Fixed beam T junction line microwave phase detector, detector fabricated on high resistivity silicon substrate, which is composed of a coplanar waveguide transmission line, fixed beam structure, T junction and two indirect thermoelectric microwave power sensor. The coplanar waveguide transmission line comprises a signal wire and a ground wire of the coplanar waveguide transmission line; the fixed beam structure comprises a clamped beam and an anchor zone, and is suspended above the dielectric layer on the signal line. T junction signal line, the coplanar waveguide transmission line ground and air bridge; indirect thermoelectric microwave power sensor includes terminal resistor, metal thermocouple arm, semiconductor thermocouple arm, ohmic contact and DC output block. The phase detector of the invention has simple structure and small circuit size, and can realize the on-line detection of the microwave phase.
【技术实现步骤摘要】
固支梁T形结在线式微波相位检测器
本专利技术提出了固支梁T形结在线式微波相位检测器,属于微电子机械系统(MEMS)的
技术介绍
在微波技术研究中,作为表征信号的三大参数(幅度、频率和相位)之一的微波相位是微波信号的一个重要参数。随着频率的增加,信号的波长与电路中各种元器件尺寸逐步接近,电路中电压、电流都以波的形式存在,信号的相位延迟使得电路中不仅不同位置处的电压、电流在同一时刻振幅各不相同,而且同一位置处的电压、电流在不同时刻也各不相同。因此在微波频段掌握并控制信号的相位是很有必要的,微波信号的相位也就成了一个重要的测量参数。目前,微波信号相位检测系统的设计均是针对检测同频率信号之间的相位差。现有的相位检测方法有以下几种:利用二极管检波,利用乘法器结构和利用矢量运算法实现相位检测,以上方法的缺点是都需要相对复杂的结构。随着微电子技术的发展,现代个人通信系统和雷达系统要求微波相位检测器具有简单的结构,小的体积以及小的功耗。MEMS系统具有体积小、功耗低、成本低等优点。本专利技术的目的正是要提出一种基于MEMS技术的在线式微波信号相位检测器的实现方法。
技术实现思路
技术问题:本专利技术的目的是提出一种固支梁T形结在线式微波相位检测器,本专利技术在微波信号耦合方面采用了固支梁耦合微波信号,在微波信号的功率检测方面采用间接热电式微波功率传感器,在微波相位检测方面采用矢量合成法,从而实现了在线式微波相位的检测。技术方案:固支梁T形结在线式微波相位检测器,在高阻硅衬底上设有共面波导传输线、固支梁结构、T形结以及两个间接热电式微波功率传感器,所述的共面波导传输线 ...
【技术保护点】
一种固支梁T形结在线式微波相位检测器,其特征是在高阻硅衬底(1)上制作SiO2层(25),在SiO2层(25)上设有共面波导传输线、固支梁结构、T形结以及间接热电式微波功率传感器1和间接热电式微波功率传感器2,所述的共面波导传输线由共面波导传输线的信号线(2)和地线(3)构成,所述的缝隙结构包括固支梁(4)、第一锚区(5)和第二锚区(6),固支梁结构悬于共面波导传输线的信号线(2)上的绝缘介质层(7)的上方,固支梁结构的第一锚区(5)通过间接热电式微波功率传感器1的共面波导传输线的信号线(13)连接间接热电式微波功率传感器1,第二锚区(6)通过T形结的第一共面波导传输线的信号线(17)连接T形结的一个输入端口,另一个输入端口通过T形结的第二共面波导传输线的信号线(18)连接到参考信号输入端口,T形结的输出端通过T形结的第三共面波导传输线的信号线(19)连接间接热电式微波功率传感器2。
【技术特征摘要】
1.一种固支梁T形结在线式微波相位检测器,其特征是在高阻硅衬底(1)上制作SiO2层(25),在SiO2层(25)上设有共面波导传输线、固支梁结构、T形结以及间接热电式微波功率传感器1和间接热电式微波功率传感器2,所述的共面波导传输线由共面波导传输线的信号线(2)和地线(3)构成,所述的缝隙结构包括固支梁(4)、第一锚区(5)和第二锚区(6),固支梁结构悬于共面波导传输线的信号线(2)上的绝缘介质层(7)的上方,固支梁结构的第一锚区(5)通过间接热电式微波功率传感器1的共面波导传输线的信号线(13)连接间接热电式微波功率传感器1,第二锚区(6)通过T形结的第一共面波导传输线的信号线(17)连接T形结的一个输入端口,另一个输入端口通过T形结的第二共面波导传输线的信号线(18)连接到参考信号输入端口,T形结的输出端通过T形结的第三共面波导传输线的信号线(19)连接间接热电式微波功率传感器2。2.根据权利要求1所述的固支梁T形结在线式微波相...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。