一种可变光阑机构的限位结构以及可变光阑机构制造技术

本发明专利技术公开了一种可变光阑机构的限位结构以及可变光阑机构。所述可变光阑机构包括驱动件和齿轮，其特征在于，所述限位结构包括支架面板，限位器以及密封堵头；所述驱动件设置在所述支架面板上；所述齿轮设置在所述驱动件上，并可被所述驱动件驱动；所述限位器设置在所述支架面板上，且可与所述齿轮配合并限制所述齿轮转动；所述密封堵头可设置在所述支架面板上，且所述密封堵头在所述限位器未安装时，设置在所述限位器的安装位置上。本发明专利技术提供的可变光阑机构的限位结构能防止可变光阑机构在运输过程中损坏。

Limiting structure of variable diaphragm mechanism and iris diaphragm mechanism

The invention discloses a limiting structure of an iris mechanism and a diaphragm mechanism. The variable stop mechanism includes a drive member and a gear, which is characterized in that the limiting structure comprises a bracket panel, limiting device and a sealing plug; the driving part is arranged in the bracket on the panel; the gear is arranged on the driver, and the driver was driving; the limiter is arranged on the support panel, and with the gear and the gear rotation limit; sealing head can be arranged on the support on the panel, and the seal plug is not installed in the limit, the limit set in the the installation position. The limiting structure of the iris diaphragm mechanism provided by the invention can prevent the iris diaphragm mechanism from damaging during transportation.

