The present disclosure relates to an exposure method for a mask plate, an exposure machine, and a glass substrate. The exposure machine comprises a transmission device (3), the mask (1) and a light source (2), the transmission device (3) for transferring glass substrate (6) through the mask plate (1), wherein the light source (2) through the creation of the mask in the light (1) Kong Zhaoshe on the glass substrate (6), which is characterized in that the mask plate (1) formed as a cylindrical structure around the axis, the axis of the cylindrical structure along the glass substrate (6) extending in the width direction, wherein the light source (2) fixed mask in the (1) of the cavity, the exposure machine also includes driving the mask plate (1) of the rotary drive device (4).
【技术实现步骤摘要】
掩膜板、曝光机和玻璃基板的曝光方法
本公开涉及曝光工艺,具体地,涉及一种掩膜板,具有该掩膜板的曝光机,以及使用该曝光机曝光玻璃基板的曝光方法。
技术介绍
显示器制造工艺的核心在于曝光工艺,即利用紫外线透过称为“掩膜板”的部件照射玻璃基板表面的光刻胶,使光刻胶性质发生变化。掩膜板通常是一种矩形的平板,其上制造有透光孔,使得紫外线在玻璃基板表面形成刻蚀图像。随着技术的进步,玻璃基板和显示器的尺寸越来越大,同时柔性玻璃技术的发展,使得“卷对卷”技术逐渐普及。在该背景下,当前的曝光工艺主要存在以下问题:一、随着玻璃基板尺寸的增大,掩膜板的尺寸也随之增大,由此导致在掩膜板上加工透光孔的数量和难度增加,不利于节省生产成本。二、较大尺寸的掩模版在曝光过程中,其边部光线畸变严重,影响显示器的显示效果,降低成品良率。三、当前的曝光方法需要在玻璃基板进入曝光机后停止运动,等待曝光完成后,再将玻璃基板送出曝光机,这样间歇停顿式的加工方法严重制约着生产效率。
技术实现思路
本公开的目的是提供一种掩膜板,具有该掩膜板的曝光机,以及使用该曝光机曝光玻璃基板的方法。该掩膜板制作难度低,节省成本,并且不易导致光线畸变,能够保证显示器的成品良率。为了实现上述目的,本公开提供一种曝光机,用于制作显示器,所述曝光机包括传送装置、掩膜板和光源,所述传送装置传送玻璃基板经过所述掩膜板,所述光源通过开设在所述掩膜板上的透光孔照射所述玻璃基板,所述掩膜板形成为可绕轴线回转的筒状结构,该筒状结构的轴线沿所述玻璃基板的宽度方向延伸,所述光源固定地设置在所述掩膜板的空腔内,所述曝光机还包括用于带动所述掩膜板回转 ...
【技术保护点】
一种曝光机,用于制作显示器(7),所述曝光机包括传送装置(3)、掩膜板(1)和光源(2),所述传送装置(3)传送玻璃基板(6)经过所述掩膜板(1),所述光源(2)通过开设在所述掩膜板(1)上的透光孔照射所述玻璃基板(6),其特征在于,所述掩膜板(1)形成为可绕轴线回转的筒状结构,该筒状结构的轴线沿所述玻璃基板(6)的宽度方向延伸,所述光源(2)固定地设置在所述掩膜板(1)的空腔内,所述曝光机还包括用于带动所述掩膜板(1)回转的驱动装置(4)。
【技术特征摘要】
1.一种曝光机,用于制作显示器(7),所述曝光机包括传送装置(3)、掩膜板(1)和光源(2),所述传送装置(3)传送玻璃基板(6)经过所述掩膜板(1),所述光源(2)通过开设在所述掩膜板(1)上的透光孔照射所述玻璃基板(6),其特征在于,所述掩膜板(1)形成为可绕轴线回转的筒状结构,该筒状结构的轴线沿所述玻璃基板(6)的宽度方向延伸,所述光源(2)固定地设置在所述掩膜板(1)的空腔内,所述曝光机还包括用于带动所述掩膜板(1)回转的驱动装置(4)。2.根据权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述光源(2)为线形光源(2),该线性光源(2)的延伸方向与所述掩膜板(1)的轴线平行。3.根据权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述透光孔的尺寸与所述显示器(7)的显示单元的尺寸相同,所述曝光机还包括控制系统,以保持曝光时所述掩膜板(1)的线速度与所述传送装置(3)的运动速度一致。4.根据权利要求3所述的曝光机,其特征在于,所述控制系统包括用于检测所述传送装置(3)的运动速度并向外发送信号的传感器(5),与所述传感器(5)电连接以接收所述信号的控制器,所述控制器与所述驱动装置(4)电连接,以通过所述驱动装置(4)调节所述掩膜板(1)的线速度。5.根据权利要求4所述的曝光机,其特征在于,所述传感器(5)为编码器。6.根据权利要求4所述的曝光机,其特征在于,所述驱动装置(4)为伺服电机或步进电机。7.根据权利要求1所述的曝光机,其特征在于,所述玻璃基板(6)为柔性玻...
【专利技术属性】
技术研发人员:周波,李青,王丽红,郑权,
申请(专利权)人:东旭科技集团有限公司,东旭集团有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。