开口区开口中的红色光阻和覆盖在相邻开口之间的黑色矩阵上的红色光阻垫块；所述绿色光阻层包括填充于开口区开口中的绿色光阻和覆盖在相邻开口之间的黑色矩阵上的绿色光阻垫块；所述蓝色光阻层包括填充于开口区开口中的蓝色光阻和覆盖在相邻开口之间的黑色矩阵上的蓝色光阻垫块；所述红色光阻、绿色光阻、蓝色光阻用于构成所述彩色光阻，所述红色不等厚光阻层、绿色不等厚光阻层和蓝色不等厚光阻层用于构成所述额缘区的不等厚彩色光阻层。可选的，在形成彩色光阻层的步骤中，所述红色光阻、绿色光阻、蓝色光阻成三角型、条型或马赛克型排列。可选的，在彩色光阻层上形成间隔柱的步骤中，所述开口区和额缘区间隔柱顶端相对基板上表面的高度差为0～0.4μm。此外，本专利技术还提供一种用于制造彩色滤光基板的光罩，所述彩色滤光基板包括：基板；形成于基板上的黑色矩阵，所述黑色矩阵包括形成有多个开口的开口区和位于开口区周围的额缘区；彩色光阻层和间隔柱；所述光罩用于形成所述彩色光阻层，其特征在于，所述光罩包括：基体，所述基体上形成有：第一图形，与所述开口区相对应，用于形本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种彩色滤光基板，其特征在于，包括：基板；形成于基板上的黑色矩阵，所述黑色矩阵包括形成有多个开口的开口区和位于开口区周围的额缘区；形成于所述黑色矩阵上的彩色光阻层；形成于开口区的彩色光阻层包括填充于开口中的多个彩色光阻和覆盖于相邻彩色光阻之间黑色矩阵上的光阻垫块，形成于所述额缘区的彩色光阻层为覆盖在黑色矩阵上的不等厚彩色光阻层，所述不等厚彩色光阻层包括与开口区彩色光阻位置对应的第一厚度区域和与开口区光阻垫块位置相对应的第二厚度区域，所述第一厚度区域的不等厚彩色光阻层具有第一厚度，所述第二厚度区域的不等厚彩色光阻层具有第二厚度，所述第二厚度小于所述第一厚度；形成于彩色光阻层上的间隔柱；所述开口区的间隔柱形成于所述光阻垫块上，所述额缘区的间隔柱形成于第二厚度区域。

【技术特征摘要】
1.一种彩色滤光基板，其特征在于，包括：基板；形成于基板上的黑色矩阵，所述黑色矩阵包括形成有多个开口的开口区和位于开口区周围的额缘区；形成于所述黑色矩阵上的彩色光阻层；形成于开口区的彩色光阻层包括填充于开口中的多个彩色光阻和覆盖于相邻彩色光阻之间黑色矩阵上的光阻垫块，形成于所述额缘区的彩色光阻层为覆盖在黑色矩阵上的不等厚彩色光阻层，所述不等厚彩色光阻层包括与开口区彩色光阻位置对应的第一厚度区域和与开口区光阻垫块位置相对应的第二厚度区域，所述第一厚度区域的不等厚彩色光阻层具有第一厚度，所述第二厚度区域的不等厚彩色光阻层具有第二厚度，所述第二厚度小于所述第一厚度；形成于彩色光阻层上的间隔柱；所述开口区的间隔柱形成于所述光阻垫块上，所述额缘区的间隔柱形成于第二厚度区域。2.如权利要求1所述的彩色滤光基板，其特征在于，所述多个开口呈矩阵式排列，所述开口为沿列向延伸的长方形结构；所述开口区的彩色光阻层包括沿列向延伸的多列条状光阻层，所述条状光阻层覆盖列向数个开口和相邻开口之间的黑色矩阵，填充于所述开口中的条状光阻层为所述彩色光阻，覆盖在相邻开口之间的黑色矩阵上的条状光阻层为所述光阻垫块；所述额缘区的彩色光阻层包括沿列向延伸的多列不等厚彩色光阻层，所述不等厚彩色光阻层为条状光阻层，所述不等厚彩色光阻层中第一厚度区域为沿列向延伸的长方形结构，所述不等厚彩色光阻层中第二厚度区域位于相邻两个第一厚度区域之间。3.如权利要求1或2所述的彩色滤光基板，其特征在于，额缘区所述第二厚度区域沿列向的尺寸为10～150μm。4.如权利要求1所述的彩色滤光基板，其特征在于，所述开口区的彩色光阻至少包括红色光阻、绿色光阻和蓝色光阻；所述额缘区不等厚彩色光阻层至少包括红色不等厚光阻层、绿色不等厚光阻层和蓝色不等厚光阻层。5.如权利要求4所述的彩色滤光基板，其特征在于，所述开口区的彩色光阻至少包括红色光阻、绿色光阻和蓝色光阻；所述红色光阻、绿色光阻和蓝色光阻成三角型、条型或马赛克型排列。6.如权利要求1所述的彩色滤光基板，其特征在于，所述开口区与额缘区间隔柱顶端相对基板上表面的高度差为0～0.4μm。7.一种彩色滤光基板的形成方法，其特征在于，包括：提供基板；在所述基板上形成具有多个开口的黑色矩阵，所述黑色矩阵包括形成有多个开口的开口区和位于所述开口区周围的额缘区；在所述黑色矩阵上形成彩色光阻层；形成于开口区的彩色光阻层包括填充于开口中的多个彩色光阻和覆盖于相邻彩色光阻之间黑色矩阵上的光阻垫块，形成于所述额缘区的彩色光阻层为覆盖在黑色矩阵上的不等厚彩色光阻层，所述不等厚彩色光阻层包括与开口区彩色光阻位置对应的第一厚度区域和与开口区光阻垫块相对应位置的第二厚度区域，所述第一厚度区域的不等厚彩色光阻层具有第一厚度，所述第二厚度小于所述第一厚度；在所述彩色光阻层上形成间隔柱；所述开口区的间隔柱形成于所述光阻垫块上，所述额缘区的间隔柱形成于第二厚度区域。8.如权利要求7所述的彩色滤光基板的形成方法，其特征在于，在所述基板上形成具有多个开口的黑色矩阵的步骤中：所述多个开口呈矩阵式排列，所述开口为沿列向延伸的长方形结构；在所述黑色矩阵上形成彩色光阻层的步骤包括：在开口区形成沿列向延伸的多列条状光阻层，所述条状光阻层覆盖列向数个开口和相邻开口之间的黑色矩阵，填充于所述开口中的条状光阻层为所述彩色光阻，覆盖在相邻开口之间的黑色矩阵上的条状光阻层为所述光阻垫块；在所述额缘区形成沿列向延伸的多列不等厚彩色光阻层，所述不等厚彩色光阻层为条状光阻层，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：郁侃，张莉，徐广军，
申请(专利权)人：上海仪电显示材料有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31