【技术实现步骤摘要】
一种可变光阑机构的限位结构以及可变光阑机构
本专利技术涉及光学领域，具体涉及一种光刻投影物镜中可变光阑机构的限位结构以及可变光阑机构。
技术介绍
光刻投影技术是大规模集成电路制造技术和微光学、微机械技术的先导和基础，决定了集成电路的集成度。集成电路芯片的不同深度刻蚀不同的图样，以满足高集成度的需要，要求物镜系统具有可调节数值孔径大小的功能。改变数值孔径大小往往通过可变光阑机构得以实现。可变光阑一般采用电机带动齿轮传递旋转运动，由于光阑机构较大，电机较小，其齿轮传动的减速比往往较大，次级齿轮和光阑机构的质量和转动惯量对于主动齿轮和电机来说是较大的负载，在物镜运输和搬运过程中，光阑机构的惯性运动有可能导致电机受到较大冲击并受迫转动，导致电机损坏；光阑机构的惯性运动也有可能使其内部机构发生损坏、脱落，划伤物镜镜片表面，存在极大的危险，将直接导致投影物镜数值孔径调节精度劣化甚至光阑机构和物镜自身存在极大的破坏危险。
技术实现思路
本专利技术旨在克服现有技术存在的缺陷，本专利技术采用以下技术方案：一方面，本专利技术提供了一种可变光阑机构的限位结构。所述可变光阑机构包括驱动件和齿轮，所述限位结构包括支架面板，限位器以及密封堵头；所述驱动件设置在所述支架面板上；所述齿轮设置在所述驱动件上，并可被所述驱动件驱动；所述限位器设置在所述支架面板上，且可与所述齿轮配合并限制所述齿轮转动；所述密封堵头可设置在所述支架面板上，且所述密封堵头在所述限位器未安装时，设置在所述限位器的安装位置上。在一些实施例中，所述驱动件为电机。在一些实施例中，所述限位器包括：限位杆和设置在所述限位杆上的限位连接螺纹；所述限位杆在所述限位器安装在所述支架面板上时与所述齿轮配合，限制所述齿轮转动；所述限位连接螺纹与所述支架面板配合，使所述限位杆可固定设置在所述支架面板上。在一些实施例中，所述限位器还包括：方形槽，所述方形槽设置在所述限位杆的一端端面上。在一些实施例中，所述密封堵头上设置有螺纹。在一些实施例中，所述密封堵头的一端的端面上设置有方形槽。在一些实施例中，所述支架面板上设置有与所述限位杆连接螺纹配合的限位器螺纹孔。在一些实施例中，所述齿轮包括轮齿主体，所述轮齿主体的相邻齿面用于与限位器的限位杆配合。在一些实施例中，所述限位器与所述支架面板之间设置有密封胶。另一方面，本专利技术提供了一种可变光阑机构。所述可变光阑机构包括驱动件和齿轮以及如前所述的限位结构。本专利技术的技术效果：本专利技术提供的可变光阑机构的限位结构能避免光刻投影物镜在运输和搬运过程中由于冲击和惯性运动导致电机和可变光阑机构损坏的问题，进而降低光刻投影物镜的数值孔径调节精度劣化甚至物镜自身损坏的危险。附图说明图1为根据本专利技术一个实施例的可变光阑机构的结构示意图；图2为图1的局部剖开示意图；图3为根据本专利技术一个实施例的可变光阑机构的全剖示意图；图4为根据本专利技术一个实施例的可变光阑机构的限位结构中的支架面板的正视全剖示意图；图5为根据本专利技术一个实施例的可变光阑机构的限位结构中的限位器的结构示意图；图6为根据本专利技术一个实施例的可变光阑机构的限位结构中的密封堵头的结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，而不构成对本专利技术的限制。参考图1-图6所示，是本专利技术提供的一种可变光阑机构的限位结构。所述可变光阑机构100包括驱动件1和齿轮3，所述限位结构包括支架面板2，限位器4以及密封堵头5；所述驱动件1设置在所述支架面板2上；所述齿轮3设置在所述驱动件1上，并可被所述驱动件1驱动；所述限位器4设置在所述支架面板2上，且可与所述齿轮3配合并限制所述齿轮3转动；所述密封堵头5可设置在所述支架面板2上，且所述密封堵头5在所述限位器4未安装时，设置在所述限位器4的安装位置上。在一些实施例中，所述驱动件1为电机。在一些实施例中，所述限位器4包括：限位杆4-1和设置在所述限位杆4-1上的限位连接螺纹4-2；所述限位杆4-1在所述限位器4安装在所述支架面板2上时与所述齿轮3配合，限制所述齿轮3转动；所述限位连接螺纹4-2与所述支架面板2配合，使所述限位杆4-1可固定设置在所述支架面板2上。在一些实施例中，所述限位器4还包括：方形槽4-3，所述方形槽4-3设置在所述限位杆4-1的一端端面上。在一些实施例中，所述密封堵头5上设置有螺纹5-1。在一些实施例中，所述密封堵头5的一端的端面上设置有方形槽5-2。在一些实施例中，所述支架面板2上设置有与所述限位杆连接螺纹4-2配合的限位器螺纹孔2-4。在一些实施例中，所述齿轮3包括轮齿主体3-1，所述轮齿主体3-1的相邻齿面用于与限位器4的限位杆4-1配合。在一些实施例中，所述限位器4与所述支架面板2之间设置有密封胶。另一方面，本专利技术提供了一种可变光阑机构100。所述可变光阑机构100包括驱动件1和齿轮3以及如前所述的限位结构。下面结合附图1-6以及具体的实施例对本专利技术实施例提供的可变光阑机构的限位结构以及可变光阑机构100进行详细说明。如图1、图2、图3和图4所示，本专利技术实施例提供的用于光刻投影物镜中可变光阑机构100包括：1个电机1、1个支架面板2、1个齿轮3、1个限位器4和1个密封堵头5。所述支架面板2上设置有4个面板安装通孔2-1、2个面板工装螺钉孔2-2、1个限位器安装孔2-3、1个限位器螺纹孔2-4和1个电机安装孔2-5。面板安装通孔2-1用于将支架面板2通过螺钉安装到光阑机构100上；面板工装螺钉孔2-2用于安装支架面板2的取放工装；限位器安装孔2-3用于容纳限位器4；限位器螺纹孔2-4用于与限位器4的限位连接螺纹4-2配合，固定限位器4的轴向位置；所述齿轮3包括轮齿主体3-1和锁紧螺钉孔3-2；轮齿主体3-1的相邻齿面用于与限位器4的限位杆4-1配合，实现齿轮3限位；锁紧螺钉孔3-2用于将齿轮3与电机1的轴锁紧，提供有效连接。如图5和图6所示，限位器4包括限位杆4-1、限位连接螺纹4-2和方形槽4-3；限位杆4-1用于与齿轮3的轮齿主体3-1的相邻齿面配合，实现齿轮3限位；限位连接螺纹4-2用于与支架面板2的限位器螺纹孔2-4配合，可在螺纹配合面上涂抹螺纹密封胶，在运输过程中实现该处密封；方形槽4-3用于螺钉起子旋入或旋出限位器4。密封堵头5包括螺纹5-1和方形槽5-2；在物镜运输前和运输完成后，需要拆卸限位器4，使光阑机构正常运转。密封堵头5的螺纹5-1用于在拆卸限位器4后，与支架面板2的限位器螺纹孔2-4配合，涂抹螺纹密封胶实现密封；方形槽5-2用于螺钉起子旋入或旋出密封堵头5。所述可变光阑机构的限位结构以及可变光阑机构100的装配及工作过程如下：将电机1安装到支架面板2的电机安装孔2-5中，使用螺钉将电机1固定在支架面板2上；将齿轮3安装到电机1的电机轴上，在齿轮3的锁紧螺钉孔3-2处拧入紧定螺钉，使齿轮3固定到电机1的电机轴上；将支架面板2安装到光阑机构上，在支架面板2的面板安装通孔2-1处使用螺钉将支架面板2固定到光阑机构上；在密封堵头5的螺纹5-1处涂抹螺纹密封胶，将密封堵头5安装到支架面板2的限位器螺纹孔2-4中，实现该处密封。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可变光阑机构的限位结构，所述可变光阑机构包括驱动件和齿轮，其特征在于，所述限位结构包括支架面板，限位器以及密封堵头；所述驱动件设置在所述支架面板上；所述齿轮设置在所述驱动件上，并可被所述驱动件驱动；所述限位器设置在所述支架面板上，且可与所述齿轮配合并限制所述齿轮转动；所述密封堵头可设置在所述支架面板上，且所述密封堵头在所述限位器未安装时，设置在所述限位器的安装位置上。

【技术特征摘要】
1.一种可变光阑机构的限位结构，所述可变光阑机构包括驱动件和齿轮，其特征在于，所述限位结构包括支架面板，限位器以及密封堵头；所述驱动件设置在所述支架面板上；所述齿轮设置在所述驱动件上，并可被所述驱动件驱动；所述限位器设置在所述支架面板上，且可与所述齿轮配合并限制所述齿轮转动；所述密封堵头可设置在所述支架面板上，且所述密封堵头在所述限位器未安装时，设置在所述限位器的安装位置上。2.根据权利要求1所述的可变光阑机构的限位结构，其特征在于，所述驱动件为电机。3.根据权利要求1所述的可变光阑机构的限位结构，其特征在于，所述限位器包括：限位杆和设置在所述限位杆上的限位连接螺纹；所述限位杆在所述限位器安装在所述支架面板上时与所述齿轮配合，限制所述齿轮转动；所述限位连接螺纹与所述支架面板配合，使所述限位杆可固定设置在所述支架面板上。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙振，华洋洋，倪明阳，杨怀江，隋永新，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林,22